AT515531A4 - Halterungssystem und Beschickungsverfahren für scheibenförmige Objekte - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Halterungssystem (9) sowie ein Beschickungsverfahren für scheibenförmige Objekte (2). Das Halterungssystem (9) umfasst baulich eigen- ständig ausgebildete Halteleisten (3), welche durch werkzeuglos aktivier- und deaktivierbare Kupplungsvorrichtungen gegenüber einer Stützvorrichtung (12) wahl- weise unmittelbar lösbar und unmittelbar verbindbar sind. Mittels des Halterungs- systems (9) ist auch ein Verfahren zum Beschicken einer Behandlungsvorrichtung durchführbar, bei welchem die Halteleisten (3) unmittelbar mit einer ersten Stütz- vorrichtung (12) verbunden werden, anschließend die Halteleisten (3) unmittelbar mit einer in der Behandlungsvorrichtung angeordneten zweiten Stützvorrichtung (13), insbesondere einem Rotor (13) verbunden werden, und nachfolgend die me- chanische Verbindung zwischen der ersten Stützvorrichtung (12) und den Halte- leisten (3) unmittelbar gelöst wird.

Description

Die Erfindung betrifft ein Halterungssystem zur Fixierung und Halterung vonscheibenförmigen Objekten relativ zueinander, in einer Bereitstellungs- oder Be¬handlungsposition zur Behandlung der Oberflächen der scheibenförmigen Objekteund bei einem Transfervorgang zwischen verschiedenen Bereitstellungs- und Be¬handlungspositionen, sowie ein Verfahren zum Beschicken zum einer Behand¬lungsvorrichtung. Beispiele für derartige scheibenförmige Objekte sind Compact-discs, Fotomasken, Photovoltaikelemente, Glassubstrate und dergleichen. Insbe¬sondere betrifft die Erfindung ein Halterungssystem zur Fixierung und Halterungvon (Halbleiter-) Wafern zumindest in einer Behandlungsposition, und bei einemTransfervorgang zwischen verschiedenen Positionen. Die Form der scheibenför¬migen Objekte kann dabei grundsätzlich beliebig sein, die Scheiben können zumBeispiel im Wesentlichen rund oder im Wesentlichen eckig ausgeführt sein.

Derartige scheibenförmige Objekte werden häufig aus einem Block des Schei¬benmaterials hergestellt, wobei die Scheiben aus dem Block des Scheibenmateri¬als abgetrennt, beispielsweise herausgeschnitten oder herausgesägt werden.Nachfolgend an die Herstellung dieser Scheibenrohlinge können weitere Produkti¬onsschritte erfolgen, beispielsweise zur Veredelung der Oberflächen der Schei¬ben, wobei in der Regel vor einer Fertigstellung der Scheiben zumindest ein Be¬handlungsschritt zum Beispiel in Form einer Reinigungsprozedur für die Oberflä¬chen der scheibenförmigen Objekte erfolgt.

Im Besonderen dienen Halbleiter-Wafer als Substrat für die Produktion von elekt¬ronischen Bauelementen, wie etwa integrierte Schaltkreise (IC), Mikroprozesso¬ren, Speicherchips, mikromechanische Bauelemente, photoelektrische Beschich¬tungen, und Dergleichen. Dabei werden an einer oder beiden Oberflächen eines

Halbleiter-Wafers sequentiell zahlreiche Behandlungsschritte wie zum BeispielAbtragungs- und Aufbringungsvorgänge ausgeführt, um ein Halbleiterelement auf¬zubauen. Ein Halbleiter-Wafer dient üblicherweise als Substrat für die Herstellungeiner Vielzahl von elektronischen Bauteilen, bzw. werden die Produktionsverfah¬ren zur Herstellung der Bauteile derart durchgeführt, dass möglichst die gesamteOberfläche eines Halbleiter-Wafers zur Herstellung von elektronischen Elementengenutzt wird. Zwischen den jeweiligen Produktionsschritten zur Herstellung derelektronischen Bauteile werden in der Regel auch Reinigungsschritte durchge¬führt, um Verunreinigungen von den Oberflächen der Wafer zu entfernen. In derRegel erfolgt ein derartiger Reinigungsschritt durch Behandlung der Oberflächender Wafer mittels Reinigungschemikalien in einer entsprechenden Reinigungs-bzw. Behandlungskammer. Bei der Produktion von Halbleiterelementen Essentiellist hierbei immer, dass im Zuge eines Behandlungsschrittes, wie zum Beispiel ei¬nem Ätzvorgang, oder im Zuge eines Reinigungsschrittes alle Oberflächen bzw.Oberflächenabschnitte aller in einer Behandlungskammer befindlichen Objektemöglichst gleichmäßig und umfassend von den Behandlungs- bzw. Reini¬gungschemikalien erreichbar sind.

Als besonders effektiv zur Behandlung von scheibenförmigen Objekten haben sichin jüngerer Zeit sogenannte Batch-Spray-Verfahren herausgestellt, bei welchendie Oberflächen der Scheiben in einer entsprechenden Behandlungskammer mit¬tels Prozess- bzw. Behandlungschemikalien besprüht werden. Meistens sind dieBehandlungskammern für eine Behandlungsprozedur zur Aufnahme einer Vielzahlan Halbleiterwafern ausgestaltet, und die Prozesschemikalien werden über oderÖffnungen, beispielsweise Sprühdüsen in den Seitenwänden einer Behandlungs¬kammer bzw. Sprühkammer eingebracht. Häufig werden die Halbleiterwafer wäh¬rend der Behandlung mit den Prozesschemikalien in der Sprühkammer zusätzlichrotiert. Weiters ist es in einigen Fällen üblich, zur Behandlung der scheibenförmi¬gen Objekte Gase in eine Behandlungskammer einzuleiten, wobei ein Behand¬lungsgas auch mit einer Behandlungsflüssigkeit in Kombination eingesetzt werdenkann. Grundsätzlich kann eine Behandlung der Objekte auch oder zusätzlich me¬chanisch, oder beispielsweise mittels Ultraschall und dergleichen erfolgen.

Aus dem Stand der Technik ist es bekannt, die scheibenförmigen Objekte mittelseinstückigen Halterungsvorrichtungen in einer Behandlungskammer zu haltern.Dabei werden die zur Behandlung bzw. Reinigung vorgesehenen Scheibenobjektebzw. Halbleiterwafer in Ihrer Lage relativ zueinander von der Halterungsvorrich¬tung fixiert. Die aus dem Stand der Technik bekannten Halterungsvorrichtungensind dabei beispielsweise als Boxen oder aber auch beispielsweise käfigartig aus¬geführt, in welche Boxen oder Käfige die Wafer eingesetzt bzw. eingeschobenwerden können. Üblich ist eine stapelartige Anordnung der Wafer, wobei dieWafer zueinander parallel und voneinander beabstandet in den Käfigen bzw. Bo¬xen angeordnet sind. Zum Fixieren der Wafer in ihrer Lage relativ zueinander sindbaulich an diesen vorbekannten Halterungsvorrichtungen mehrere Stützelementeausgestaltet, welche Stützelemente durch Seitenwände, Kopfteile, Längs- undQuerverstrebungen und Dergleichen gebildet sind. Solche Halterungsvorrichtun¬gen sind zum Beispiel in der US 2004/0206663 A1, der US 4,300,581 oder der US6,536,131 B2 offenbart.

Nachteilig bei diesen vorbekannten, einstückigen Halterungsvorrichtungen ist,dass die baulich an den Halterungsvorrichtungen ausgestalteten Stützelemente,wie beispielsweise Längs- und Querverstrebungen und/oder Kopfelemente in derArt von Stützplatten oder -ringen, einen in einer Behandlungskammer in Richtungder Wafer-Oberflächen eingebrachten bzw. eingesprühten Strahl oder Strom derBehandlungschemikalien blockieren können. Durch diese Stützelemente der vor¬bekannten Halterungsvorrichtungen sind bestimmte Bereiche in der Behandlungs¬kammer abgeschattet, sodass die jeweils in einem solchen Abschattungsbereichbefindlichen Oberflächenabschnitte der Wafer von einem jeweiligen Strom bzw.Strahl, beispielsweise einer Prozessflüssigkeit nicht oder nur eingeschränkt er¬reichbar sind.

Aufgabe der Erfindung ist es, ein Halterungssystem, eine Behandlungsvorrichtungund ein Verfahren zu schaffen, mittels welchen eine verbesserte, möglichst um¬fassende und gleichmäßigere Behandlung von scheibenförmigen Objekten, wiezum Beispiel Halbleiterwafern erzielbar ist.

Diese Aufgabe wird zum einen dadurch gelöst, dass ein Halterungssystem zurHalterung von scheibenförmigen Objekten, insbesondere von Halbleiter-Wafern, ineiner Bereitstellungs- oder Behandlungsposition zur Behandlung der Oberflächender scheibenförmigen Objekte, sowie zur Halterung der scheibenförmigen Objekteim Zuge eines Transfervorganges zwischen verschiedenen Bereitstellungs- oderBehandlungspositionen bereitgestellt wird. Das Halterungssystem umfasst wenigs¬tens zwei Halteleisten, wobei jede Halteleiste entlang ihrer Längsachse Tragmittelzur stapelartigen Halterung der scheibenförmigen Objekte in zueinander parallelerund voneinander beabstandeter Anordnung umfasst. Die Tragmittel der Halteleis¬ten stehen dabei mit Randabschnitten der scheibenförmigen Objekte in Wechsel¬wirkung. Zwischen den wenigstens zwei Halteleisten ist ein Aufnahmeraum für diescheibenförmigen Objekte ausgebildet. Weiters umfasst das Halterungssystemzumindest eine Stützvorrichtung zum Fixieren der Halteleisten in ihrer Lage relativzueinander.

Erfindungsgemäß sind die wenigstens zwei Halteleisten baulich eigenständig aus¬gebildet. Zum Fixieren der wenigstens zwei Halteleisten, und den zwischen denHalteleisten im Aufnahmeraum angeordneten, scheibenförmigen Objekten, sindwenigstens zwei werkzeuglos aktivier- und deaktivierbare erste Kupplungsvorrich¬tungen ausgebildet, durch welche die Halteleisten gegenüber einer ersten Stütz¬vorrichtung wahlweise unmittelbar lösbar und unmittelbar verbindbar sind. Hierund im Folgenden ist unter .werkzeuglos aktivier- und deaktivierter1 zu verstehen,dass die Aktivierungen und Deaktivierungen von Kupplungsvorrichtungen, bzw.die Koppelungs- und Entkoppelungsvorgänge zum Verbinden von Halteleisten mitStützvorrichtungen und zum Lösen der Halteleisten von Stützvorrichtungen, ohneZuhilfenahme von zusätzlichen Handwerkzeugen durchführbar sind.

Durch die erfindungsgemäßen Merkmale ist ein Halterungssystem geschaffen, beiwelchem die baulich eigenständig ausgebildeten Halteleisten untereinander nichtfix verbunden sind, und insbesondere keine Verbindungsstücke oder dergleichenzueinander aufweisen. Dadurch ist die Menge an störenden bzw. hinderlichenElementen welche zur Abschattung wenigstens von Teilen der Oberflächen der zubehandelnden Objekte führen können, in einer Behandlungskammer zumindest weitestgehend minimiert. Die Vorteile des erfindungsgemäßen Halterungssystemskommen zum Beispiel dann zur Entfaltung, wenn die scheibenförmigen Objekte ineiner Sprühkammer behandelt werden, in welcher Sprühkammer eine Behand¬lungsflüssigkeit via an den Innenwänden der Kammer angeordnete Öffnungen,Sprühdüsen oder dergleichen, in Richtung der zu behandelnden Objekte geleitetwird. Insbesondere sind möglichst wenige Elemente in der Behandlungskammerangeordnet, welche einen auf die Oberflächen der scheibenförmigen Objekte ge¬richteten Strom oder Strahl der Behandlungsflüssigkeit blockieren oder abschnei¬den könnten. Dadurch ist eine verbesserte, möglichst umfassende und gleichmä¬ßige Behandlung aller Oberflächenabschnitte von allen in der Behandlungskam¬mer befindlichen Objekten bzw. Wafern ermöglicht. Insbesondere sind auch dieOberflächenabschnitte jener Wafer von der Behandlungsflüssigkeit bzw. den Be¬handlungschemikalien gut erreichbar, welche an einem der beiden Längsendender Halteleisten zwischen den Halteleisten angeordnet sind.

Zusätzlich können durch die erfindungsgemäßen Merkmale optimierte bzw. kürze¬re Behandlungszeiten erzielbar sein, da Strahlen der Behandlungs- bzw. Prozess¬flüssigkeit, oder eines Prozessgases zumindest weitestgehend vollständig undgleichmäßig auf alle Oberflächenabschnitte der scheibenförmigen Objekte einwir¬ken können. Dies kann unter anderem Vorteile hinsichtlich der erzielbaren Durch¬satzmengen an zu behandelnden Objekte mit sich bringen. Außerdem ist es mög¬lich, dass die Menge an einzusetzender Behandlungsflüssigkeit und/oder -gas re¬duziert werden kann, da ein überschüssiges Einsetzen an Prozessflüssigkeit bzw.Behandlungschemikalien zum Behandeln abgeschatteter bzw. für einen Flüssig¬keitsstrahl erschwert erreichbarer Oberflächenbereiche der Objekte vermiedenwerden kann. Dieser Vorteil kann sowohl im Hinblick auf ökonomische als auchökologische Gesichtspunkte relevant sein. Außerdem kann eine Überbehandlung,wie zum Beispiel eine Überätzung von Oberflächenbereichen der scheibenförmi¬gen Objekte im Zuge eines Ätzprozesses, wirksam hintangehalten werden. Dieskann insbesondere hinsichtlich der Prozesssicherheit vorteilhaft sein.

Baulich mit den Halteleisten verbundene Stützelemente zum Fixieren der Lage derHalteleisten relativ zueinander sind durch das erfindungsgemäße Halterungssys¬ tem erübrigt. Totzdem sind sowohl automatisierte und manuelle Transfervorgängezum Überführen einer stapelartigen Anordnung von scheinbenförmigen Objekten,zum Beispiel Wafern, effizient und in prozessicherer Art und Weise mit der erstenStützvorrichtung durchführbar. Insbesondere ist ein werkzeugloses Aktivieren undDeaktivieren der wenigstens zwei ersten Kupplungsvorrichtungen ermöglicht,sodass sowohl ein Verbindungsvorgang der Halteleisten mit der erstenStützvorrichtung, als auch ein Lösevorgang der Halteleisten von der erstenStützvorrichtung, unmittelbarerfolgen können. Dadurch kann die Handhabung derHalteleisten wesentlich effizienter durchführbar sein.

Außerdem kann aufgrund der baulich eigenständigen Ausbildungsform derHalteleisten erzielbar sein, dass die Halteleisten des erfindungsgemäßenHalterungssystems während einer Behandlung der scheibenförmigen Objekte, imVergleich zu gemäß dem Stand der Technik ausgeführtenHalterungsvorrichtungen, in vergleichsweise geringem Ausmaß durch dieBehandlungschemikalien verunreinigt werden. Dadurch könnenReinigungsintervalle zur Reinigung der Halteleisten im Vergleich zuReinigungsintevallen für gemäß dem Stand der Technik ausgeführtenHalterungsvorrichtungen zeitlich gestreckt werden.

Schließlich kann das erfindungsgemäße Halterungssystem auch hinsichtlichverbesserter Flexibilität vorteilhaft sein, da aufgrund der baulich eigenständigausgebildeten Halteleisten diese bezüglich ihrer räumlichen Lage relativzueinander, im Prinzip beliebig angeordnet werden können. Die genaueAnordnung der Halteleisten in ihrer Lage relativ zueinander kann mittels dererfindungsgemäßen Kupplungsvorrichtungen, bzw. der ersten Stützvorrichtungvariabel gebildet werden, wodurch eine verbesserte Flexibiltät bzw.Anpassungsfähigkeit des Halterungssystems, beispielsweise hinsichtlich Größeund/oder Form der scheibenförmigen Objekte bereitgestellt werden kann.

Zweckmäßig kann eine Ausführungsform des Halterungssystems sein, bei welcherwenigstens zwei werkzeuglos aktivier- und deaktivierbare zweite Kupplungsvor¬richtungen ausgebildet sind, durch welche die Halteleisten gegenüber einer zwei¬ten Stützvorrichtung wahlweise unmittelbar lösbar und unmittelbar verbindbar sind.

Die zweite Stützvorrichtung kann dabei insbesondere als Rotor zum Rotieren derscheibenförmigen Objekte ausgebildet sein. Dadurch können die Halteleistenwahlweise mit der ersten oder der zweiten Stützvorrichtung verbunden werden,oder mit sowohl der ersten und der zweiten Stützvorrichtung verbunden werden.Auf diese Art und Weise ist zum Beispiel eine effiziente und prozesssichere Über¬führung der Halteleisten, und der zwischen den Halteleisten gehaltenen scheiben¬förmigen Objekte, von der ersten in die zweite Stützvorrichtung, und umgekehrtermöglicht. Dies auch deshalb, da die Halteleisten während Transfer- oder Über¬gabevorgängen immer durch wenigstens eine Stützvorrichtung relativ zueinandergehaltert bzw. fixiert werden können. Dadurch sind auch die scheibenförmigenObjekte mittels der Halteleisten bzw. jeweils aktivierter erster und/oder zweiterKupplungsvorrichtungen in ihrer Lage relativ zueinander sicher zwischen den Hal¬teleisten gehaltert. So können die Halteleisten bzw. die scheibenförmigen Objektemittels der ersten Stützvorrichtung unmittelbar, sicher und effizient in eine zweiteStützvorrichtung, insbesondere einen Rotor eingebracht, oder nach einer erfolgtenBehandlung unmittelbar aus dem Rotor entnommen werden.

Von Vorteil kann dabei eine weitere Ausgestaltungsform sein, bei welcher bei Ein¬nahme der Behandlungsposition der scheibenförmigen Objekte die wenigstenszwei ersten Kupplungsvorrichtungen gelöst und die erste Stützvorrichtung von denHalteleisten entfernt ist, währenddessen die wenigstens zwei zweiten Kupplungs¬vorrichtungen zwischen den Halteleisten und der zweiten Stützvorrichtung, insbe¬sondere dem Rotor zum Rotieren der scheibenförmigen Objekte, aktiviert sind. Aufdiese Weise sind die Halteleisten in der Behandlungsposition nur mittels der we¬nigstens zwei zweiten Kupplungsvorrichtungen mit dem Rotor verbunden, wohin¬gegen weitere Stützelemente, insbesondere die erste Stützvorrichtung in der Be¬handlungsposition von den Halteleisten entfernt sind. Dadurch können die Vorteilehinsichtlich verbesserter Gleichmäßigkeit der Behandlung der Oberflächen derscheibenförmigen Objekte bzw. verbesserter Erreichbarkeit aller Oberflächenab¬schnitte der Objekte durch Behandlungschemikalien in der Behandlungsposition,nochmals weiter gesteigert werden.

Weiters kann es vorteilhaft sein, die wenigstens zwei ersten Kupplungsvorrichtun¬gen derart auszubilden, dass die Halteleisten im Zuge eines Transfervorgangesder scheibenförmigen Objekte mittels einer einzigen ersten Stützvorrichtung räum¬lich derart fixiert sind, dass sie in Art von einseitig gelagerten Trägern von der ers¬ten Stützvorrichtung vorkragen. Diese Ausbildungsform der Halteleisten und derersten Stützvorrichtung ermöglicht zum Beispiel eine besonders effiziente Über¬gabe der Halteleisten an den Rotor. Auch ein Entnahmevorgang der Halteleistenaus dem Rotor mittels der ersten Stützvorrichtung ist dadurch deutlich effizienterdurchzuführen, da durch die einseitige, vorkragende Lagerung der wenigstenszwei Halteleisten an der ersten Stützvorrichtung ein Längsende der Halteleistenverbessert und frei zugänglich ist. Dies erleichtert wiederum ein Aktivieren der we¬nigstens zwei zweiten Kupplungsvorrichtungen, bzw. einen Verbindungsvorgangzum Verbinden der Halteleisten mit dem Rotor oder weiteren Stützvorrichtungenzur Halterung der Halteleisten.

Zweckmäßig kann auch eine Ausgestaltungsvariante sein, bei welcher die wenigs¬ten zwei zweiten Kupplungsvorrichtungen derart ausgebildet sind, dass eine Ver¬drehung der Halteleisten um deren Längsachsen unterbunden ist. Dadurch ist eineverbesserte Stabilität der Halteleisten in der zweiten Stützvorrichtung bzw. demRotor erzielbar. Diese Verbesserung kommt insbesondere dann zum Tragen wennder Rotor in Rotation versetzt wird, und können etwaige Beschädigungen an denscheibenförmigen Objekten während des Rotierens wirksam hintangehalten wer¬den.

Weiters kann es vorteilhaft sein, wenn die Halteleisten an ihren gegenüberliegen¬den Längsenden oder über ihre gesamte Längserstreckung zumindest einenKupplungsabschnitt aufweisen, weicherzurformschlüssigen Kopplung mit zumin¬dest einem Kupplungsorgan der ersten oder zweiten Stützvorrichtung ausgebildetist. Auf diese Art sind den Halteleisten zugeordnete Kupplungsabschnitte und denjeweiligen Stützvorrichtungen zugeordnete Kupplungsorgane ausgebildet, sodassdie ersten und/oder zweiten Kupplungsvorrichtungen durch jeweilige Kopplung derKupplungsabschnitte mit einem jeweiligen Kupplungsorgan wahlweise aktivier-und deaktivierbar sind. Eine derartige, formschlüssige Ausgestaltungsform stellt eine baulich besonders einfach zu realisierende, aber dennoch effiziente Variantezur Ausgestaltung der wenigstens zwei ersten und zweiten Kupplungsvorrichtun¬gen dar. Dabei werden die Kupplungsabschnitte der Halteleisten bevorzugt derartausgestaltet, dass sie sich ohne Unterbrechung über die gesamte Längserstre¬ckung der Halteleisten erstrecken. So kann eine grundsätzliche geometrische Li¬mitierung der formschlüssigen Verbindung von Halteleisten und Stützvorrichtun¬gen vermieden werden, bzw. kann die gesamte Länge der Halteleisten zur Her¬stellung einer formschlüssigen Verbindung genutzt werden.

Eine weitere zweckmäßige Ausgestaltungsform kann dadurch gebildet sein, dassdie Kupplungsabschnitte der Halteleisten durch wenigstens eine Vertiefung, ins¬besondere durch wenigstens eine Nut oder Bohrung, gebildet sind, welche Nutoder Bohrung zum formschlüssigen Verbindung mit wenigstens einem Fortsatz,insbesondere wenigstens einem Stift, der ersten oder der zweiten Stützvorrichtungausgebildet sind. Auf diese Art und Weise kann eine baulich besonders effizienteAusgestaltung für die formschlüssige Verbindung der Halteleisten mit den Stütz¬vorrichtungen bereitgestellt werden.

Bevorzugt wird das Halterungssystem derart ausgebildet, dass es drei Halteleistenumfasst. Dadurch ist einerseits eine ausreichend sichere Halterung der scheiben¬förmigen Objekte zwischen den Halteleisten gewährleistet. Andererseits ist dieMenge an potentiell hinderlichen Abschattungselementen in der Behandlungsposi¬tion bzw. in einer Behandlungskammer möglichst reduziert.

Dabei kann die Sicherheit bzw. Stabilität der Halterung der scheibenförmigen Ob¬jekte zwischen den Halteleisten nochmals dadurch weiter verbessert werden, dassdie drei Halteleisten um den Aufnahmeraum für die scheibenförmigen Objektederart positioniert sind, dass ein zwischen benachbarten Halteleisten eingenom¬mener Winkel jeweils etwa 120° beträgt. Dadurch ist insbesondere eine hohe Pro¬zesssicherheit bzw. hohe Halterungssicherheit für die scheibenförmigen Objektebeim Rotieren der zweiten Stützvorrichtung bzw. des Rotor in einer Behandlungs¬kammer gewährleistet.

Zweckmäßig kann auch eine Ausbildungsform sein, bei welcher die wenigstenszwei ersten und die wenigstens zwei zweiten Kupplungsvorrichtungen derart aus¬gestaltet sind, dass eine Kopplungsbewegung zum Verbinden der Halteleisten mitder ersten und der zweiten Stützvorrichtung, und eine Lösebewegung zum Lösender Halteleisten von der ersten und der zweiten Stützvorrichtung parallel zurLängsachse der Halteleisten durchführbar sind. Diese Ausgestaltungsform derersten und zweiten Kupplungsvorrichtungen ermöglicht Verbindungs- und Löse¬vorgänge durch einfache lineare Bewegungen der ersten Stützvorrichtung in beideRichtungen entlang der Längsachse der Halteleisten. Dadurch ist die automatisier¬te Handhabung, beispielsweise durch einen Industrieroboter, aber auch die manu¬elle Handhabung durch eine Bedienperson wesentlich erleichtert. Insbesonderewerden keine komplexen Bewegungsvorgänge zum Verbinden der Halteleisten mitden Stützvorrichtungen benötigt.

Weiters kann es sinnvoll sein, den Rotor in einer Behandlungskammer anzuord¬nen, welche Behandlungskammer Mittel zum Zuführen einer Behandlungsflüssig¬keit und/oder einem Behandlungsgas zur Behandlung, insbesondere zur chemi¬schen Reinigung, der scheibenförmigen Objekte umfasst. So ist eine besonderseffiziente Möglichkeit zur gleichmäßigen Behandlung der Oberflächen der schei¬benförmigen Objekte geschaffen. Der Rotor mit den verbundenen Halteleisten undden zwischen den Halteleisten gehalterten Objekten kann in der statischen Be¬handlungskammer rotiert werden, während zum Bespiel über Öffnungen, Düsenoder dergleichen an den Innenwänden der Behandlungskammer, Behand¬lungschemikalien in Richtung der Objekte eingebracht werden können. Durch dieRotation der Objekte, wie zum Beispiel Wafer, kann die gleichmäßige Verteilungder Prozesschemikalien über alle Oberflächenabschnitte der Wafer wirksam un¬terstützt werden.

Eine weitere zweckmäßige Ausbildungsform sieht vor, dass mittels der wenigstenszwei ersten Kupplungsvorrichtungen bei Einnahme ihres aktivierten Betriebszu¬standes, Relativbewegungen zwischen den Halteleisten und der ersten Stützvor¬richtung quer zur Längsachse der Halteleisten unterbunden sind. Auf diese Weisekann beispielsweise während eines Transfervorgangs zwischen einer Bereitstei¬ lungsposition und einer Behandlungsposition wirksam verhindert werden, dasssich scheibenförmige Objekte unbeabsichtigter bzw. ungewollter Weise aus ihrerPosition zwischen den Halteleisten lösen.

Es kann aber auch vorteilhaft sein, zwischen der ersten Stützvorrichtung und we¬nigstens einer Halteleiste zumindest eine weitere, wahlweise aktivierbare und de¬aktivierbare Koppelungsvorrichtung zum wahlweisen Verbinden und Lösen derwenigstens einen Halteleiste mit einem Koppelungsorgan der ersten Stützvorrich¬tung, und zum wahlweisen Unterbinden und Freigeben von Relativbewegungenzwischen den Halteleisten und dem Koppelungsorgan in paralleler Richtung zurLängsachse der Halteleisten auszubilden. Durch derartige Koppelungsvorrichtun¬gen kann bei einem Transfervorgang ein unbeabsichtigtes bzw. ungewolltes Lö¬sen der ersten Kupplungsvorrichtungen wirksam hintangehalten werden, wodurchdie Prozesssicherheit bzw. die Sicherheit bei einem Transfervorgang nochmaligweiter erhöht werden kann. Insbesondere kann bei einer rein formschlüssigen undlediglich in Richtung der Längsachsen der Halteleisten wirkenden Ausgestaltungs¬form der ersten Kupplungsvorrichtungen, ein Abgleiten der Halteleisten von derersten Stützvorrichtung, beispielsweise während eines Transfervorganges wirk¬sam hintangehalten werden.

Dabei kann es sinnvoll sein, dass das Koppelungsorgan zumindest ein Siche¬rungselement umfasst, welches Sicherungselement zum form- oder reibschlüssi¬gen Zusammenwirken mit einer Halteleiste ausgebildet ist. Durch ein derartigesSicherungselement kann wiederum eine baulich einfach zu realisierende und den¬noch effiziente Variante zur Sicherung bzw. Halterung der Halteleisten an der ers¬ten Stützvorrichtung bereitgestellt werden.

Weiters kann es zweckmäßig sein, dass an zumindest einem Längsende wenigs¬tens einer Halteleiste ein Sicherungsmittel, insbesondere eine Sicherungsnut vor¬gesehen ist, welches wenigstens eine Sicherungsmittel zum formschlüssigen Zu¬sammenwirken mit einem Sicherungselement, insbesondere einem Sicherungs¬fortsatz der ersten Stützvorrichtung, ausgebildet ist. Durch eine derartige Ausge¬staltung von baulich jeweils an den Halteleisten angeordneten Sicherungsnuten,und baulich an dem Koppelungsorgan der ersten Stützvorrichtung angeordneten

Sicherungsfortsätzen, ist ein rasches und effizientes, formschlüssiges Aktivierenund Deaktivieren der Koppelungsvorrichtung(en) ermöglicht. Außerdem können sobesonders ausfallssichere Koppelungsvorrichtungen realisiert werden.

Beispielsweise kann ein wahlweises Aktivieren und Deaktivieren der wenigstenseinen Koppelungsvorrichtung dadurch ermöglicht sein, dass die wenigstens eineweitere Koppelungsvorrichtung durch Verschwenkung der ersten Stützvorrichtungmittels eines Industrieroboters oder einer Bedienperson um eine parallel zurLängsachse der Halteleisten und im Wesentlichen durch das Zentrum der erstenStützvorrichtung verlaufende Achse wahlweise aktivierbar und deaktivierbar ist.Dies stellt eine baulich besonders einfach zu realisierende, aber dennoch effizien¬te Variante zum Koppeln bzw. Sichern der Halteleisten an der ersten Stützvorrich¬tung mittels des Koppelungsorgans dar. Insbesondere ist dadurch die automati¬sche Handhabung der ersten Stützvorrichtung bzw. des Koppelungsorgans durcheinen Industrieroboter optimiert, da das Aktivieren oder Deaktivieren der wenigs¬tens einen Koppelungsvorrichtung lediglich eine möglichst minimale Drehbewe¬gung der ersten Stützvorrichtung erfordert.

Alternativ oder zusätzlich kann es von Vorteil sein, wenn das Koppelungsorgan ander ersten Stützvorrichtung um eine parallel zur Längsachse der Halteleisten undim Wesentlichen durch das Zentrum der ersten Stützvorrichtung verlaufende Ach¬se zumindest soweit verschwenkbar gelagert ist, dass die wenigstens eine weitereKoppelungsvorrichtung wahlweise aktivierbar und deaktivierbar ist. Diese Ausge¬staltungsvariante erleichtert insbesondere eine manuelles Aktivieren und Deakti¬vieren der wenigstens einen ersten Koppelungsvorrichtung durch eine Bedienper¬son, da die Drehbewegung unabhängig von der Halterung der ersten Stützvorrich¬tung erfolgen kann.

Weiterer Vorteile sind dadurch erzielbar, dass an der ersten Stützvorrichtung we¬nigstens eine Stellvorrichtung angeordnet ist, mittels welcher eine Relativverstel¬lung zwischen der ersten Stützvorrichtung und den Halteleisten in paralleler Rich¬tung zur Längsachse der Halteleisten ermöglicht ist. Insbesondere können so Ver-bindungs- und Lösevorgänge zum Verbinden und Lösen der Halteleisten mit bzw.von der ersten Stützvorrichtung in besonders effizienter Art und Weise bewerkstel¬ ligt werden. Aber auch eine Aktivierung und Deaktivierung weiterer Kupplungsvor¬richtungen, zum Beispiel zum Verbinden der Halteleisten mit der zweiten Stützvor¬richtung bzw. dem Rotor und Lösen der Halteleisten vom Rotor, kann durch derar¬tige Stellvorrichtungen wesentlich verbessert bzw. erleichtert werden.

Dabei kann es zweckmäßig sein, wenn die wenigstens eine Stellvorrichtung we¬nigstens eine parallel zur Längsachse der Halteleisten verlaufende Führungsvor¬richtung umfasst. Mittels einer solchen Führungsvorrichtung sind Verbindungs¬und Lösevorgänge zum Verbinden der Halteleisten mit Stützvorrichtungen mit ho¬her Prozesssicherheit ausführbar.

Zum maschinellen Verstellen der Halteleisten relativ zur ersten Stützvorrichtungumfasst die wenigstens eine Stellvorrichtung bevorzugt einen Stellantrieb, insbe¬sondere einen pneumatischen Stellzylinder. Vorteilhaft ist dabei, dass ein baulicheinfach zu realisierendes und platzsparendes, aber dennoch effizientes Mittel zummaschinellen Verstellen der Halteleisten bereitgestellt ist.

In einerweiteren sinnvollen Ausgestaltungsform kann vorgesehen sein, dass dasKoppelungsorgan mittels der Stellvorrichtung in paralleler Richtung zur Längsach¬se der Halteleisten relativ zu einem Tragkörper der ersten Stützvorrichtung ver¬stellbar gelagert ist.

Insbesondere kann dabei vorgesehen sein dass während eines Verstellvorgangsder wenigstens einen Stellvorrichtung die wenigstens eine weitere Koppelungsvor¬richtung aktiviert, und dabei das Koppelungsorgan der ersten Stützvorrichtung alsMitnehmer für die Halteleisten wirksam ist. Auf diese Art und Weise kann dasKoppelungsorgan nicht nur zur Sicherung der Halteleisten an der ersten Stützvor¬richtung benutzt werden, sondern ist das Koppelungsorgan auch zum Verstellender Halteleisten in paralleler Richtung zur Längsachse der Halteleisten relativ zudem Tragkörper der ersten Stützvorrichtung nutzbar. Zusätzliche, baulich separatangeordnete Mitnehmer für die Halteleisten sind damit vorteilhafterweise erübrigt.

Ein weiterer Vorteil ergibt sich daraus, einen verfügbaren Verstellweg der Stellvor¬richtung derart zu dimensionieren, dass die wenigstens zwei ersten Kupplungsvor¬ richtungen mittels der Stellvorrichtung wahlweise aktivierbar und deaktivierbarsind. Dadurch sind die Halteleisten mittels der Stellvorrichtung vollständig von derersten Stützvorrichtung lösbar bzw. ist die erste Stützvorrichtung von den Halte¬leisten zum Beispiel nach Einführen der Halteleisten und der zwischen den Halte¬leisten angeordneten Objekten in einen Rotor entfernbar.

Eine weitere zweckmäßige Ausgestaltungsform ergibt sich dadurch, dass wenigs¬tens einer der Halteleisten eine Linearführung oder eine Schwenklagerung zuge¬ordnet ist, mittels welcher die Halteleiste vom Aufnahmeraum für die scheibenför¬migen Objekte wahlweise entfernbar und zum Aufnahmeraum annäherbar ist. Beiwenigstens einer vom Aufnahmeraum entfernten Halteleiste ist es ermöglicht,dass die Halteleisten mittels der ersten Stützvorrichtung um in einer Bereitstel¬lungsvorrichtung angeordnete scheibenförmige Objekte positionierbar sind. Nacherfolgtem Annähern der wenigstens einen Halteleiste an den Aufnahmeraum mit¬tels der Linearführung können die scheibenförmigen Objekte zwischen den Halte¬leisten gehaltert, und mittels der ersten Stützvorrichtung zum Beispiel in einen Ro¬tor überführt werden.

Bevorzugt ist der Linearführung oder Schwenklagerung ein Stellantrieb, insbeson¬dere ein pneumatischer Stellzylinder, zur Relativverstellung der wenigstens einenHalteleiste zugeordnet. Dadurch ist ein baulich einfach zu realisierendes undplatzsparendes, aber dennoch effizientes Mittel zum maschinellen Verstellen derHalteleisten bereitgestellt.

Dabei kann es weiters zweckmäßig sein, dass zumindest jenen Halteleisten, wel¬che mittels der Linearführung oder Schwenklagerung verstellbar gelagert sind, einzusätzliches Axialsicherungsmittel zugeordnet ist, welches zusätzliche Axialsiche¬rungsmittel zur wahlweisen Unterbindung und Freigabe von Relativbewegungenzwischen dieser Halteleiste und der ersten Stützvorrichtung in paralleler Richtungzur Längsachse dieser Halteleiste ausgebildet ist. Durch diese Ausgestaltungsva¬riante kann ein ungewolltes Lösen dieser Halteleisten auch dann wirksam unter¬bunden werden, wenn die Halteleiste mittels der Stellvorrichtung vom Aufnahme¬raum entfernt positioniert ist.

Grundsätzlich kann die erste Stützvorrichtung zur automatisierten Handhabungdurch eine entsprechend programmierte bzw. programmierbare automatischeHandhabungsvorrichtung ausgebildet sein. Hierzu kann die erste Stützvorrichtungbeispielsweise eine Verbindungsschnittstelle zu einem Industrieroboter aufweisen,sodass die erste Stützvorrichtung als Endeffektor des Industrieroboters fungiert.

Alternativ und/oder zusätzlich kann die erste Stützvorrichtung aber auch zur ma¬nuellen Handhabung durch eine Bedienperson vorgesehen sein. Dann kann eszweckmäßig sein, dass die erste Stützvorrichtung wenigstens einen, insbesonderezumindest zwei Handgriffe zum manuellen Ergreifen der ersten Stützvorrichtungdurch eine Bedienperson aufweist.

Zusätzlich kann es sinnvoll sein, dass die erste Stützvorrichtung wenigstens eineHandhabe zum manuellen Einleiten von Stellbewegungen der verstellbaren Ele¬mente an der ersten Stützvorrichtung aufweist. Dadurch ist auch eine manuelleHandhabung der ersten Stellvorrichtung durch eine Bedienperson ermöglicht.

Die Erfindung betrifft aber auch eine Behandlungsvorrichtung für scheibenförmigeObjekte, insbesondere Halbleiter-Wafer, welche Vorrichtung einen in einer Be¬handlungskammer angeordneten Rotor, eine Mehrzahl von Auslässen zur Einlei¬tung von gasförmigen oder flüssigen Chemikalien in die Behandlungskammer, undeine an einem axialen Ende der Rotationsachse des Rotors angeordnete Beschi¬ckungsöffnung zur Einbringung einer Mehrzahl von zu behandelnden, scheiben¬förmigen Objekten umfasst. Die Behandlungsvorrichtung zeichnet sich dadurchaus, dass der Rotor zum lösbaren Aufnehmen von und Verbinden mit Halteleistendes oben beschriebenen, erfindungsgemäßen Halterungssystems vorgesehen ist.Die dadurch erzielbaren Vorteile sind äquivalent zu den sich aus dem erfindungs¬gemäßen Halterungssystem ergebenden Vorteile.

Die Aufgabe der Erfindung wird auch dadurch gelöst, dass ein Verfahren zum Be¬schicken einer Behandlungsvorrichtung mit einer stapelartigen Anordnung schei¬benförmiger Objekte bereitgestellt wird, wobei die scheibenförmigen Objekte zwi¬schen wenigstens zwei Halteleisten angeordnet werden, welche Halteleisten mit¬tels Tragmitteln an den Randabschnitten der scheibenförmigen Objekte form- schlüssig eingreifen. Erfindungsgemäß werden die die Halteleisten mittels wenigs¬tens zwei werkzeuglos aktivier- und deaktivierbaren ersten Kupplungsvorrichtun¬gen unmittelbar mit einer ersten Stützvorrichtung verbunden, anschließend wer¬den die Halteleisten mittels wenigstens zwei werkzeuglos aktivier- und deaktivier¬baren zweiten Kupplungsvorrichtungen unmittelbar mit einer in der Behandlungs¬vorrichtung angeordneten zweiten Stützvorrichtung, insbesondere einem Rotorverbunden, und nachfolgend die mechanische Verbindung zwischen der erstenStützvorrichtung und den Halteleisten mittels den wenigsten zwei ersten Kupp¬lungsvorrichtungen unmittelbar gelöst. Durch diese Maßnahmen ist ein Verfahrenbereitgestellt, mittels welchem eine verbesserte, möglichst umfassende undgleichmäßigere Behandlung von scheibenförmigen Objekten, wie zum BeispielHalbleiterwafern erzielbar ist. Weitere Vorteile des Verfahrens ergeben sich inäquivalenter Art zu den bereits oben beschriebenen Vorteilen des erfindungsge¬mäßen Halterungssystems, mittels welchem die Ausführung des erfindungsgemä¬ßen Verfahrens ermöglicht ist.

Dabei kann eine Ausführungsform des Verfahrens durchgeführt werden, beiwelcher die scheibenförmigen Objekte zwischen drei gleichmäßig überden Rota¬tionsumfang des Rotors verteilt angeordnete Halteleisten gehalten werden, undmittels drei zweiten Kupplungsvorrichtungen eine formschlüssige Verbindung zwi¬schen den Halteleisten und dem Rotor aufgebaut wird. Durch diese Verfahrens¬führung ist eine hohe Verfahrenssicherheit erzielbar, insbesondere können diescheibenförmigen Objekte sicher durch die Halteleisten im Rotor gehaltert werden,während der Rotor in Rotation versetzt wird.

Schließlich kann die Verfahrensführung dabei derart erfolgen, dass die Halteleis¬ten ausschließlich durch die wenigstens zwei zweiten Kupplungsvorrichtungenformschlüssig an den jeweiligen Sollpositionen am Rotationsumfang des Rotorsgehalten werden. Dadurch kann die Menge an störenden bzw. hinderlichen Ele¬menten welche zur Abschattung wenigstens von Teilen der Oberflächen der zubehandelnden Objekte führen können, in einer Behandlungskammer zumindestweitestgehend minimiert werden.

Zum besseren Verständnis der Erfindung wird diese anhand der nachfolgenden

Figuren näher erläutert.

Es zeigen jeweils in stark vereinfachter, schematischer Darstellung:

Fig. 1 eine Flalterungsvorrichtung gemäß dem Stand der Technik, in schema¬tischer, perspektivischer Darstellung;

Fig. 2 ein Ausführungsbeispiel für Komponenten eines erfindungsgemäßenFlalterungssystem, in schematischer, perspektivischer Darstellung, mitaufgelösten Komponenten des Flalterungssystems;

Fig. 3 ein Ausführungsbeispiel für Komponenten eines erfindungsgemäßenFlalterungssystem in einer ersten Stellung relativ zueinander, in sche¬matischer, perspektivischer Darstellung;

Fig. 4 ein Ausführungsbeispiel für Komponenten eines erfindungsgemäßenFlalterungssystem in einerweiteren Stellung relativ zueinander, inschematischer, perspektivischer Darstellung;

Fig. 5 ein Ausführungsbeispiel für Komponenten eines erfindungsgemäßenFlalterungssystem in einer weiteren Stellung relativ zueinander, inschematischer, perspektivischer Darstellung;

Fig. 6 ein Ausführungsbeispiel für Komponenten eines erfindungsgemäßenFlalterungssystem in einer weiteren Stellung relativ zueinander, inschematischer, perspektivischer Darstellung;

Fig. 7 ein Ausführungsbeispiel für Komponenten eines erfindungsgemäßenFlalterungssystem in einer weiteren Stellung relativ zueinander, inschematischer, perspektivischer Darstellung;

Fig. 8 ein Ausführungsbeispiel für Komponenten eines erfindungsgemäßenFlalterungssystem in einerweiteren Stellung relativ zueinander, inschematischer, perspektivischer Darstellung;

Fig. 9 ein Ausführungsbeispiel für Komponenten eines erfindungsgemäßenHalterungssystem in einer weiteren Stellung relativ zueinander, inschematischer, perspektivischer Darstellung;

Fig. 10 ein Ausführungsbeispiel für Komponenten eines erfindungsgemäßenHalterungssystem in einerweiteren Stellung, in schematischer, per¬spektivischer Darstellung.

Einführend sei festgehalten, dass in den unterschiedlich beschriebenen Ausfüh¬rungsformen gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichen bzw. gleichen Bauteilbe¬zeichnungen versehen werden, wobei die in der gesamten Beschreibung enthal¬tenen Offenbarungen sinngemäß auf gleiche Teile mit gleichen Bezugszeichenbzw. gleichen Bauteilbezeichnungen übertragen werden können. Auch sind die inder Beschreibung gewählten Lageangaben, wie z.B. oben, unten, seitlich, mittigusw. auf die unmittelbar beschriebene sowie dargestellte Figur bezogen und sinddiese Lageangaben bei einer Lageänderung sinngemäß auf die neue Lage zuübertragen. Aus Übersichtlichkeitsgründen werden teilweise nicht alle in den Figu¬ren dargestellten Elemente bzw. Bauteile mit Bezugszeichen versehen. Insbeson¬dere werden bei baugleichen Elementen bzw. Bauteilen teilweise lediglich exemp¬larisch ein oder mehrere dieser Bauteile mit Bezugszeichen versehen.

In der Fig. 1 ist ein Beispiel für eine zylinderförmige Halterungsvorrichtung 1 ge¬mäß dem Stand der Technik perspektivisch dargestellt. Zur Aufnahme von schei¬benförmigen Objekten 2 weist die Haltevorrichtung Halteleisten 3 auf, wobei zwi¬schen den Halteleisten 3 ein Aufnahmeraum 4 für die Scheiben 2 gebildet ist. Indem in Fig. 1 gezeigten Ausführungsbeispiel können die scheibenförmige Objekte2 in der Halterungsvorrichtung 1 bzw. im Aufnahmeraum 4 stapelartig in einer zu¬einander parallelen und voneinander beabstandeten Lage angeordnet werden.Eine derartige Anordnung ist beispielsweise für die Oberflächenbehandlung vonscheibenförmigen Objekten in Sprühkammern üblich. Für die stapelartige Anord¬nung der Objekte 2 im Aufnahmeraum 4 weist jede Halteleiste 3 entlang einer je¬weiligen Längsachse 5 der Halteleiste 3 Tragmittel 6 auf. Im in Fig. 1 gezeigtenAusführungsbeispiel sind die Tragmittel 6 durch voneinander beabstandete undentlang der Längsachse angeordnete, nutartige Einkerbungen bzw. Einschnitte in den Halteleisten 3 gebildet. Diese Einkerbungen sind jeweils zur Aufnahme einesRandabschnittes eines scheibenförmigen Objektes 2 ausgestaltet, wie dies ausFig. 1 ersichtlich ist. Zusätzlich weist die Halterungsvorrichtung 1 zur Fixierung derHalteleisten 3 in ihrer Position relativ zueinander eine Stützvorrichtung auf, welcheim in Fig. 1 gezeigten Beispiel durch 2 baulich separat an der Halterungsvorrich¬tung 1 angebrachte Stützringe 7, 7' ausgebildet ist. Dadurch ist eine baulich ein¬stückige Halterungsvorrichtung 1 gebildet, in welcher die scheibenförmigen Objek¬te 2 in ihrer Lage relativ zueinander fixiert gehalten sind.

Die in Fig. 1 dargestellten scheibenförmigen Objekte 2 sind als runde Scheibenausgestaltet, wobei selbstverständlich auch andere Scheibenformen bzw. Schei¬bengeometrien möglich sind. Die Halterungsvorrichtung 1 gemäß dem Stand derTechnik, muss dabei allerdings baulich an die jeweilige Form der scheibenförmi¬gen Objekte 2 angepasst sein, sodass die Halterungsvorrichtung 1 jeweils nur zurAufnahme einer bestimmten geometrischen Ausgestaltungsform der scheibenför¬migen Objekte 2 geeignet ist.

Zwei Halteleisten 3 der baulich einstückigen Halterungsvorrichtung 1 in Fig. 1 sindmittels Schwenkgelenken 8 vom Aufnahmeraum 4 wegschwenkbar ausgeführt.Dadurch ist eine Öffnung zum Einführen und Entnehmen von Wafern 2 in bzw.aus dem Aufnahmeraum 4 der Halterungsvorrichtung 1 geschaffen. Die Halte¬rungsvorrichtung 1 kann im geschlossenen Zustand beispielsweise hündisch voneiner Bedienperson, oder von einer entsprechend ausgestalteten und program¬mierten, automatischen Handhabungsvorrichtung zwischen verschiedenen Positi¬onen transferiert werden, zum Beispiel von einer Bereitstellungsposition für dasEinführen und/oder Entfernen von Wafern 2, in eine Behandlungsposition für dieWafer 2, oder umgekehrt. Die scheibenförmigen Objekte 2 und die Halteleisten 3sind dabei in der jeweiligen Position, zum Beispiel in einer Behandlungsposition,oder bei einem Transfervorgang zwischen verschiedenen Positionen durch diebaulich mit der Halterungsvorrichtung 1 verbundenen Stützringe 7, 7' in ihrer Lagerelativ zueinander fixiert gehalten. Wie bereits eingangs beschrieben ist dabei al¬lerdings nachteilig, dass durch die baulich an der Halterungsvorrichtung 1 ausge¬bildeten Stützringe 7, 7' und den zahlreichen, zwischen den Stützringen 7, 7' an¬ geordneten Verstrebungen, bestimmte Zonen in einer Behandlungskammer fürStröme bzw. Strahlen einer Prozessflüssigkeit abschatten, und dadurch eine um¬fassende und gleichmäßige Behandlung der Scheibenoberflächen erschwert ist.

In der Fig. 2 sind Komponenten einer Ausführungsform eines erfindungsgemäßenHalterungssystems 9 in perspektivischer und aufgelöster Darstellung gezeigt. DasHalterungssystem 9 umfasst bevorzugt drei Halteleisten 3, zwischen welchen ei¬nen Aufnahmeraum 4 für die scheibenförmigen Objekte 2 bzw. Wafer 2 gebildetist. Wiederum sind an jeder der drei dargestellten Halteleisten 3 in Fig. 2 entlangeiner jeweiligen Längsachse 5 der Halteleisten 3 Tragmittel 6 angeordnet. DieTragmittel 6 der Halteleisten 3 sind in dem in Fig. 2 gezeigten Ausführungsbeispieldurch Einkerbungen gebildet, welche zur Halterung der scheibenförmigen Objekte2 jeweils mit einem Randabschnitt der scheibenförmigen Objekte 2 in Wechselwir¬kung stehen.

Die Tragmittel 6 der Halteleisten 3 sind derart ausgestaltet bzw. angeordnet, dasseine stapelartige Anordnung der scheibenförmigen Objekte 2, in einer zueinanderparallelen und voneinander beabstandeten Anordnung ermöglicht ist. Wie aus derFig. 2 weiters ersichtlich ist, sind beim erfindungsgemäßen Halterungssystem 9die drei Halteleisten 3 baulich eigenständig ausgebildet, und weisen keine festeVerbindung zueinander auf.

Selbstverständlich wäre in der für Fig. 2 gewählten Darstellungsform, die in derFig. 2 mittig gezeigte Komponente, umfassend die drei Halteleisten 3 und die zwi¬schen den Halteleisten 3 angeordneten Objekte 2, für sich allein genommen me¬chanisch instabil, da kein Stützmittel zum Fixieren der Halteleisten 3 mit den Hal¬teleisten 3 verbunden ist. Zum besseren Verständnis der Erfindung ist die gewähl¬te, aufgelöste Darstellungsform von Einzelkomponenten des Halterungssystems 9dennoch geeignet, da die wesentlichen Aspekte der Erfindung besser veranschau¬licht werden können, und es wird an dieser Stelle vermerkt, dass die für Fig. 2 ge¬wählte Darstellungsform keinen realen Zustand des Halterungssystems 9 darstellt.Realfälle für Anordnungen der Komponenten eines erfindungsgemäßen Halte¬rungssystems 9 sind beispielsweise aus den folgenden Fig. 3 bis 10 ersichtlich, inwelchen jeweils zumindest eine Stützvorrichtung 12, 13 zur Fixierung der Halte¬ leisten in ihrer Lage relativ zueinander, mit den Halteleisten 3 verbunden darge¬stellt ist.

Zwecks Halterung bzw. Fixierung der in Fig. 2 mittig gezeigten Anordnung derbaulich eigenständigen Halteleisten 3 in ihrer Lage relativ zueinander, sind dreiwerkzeuglos aktivier- und deaktivierbare erste Kupplungsvorrichtungen 10und/oder drei werkzeuglos aktivier- und deaktivierbare zweite Kupplungsvorrich¬tungen 11 vorgesehen. Mittels dieser ersten und zweiten Kupplungsvorrichtungen10,11 sind die drei Halteleisten 3 in Fig. 2, wahlweise unmittelbar mit der auf derrechten Seite dargestellten, ersten Stützvorrichtung 12, oder unmittelbar mit demin Fig. 2 links dargestellten Rotor 13 bzw. der zweiten Stützvorrichtung 13, odersowohl mit der ersten Stützvorrichtung 12 und dem Rotor 13 verbindbar. Dabei istdie jeweilige Verbindung zwischen den in Fig. 2 dargestellten Komponenten 3,12,13 via die Kupplungsvorrichtungen 10, 11 unmittelbar wieder lösbar, sodassdiedrei Halteleisten 3 bzw. die zwischen den Halteleisten 3 angeordneten scheiben¬förmigen Objekte 2 mittels der Stützvorrichtung 12 in den Rotor 13 einbringbaroder aus dem Rotor 13 entnehmbar sind.

Bei Bedarf können auch mehr als drei Halteleisten 3 angeordnet sein, zumindestaber sind zwei Halteleisten 3 nötig, um die scheibenförmigen Objekte 2 in ihrerLage relativ zueinander zu positionieren. Bei einer Anordnung von nur zwei Halte¬leisten 3, kann die Halterung der scheibenförmigen Objekte 2 beispielsweise überein formschlüssiges Zusammenwirken von entsprechend an den Halteleisten 3ausgestalteten Tragmitteln 6 mit den Randabschnitten der scheibenförmigen Ob¬jekte 2 unterstützt werden. Die Tragmittel 6 können dabei zumindest teilweise andie Form der Randabschnitte der scheibenförmigen Objekte 2 angepasst sein,sodass ein zumindest abschnittsweiser, passgenauer Formschluss zwischen denTragmitteln 6 und den Randabschnitten der Objekte 2 ermöglicht ist. Bei einerVerwendung von nur zwei Halteleisten können die zwei Halteleisten bei einemTransfervorgang zwischen verschiedenen Positionen von einer entsprechendausgebildeten ersten Stützvorrichtung und aktivierten ersten Kupplungsvorrichtun¬gen in Richtung des Bodens weisend positioniert sein, sodass die scheibenförmi¬gen Objekte von den Halteleisten quasi tragend gehaltert sind. In einem solchen

Fall wäre im Rotor gegebenenfalls wenigstens eine baulich im Rotor angeordnete,zusätzliche Stützstrebe oder ähnliche Stützvorrichtung für die scheibenförmigenObjekte vorzusehen, um die scheibenförmigen Objekte während des Rotierens zustabilisieren.

Die Kupplungsvorrichtungen 10 sind in dem in Fig. 2 gezeigten Ausführungsbei¬spiel durch zur gegenseitigen, formschlüssigen Kopplung ausgestaltete Elementean den Halteleisten 3 und an der ersten Stützvorrichtung 12 gebildet. An den Hal¬teleisten 3 sind Kupplungsabschnitte 14 ausgestaltet. In dem in Fig. 2 gezeigtenAusführungsbeispiel sind die Kupplungsabschnitte 14 an den Halteleisten 3 durchjeweils zwei Vertiefungen bzw. Nuten 15 an gegenüberliegenden Seitenflächender Halteleisten 3 gebildet. Die Nuten 15 sind jeweils parallel zur Längsachse 5der Halteleisten 3 ausgerichtet, und erstrecken sich über die gesamte Länge derHalteleisten 3. Selbstverständlich wäre es auch möglich, je zwei baulich separateKupplungsabschnitte 14 an den beiden Längsenden einer Halteleiste 3 anzuord¬nen.

Zur formschlüssigen Kopplung mit den nutförmigen Kupplungsabschnitten 14 derHalteleisten 3, sind an der Stützvorrichtung 12 Kupplungsorgane 16 ausgestaltet.Im in Fig. 2 gezeigten Ausführungsbeispiel sind diese Kupplungsorgane 16 durchje zwei Fortsätze bzw. Stifte 17 gebildet, welche jeweils mit den beiden Nuten 15einer Halteleiste 3 formschlüssig verbindbar und wieder lösbar sind. Durch form¬schlüssiges Verbinden der beiden Nuten 15 der drei Halteleisten 3 mit den Stiften17 der ersten Stützvorrichtung 12 können die drei Kupplungsvorrichtungen 10 ak¬tiviert, und die drei Halteleisten 3 gegenüber der ersten Stützvorrichtung 12 ver¬bunden werden, wie dies auch aus Fig. 3 ersichtlich ist. Durch das formschlüssigeVerbinden der Stifte 17 der ersten Stützvorrichtung 12 mit den Nuten 15 der Halte¬leisten 3, sind die ersten Kupplungsvorrichtungen 10 aktiviert, und sind die Halte¬leisten 3 und die scheibenförmigen Objekte 2 mittels der ersten Stützvorrichtung12 in ihrer Lage relativ zueinander fixiert. Dadurch sind aufgrund der ersten Kupp¬lungsvorrichtungen 10 - bei Einnahme ihres aktivierten Betriebszustandes - Rela¬tivbewegungen zwischen den Halteleisten 3 und der ersten Stützvorrichtung 12quer zur Längsachse 5 der Halteleisten 3 unterbunden.

Weiters kann eine an der ersten Stützvorrichtung 12 auf der den Halteleisten 3zugewandten Seite angeordnete Schutzplatte 43 oder ein ähnliches Schutzobjektausgebildet sein. Diese Schutzplatte 43 kann zum Beispiel als Partikelschutz wirk¬sam sein, um eine Übertragung von Verunreinigungen von der ersten Stützvorrich¬tung 12 auf die Halteleisten 3 oder die Objekte 2 und umgekehrt, hintanzuhalten.Aus Übersichtlichkeitsgründen und zwecks besserer Veranschaulichung ist einederartige Schutzscheibe 43 in den Fig. 3 bis 10 nicht dargestellt.

Wie es in Fig. 3 dargestellt ist, erfolgt der formschlüssige Eingriff der Stifte 17 mitden Nuten 15 der Halteleisten 3 einseitig, in etwa überein Drittel der gesamtenLängserstreckung der Halteleisten 3, sodass die Halteleisten 3 im Zuge einesTransfervorganges der scheibenförmigen Objekte 2 mittels einer einzigen erstenStützvorrichtung 12 räumlich derart fixiert sind, dass sie in Art von einseitig gela¬gerten Trägern von der ersten Stützvorrichtung 12 vorkragen. Dadurch sind dieHalteleisten 3 bei aktivierten ersten Kupplungsvorrichtungen 10 gleichzeitig auchmit weiteren Stützvorrichtungen verbindbar, beispielsweise mit dem in den Fig. 2bis 7 dargestellten Rotor 13.

Die drei Kupplungsvorrichtungen 11 in Fig. 2, zum Verbinden der Halteleisten 3mit dem Rotor 13, sind ähnlich ausgestaltet, wie die drei Kupplungsvorrichtungen10 zum Verbinden der Halteleisten 3 mit ersten Stützvorrichtung 12. Auch diezweite Stützvorrichtung bzw. der in Fig. 2 dargestellte Rotor 13 weist Kupplungs¬organe 16 auf, welche zum formschlüssigen Wechselwirken mit den Nuten 15 derHalteleisten 3 ausgestaltet sind. Im Falle des in Fig. 2 auf der linken Seite darge¬stellten Rotors 13, sind die Kupplungsorgane 16 als Haltestreben 18 ausgebildet.Die Haltestreben 18 zwischen erstrecken sich einem Kopfelement 19 des Rotors13, und einem an der dem Kopfelement 19 gegenüberliegenden Seite des Rotors13 angeordnetem Ringelement 20. Die Längserstreckungen der Haltestreben 18des Rotors 13 entsprechen im in Fig. 2 gezeigten Ausführungsbeispiel zumindestweitestgehend den Längserstreckungen der Halteleisten 3. Dadurch sind die Hal¬teleisten 3 betreffend ihre Längserstreckung vollständig in den Rotor 13 einbring-bar, wie dies insbesondere aus den Fig. 5 bis 7 ersichtlich ist. Durch formschlüssi¬ges Verbinden der Nuten 15 der drei Halteleisten 3 in Fig. 2 mit den Haltestreben 18 des Rotors 13, können die zweiten Kupplungsvorrichtungen 11 aktiviert wer¬den, und sind die Halteleisten 3 und die zwischen den Halteleisten 3 angeordne¬ten Objekte 2 bzw. Wafer 2 in ihrer Lage relativ zueinander im Rotor 13 fixiert.

Somit ist festzustellen, dass die Halteleisten 3 beim in den Rotor 13 eingesetztenbzw. eingeschobenen Zustand, das heißt im aktiven Zustand der zweiten Kupp¬lungsvorrichtungen 11, in Bezug auf eine quer zur Längsachse 5 der Halteleisten3 verlaufende Ebene spielfrei oder im Wesentlichen spielfrei relativ zum Rotor 13,insbesondere relativ zu dessen Haltestreben 18, gehaltert sind. Demgegenübersind die Halteleisten 3 in paralleler Richtung zur Längsachse 5 der Halteleisten 3beim in den Rotor 13 eingesetzten Zustand grundsätzlich relativbeweglich zumRotor 13 und vorzugsweise lediglich durch Schwerkrafteinwirkung und/oder Reib¬schluss im Rotor 13 positioniert gehalten.

Der in den Fig. 2 bis 7 dargestellte Rotor 13 ist üblicherweise zwecks Behandlungder scheibenförmigen Objekte 2 bzw. der Oberflächen der Objekte 2 in einer Be¬handlungskammer 47 oder einer ähnlichen Vorrichtung angeordnet, wobei einesolche Behandlungskammer aus Übersichtlichkeitsgründen lediglich in der Fig. 7dargestellt ist. Eine derartige Behandlungskammer 47 weist üblicherweise Mittelzum Zuführen von gasförmigen und/oder flüssigen Chemikalien wie zum Beispieleiner Behandlungsflüssigkeit oder dergleichen auf. Beispielsweise können an denInnenwänden einer Behandlungskammer 47 Auslässe bzw. Öffnungen in der Artvon Sprühdüsen angeordnet sein, mittels welcher Sprühdüsen eine Behandlungs¬flüssigkeit in Richtung der Oberflächen der scheibenförmigen Objekte 2 geleitetwerden kann, um die Oberflächen der Objekte 2 chemisch zu behandeln. ZumBeschicken einer solchen Behandlungskammer 47 mit einer Mehrzahl von zu be¬handelnden, scheibenförmigen Objekten 2, weist eine Behandlungskammer 47üblicherweise eine Beschickungsöffnung 48 auf, welche an einem axialen Endeeiner Rotationsachse 21 des Rotors 13 angeordnet sein kann.

Wie bereits eingangs erläutert, ergibt sich ein wesentlicher Vorteil der gegenständ¬lichen Erfindung dadurch, dass aufgrund der wahlweise verbindbaren und lösba¬ren Kupplungsvorrichtungen 10,11 die Halteleisten 3 baulich eigenständig ausge¬bildet werden können. Dadurch erübrigen sich die im Stand der Technik üblichen

Stützelemente, wie etwa Längs- und Querverstrebungen, Stützplatten oder-ringe,und dergleichen, sodass die Anzahl an Volums-Bereichen in der Kammer, welchefür einen Strom bzw. Strahl der Behandlungsflüssigkeit nur erschwert oder garnicht zugänglich sind, zumindest minimiert ist. Mittels die zweite Kupplungsvorrich¬tung 11 können die Halteleisten 3 mit dem Rotor 13 verbunden werden, und sinddie Halteleisten 3 bzw. die scheibenförmigen Objekte 2 in ihrer Lage relativ zuei¬nander durch den Rotor 13 bzw. die zweite Stützvorrichtung 13 in der Behand¬lungskammerfixiert.

Am Kopfelement 19 des Rotors 13 ist auf der von dem Ringelement 20 abgewen¬deten Seite des Kopfelements 19, ein Verbindungsstück 22 angeordnet, welchesVerbindungsstück 22 direkt oder indirekt mit einem Antriebsorgan (nicht darge¬stellt) zum Rotieren des Rotors 13 in einer Behandlungskammer verbindbar ist. Imin den Fig. 2 bis 7 gezeigten Ausgestaltungsbeispiel weist der Rotor 13 außerdemnoch drei zusätzliche Stützstreben 23 auf, welche jeweils relativ zu den Haltestre¬ben 18 radial nach außen versetzt im Bereich der Haltestreben 18 angeordnetsind. Diese Stützstreben 23 verbessern vor allem die Stabilität der Anordnung derHalteleisten 3 und der scheibenförmigen Objekte 2 im Rotor 13, während der Ro¬tor 13 rotiert. Die Rotation der scheibenförmigen Objekte 2 während einer Behand¬lung in einer Behandlungskammer kann dabei um eine Rotationsachse 21 erfol¬gen, welche durch das Zentrum der scheibenförmigen Objekte 2 verläuft. Durchdie beispielsweise aus den Fig. 4 bis 7 ersichtliche, bevorzugte Ausführungsformder zweiten Kupplungsvorrichtungen 11, ist eine Verdrehung der Halteleisten 3 umderen Längsachsen 5 wirksam unterbunden, insbesondere auch dann, wenn derRotor 13 in Rotation versetzt ist.

Wie zum Beispiel in Fig. 2 veranschaulicht ist, wird die räumliche Anordnung derdrei Halteleisten 3 in ihrer Lage relativ zueinander, wird im Wesentlichen durch dieAnordnung der Stifte 17 an der ersten Stützvorrichtung 12 bzw. durch die Anord¬nung der Haltestreben 18 des Rotors 13 bestimmt. Dies ist auch aus den in denFig. 3 bis 7 dargestellten, realen Stellungs- bzw. Positionierungsbeispielen ersicht¬lich. Bevorzugt sind die Halteleisten 3 um den Aufnahmeraum 4 für die scheiben¬förmigen Objekte 2 derart positioniert, dass ein zwischen benachbarten Halteleis- ten 3 eingenommener Winkel jeweils etwa 120° beträgt. Möglich sind auch andereAnordnungsvarianten, ein zwischen benachbarten Halteleisten 3 eingenommener,spitzer Winkel sollte dabei allerdings zumindest gleich oder kleiner 180 ° sein.

Alternativzu dem in den Fig. 2 bis 10 dargestellten Ausführungsbeispiel, sind na¬türlich auch andere Ausgestaltungsvarianten zur Ausgestaltung der Kupplungsvor¬richtungen 10,11 denkbar, Zum Beispiel können die Kupplungsabschnitte 14 derHalteleisten 3 durch - in Richtung der Längsachse 5 der Halteleisten 3 - ausge¬führte Bohrungen in den bzw. durch die Halteleisten 3 gebildet sein. Solche Boh¬rungen könnten wiederum zum formschlüssigen Wechselwirken mit Fortsätzenbzw. Stiften an der ersten Stützvorrichtung 12 ausgeformt sein.

Grundsätzlich sind auch gänzlich anders ausgestaltete Kupplungsvorrichtungen10, 11 möglich. Zum Beispiel kann die Aktivierung einer erfindungsgemäßenKupplungsvorrichtung 10,11 zur Koppelung der Halteleisten 3 mit den Stützvor¬richtungen 12,13 auch durch einen Reibschluss erzielt werden. Dabei kann einereibschlüssige Verbindung in Kombination mit einer formschlüssigen Verbindungausgestaltet sein. Zum Beispiel kann eine Aktivierung einer erfindungsgemäßenKupplungsvorrichtung 10,11 durch Klemmwirkung zwischen den Halteleisten 3und den Stützvorrichtungen 12, 13 erreicht werden. Hierzu könnten beispielsweisegegenseitig wirksame Schnapp- und/oder Rastelemente und dergleichen zur An¬wendung kommen. Weitere Ausgestaltungsvarianten können beispielsweise durchaktivier- und deaktivierbare kraftschlüssige Wechselwirkungen, zum Beispiel mag¬netischer Natur oder mittels Saugvorrichtungen an den Stützvorrichtungen, oderandere geeignete Vorrichtungen realisiert werden. Grundsätzlich kann die exakteArt der Ausgestaltung der Kupplungsvorrichtungen 10, 11 von einem auf diesemtechnischen Gebiet kundigen Fachmann unter Zuhilfenahme des gegenwärtigenund zukünftigen Stand der Technik festgelegt werden.

Im Nachfolgenden werden anhand der Fig. 3 bis 10 weitere vorteilhafte Merkmalebzw. Ausgestaltungsbeispiele des erfindungsgemäßen Halterungssystems 9 be¬schrieben. Durch sequentielle Zusammenbetrachtung der Fig. 3 bis 7 in dieserReihenfolge, ist auch ein Transfervorgang zum Beschicken des Rotors 13 mit denscheibenförmigen Objekten 2 veranschaulicht. Durch Umkehr der Betrachtungs¬ sequenz der Fig. 3 bis 7, also sequentieller Betrachtung Fig. 7, 6, 5, 4 und 3 indieser Reihenfolge, ist auch ein Transfervorgang zum Entfernen der Objekte 2 ausdem Rotor 13 mittels der ersten Stützvorrichtung 12 ersichtlich. Deaktivierte ersteKupplungsvorrichtungen 10 und deaktivierte zweite Kupplungsvorrichtungen 11sind in den Figuren jeweils mittels strichpunktierter Linien und einer geschwunge¬nen Klammer veranschaulicht, wobei auf die geschwungenen Klammern mit Pfei¬len und den Bezugszeichen 10 bzw. 11 hingewiesen wird. Aktivierte erste Kupp¬lungsvorrichtungen 10 und aktivierte zweite Kupplungsvorrichtungen 11 sind je¬weils mit Pfeilen und den Bezugszeichen 10 bzw. 11 versehen.

Wie durch sequentielle Zusammenschau der Fig. 3 bis 7 zu ersehen ist könnendie jeweils drei ersten und zweiten Kupplungsvorrichtungen 10,11 derart ausge¬staltet sein, dass eine Kopplungsbewegung zum Verbinden der Halteleisten 3 mitder ersten und der zweiten Stützvorrichtung 12,13, sowie eine Lösebewegungzum Lösen der Halteleisten 3 von der ersten und der zweiten Stützvorrichtung 12,13, parallel zur Längsachse 5 der Halteleisten 3 durchführbar sind.

In der Fig. 3 sind die Halteleisten 3 lediglich mit der ersten Stützvorrichtung 12verbunden gezeigt. Die scheibenförmigen Objekte 2 bzw. Wafer 2, oder die Halte¬leisten 3 und die Wafer 2 können zuvor mittels der ersten Stützvorrichtung 12 zumBeispiel aus einer Bereitstellungsvorrichtung oder einer anderen Behandlungsvor¬richtung entnommen worden sein. Fig. 4 veranschaulicht den Kopplungsvorgangder Halteleisten 3 mit der zweiten Stützvorrichtung 13, insbesondere dem Rotor 13. Dabei sind zumindest kurzzeitig die drei ersten und drei zweiten Kupplungs¬vorrichtungen 10,11 aktiviert, sodass die Halteleisten 3 sowohl mit der erstenStützvorrichtung 12 als auch mit dem Rotor 13 verbunden sind. Der Transfervor¬gang wird schließlich durch Lösen der mechanischen Verbindung zwischen derersten Stützvorrichtung 12 und den Halteleisten 3 bzw. Deaktivieren der erstenKupplungsvorrichtungen 10, und Entfernen der ersten Stützvorrichtung 12 vomRotor 13 bzw. von den Halteleisten 3 beendet, wie dies in den Fig. 5 bis 7 veran¬schaulicht ist. Zum Lösen und Entfernen der Halteleisten 3 von der ersten Stütz¬vorrichtung 12 sind dabei in dem in Fig. 5 und 6 gezeigten Ausführungsbeispiel,weitere Verstellvorgänge von weiteren Stellelementen der ersten Stützvorrichtung 12 dargestellt. Diese Verstellvorgänge bzw. Stellelemente werden im Nachfolgen¬den noch näher erläutert.

Letztlich sind - wie in Fig. 7 dargestellt - die scheibenförmigen Objekte 2 bzw.Wafer 2 zwischen den drei gleichmäßig über den Rotationsumfang des Rotors 13verteilt angeordneten Halteleisten 3 gehalten, bzw. ist mittels den drei zweitenKupplungsvorrichtungen 11 eine formschlüssige Verbindung zwischen den Halte¬leisten 3 und dem Rotor 13 aufgebaut. Dabei sind die Halteleisten 3 ausschließlichdurch die zweiten Kupplungsvorrichtungen 11 formschlüssig an den jeweiligenSollpositionen am Rotationsumfang des Rotors 13 gehalten. Das bedeutet, dassbei Einnahme der Behandlungsposition der scheibenförmigen Objekte 2 die erstenKupplungsvorrichtungen 10 gelöst und die erste Stützvorrichtung 12 von den Hal¬teleisten 3 entfernt ist, währenddessen die zweiten Kupplungsvorrichtungen 11zwischen den Halteleisten 3 und der zweiten Stützvorrichtung 13 bzw. dem Rotor 13 zum Rotieren der scheibenförmigen Objekte 2, aktiviert sind.

Nach einem erfolgten Behandlungsvorgang, können die scheibenförmigen Objekte2 bzw. Halteleisten 3 sodann wieder mittels der ersten Stützvorrichtung 12 ausdem Rotor 13 entnommen, und zum Beispiel in eine Bereitstellungsposition über¬führt, bzw. in einer Bereitstellungsvorrichtung abgelegt werden. Dieser Vorgang istdurch Umkehr der sequentiellen Betrachtung der Fig. 7 bis 3, also durch An¬schauung der Fig. 7, 6, 5, 4, 3 in dieser Reihenfolge ersichtlich. Ein solcher Vor¬gang ist für einen auf diesem Gebiet tätigen Fachmann anhand der obenstehen¬den Beschreibung ohne weiteres ausführbar, weshalb an dieser Stelle auf eineeingehende Beschreibung verzichtet werden kann.

Grundsätzlich kann die erste Stützvorrichtung 12 für einen Transfervorgang derscheibenförmigen Objekte 2 zwischen verschiedenen Bereitstellungs- und Be¬handlungsposition, zur manuellen Handhabung durch eine Bedienperson, aberauch zur automatisierten Handhabung durch eine automatisierte Handhabungs¬vorrichtung, wie etwa einen Industrieroboter, ausgebildet sein. Ein Teil bzw. einEndaktuator eines solchen Industrieroboters ist in den Fig. 7 und 10 dargestellt,wohingegen in den Fig. 3 bis 6 und Fig. 8 bis 9 aus Übersichtlichkeitsgründen aufdie Darstellung des Industrieroboters 44 verzichtet wird. Insbesondere kann die erste Stützvorrichtung 12 eine Verbindungsschnittstelle zu einem Industrieroboter44 aufweisen, sodass die erste Stützvorrichtung 12 als Endeffektor des Industrie¬roboters 44 fungiert. Solche Industrieroboter 44 sind in der Regel programmierbarausgebildet, wobei die Auswahl und die Programmierung eines Industrieroboterszur Handhabung einer ersten Stützvorrichtung 12 von einem auf diesem Gebiettätigem Fachmann anhand des gegenwärtigen und zukünftigen Stands der Tech¬nik vorgenommen werden kann.

Alternativ und/oder zusätzlich kann die erste Stützvorrichtung 12 zum manuellenBedienen durch eine Bedienperson zum Bespiel Handgriffe (nicht dargestellt) zummanuellen Ergreifen der ersten Stützvorrichtung 12 aufweisen. Außerdem könnenweitere Handhaben (nicht dargestellt) für die manuelle Handhabung der erstenStützvorrichtung 12 vorgesehen sein, mittels welcher Handhaben diverse Zusatz¬einrichtungen bzw. Zusatzfunktionen der ersten Stützvorrichtung 12 bzw. der ers¬ten Kupplungsvorrichtungen 10 manuell bedient bzw. ausgeführt werden können.Derartige Zusatzeinrichtungen der ersten Stützvorrichtung 12 bzw. der erstenKupplungsvorrichtungen 10 werden nun im Folgenden näher erläutert.

Vorzugsweise ist zwischen der ersten Stützvorrichtung 12 und wenigstens einerHalteleiste 3 zumindest eine weitere, wahlweise aktivierbare und deaktivierbareKoppelungsvorrichtung 24 ausgebildet, mittels welcher wenigstens eine Halteleiste3 mit einem Koppelungsorgan 25 der ersten Stützvorrichtung 12 wahlweise ver¬bindbar, und von dem Koppelungsorgan 25 lösbar ist. Dadurch sind Relativbewe¬gungen zwischen den Halteleisten 3 und dem Koppelungsorgan 25 in parallelerRichtung zur Längsachse 5 der Halteleisten 3 wahlweise unterbindbar und frei-gebbar. Durch zumindest eine derartige, zusätzliche Koppelungsvorrichtung 24kann beispielsweise ein ungewolltes bzw. unbeabsichtigtes Lösen der erstenKupplungsvorrichtungen 10 im Zuge eines Transfervorgangs für die scheibenför¬migen Objekte 2, und damit ein Abgleiten der Halteleisten 3 von der ersten Stütz¬vorrichtung 12 verhindert werden. Insbesondere bei einer rein formschlüssigenAusbildung der ersten Kupplungsvorrichtungen 10 ist ein solches Abgleiten bei¬spielsweise dann nicht auszuschließen, wenn im Zuge des Transfervorgangs dasvon der ersten Stützvorrichtung 12 abgewandte Längsende der Halteleisten 3 in

Richtung des Erdbodens geneigt ist. Um ein ungewolltes Abgleiten der Halteleis¬ten 3 von der ersten Stützvorrichtung 12 zu verhindern, wäre eine zusätzlicheKoppelungsvorrichtung 24 grundsätzlich ausreichend, da die anderen Halteleistenvia die aktivierten ersten Kupplungsvorrichtungen 10 in ihrer Lage relativ zueinan¬der fixiert sind.

Zwecks Verbesserung der Stabilität sind bevorzugt drei Koppelungsvorrichtungen24 ausgebildet, wie dies auch in dem Ausführungsbeispiel gemäß den Figuren 3bis 10 dargestellt ist. Die Koppelungsvorrichtungen 24 sind durch zur gegenseiti¬gen, formschlüssigen Koppelung ausgestaltete Elemente an den Halteleisten 3und an dem Koppelungsorgan 25 gebildet. Das Koppelungsorgan 25 ist dabeibaulich der ersten Stützvorrichtung 12 zugeordnet. Wie es am besten aus der Fig.3 ersichtlich ist, kann das Koppelungsorgan 25 durch eine sternförmige Anord¬nung mit drei Armen 26 gebildet sein, welche Arme 26 sich im Wesentlichen vomMittelpunkt des Koppelungsorgans 25 ausgehend, in radialer Richtung zu den Hal¬teleisten 3 hin erstrecken. An den jeweiligen radial außenliegenden Enden der dreiArme 26 des Koppelungsorgans 25 können drei Sicherungselemente 27 angeord¬net sein, welche mit den Halteleisten 3 formschlüssig in Eingriff gebracht werdenkönnen. Hierzu können die Sicherungselemente 27 durch Sicherungsfortsätze 28an den Enden der Arme 26 des Koppelungsorgans 25 gebildet sein, und könnendiese Sicherungsfortsätze 28 zum formschlüssigen Wechselwirken mit Siche¬rungsmitteln 29 der drei Halteleisten 3 ausgeformt sein. Die Sicherungsmittel 29sind im dargestellten Ausführungsbeispiel durch Sicherungsnuten 30 gebildet,welche an einem der ersten Stützvorrichtung 12 zugewandten Längsende der Hal¬teleisten 3 angeordnet sind, und zur formschlüssigen Aufnahme der Sicherungs¬fortsätze 28 des Koppelungsorgans 25 ausgeformt sind.

Alternativ zu dem in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispiel sind selbstver¬ständlich auch andere Ausgestaltungsvarianten der zumindest einen zusätzlichenKoppelungsvorrichtung 24 denkbar. Beispielsweise können die Sicherungsfortsät¬ze 28 des Koppelungsorgans 25 auch zum formschlüssigen Wechselwirken miteinem an einem der ersten Stützvorrichtung 12 zugewandten Längsende der Hal¬teleisten 3 angeordnetem Tragmittel 6 ausgebildet sein. Grundsätzlich kann eine

Koppelungsvorrichtung 24 auch durch eine reibschlüssige Koppelung der Halte¬leisten 3 und des Koppelungsorgans 25 der ersten Stützvorrichtung 12 aktivierbarausgeführt sein, wobei auch form- und reibschlüssige Koppelungen in Kombinati¬on vorstellbar sind. Zum Beispiel können an der ersten Stützvorrichtung 12 paar¬weise Klemmelemente angeordnet sein, welche zum Hintergreifen einer Halteleis¬te 3 ausgebildet sein können. Auch andere Arten von gegenseitig zusammenwir¬kenden Schnapp- oder Rastelementen an den Halteleisten 3 und der ersten Stütz¬vorrichtung 12 sind grundsätzlich einsetzbar. Beispielsweise könnte eine Koppe¬lungsvorrichtung 24 auch derart ausgebildet sein, dass an einem Koppelungsor¬gan 25 aktivierbare und deaktivierbare Saugvorrichtungen angeordnet sind, mittelswelcher Saugvorrichtungen eine Halteleiste 3 an einem ihrer Längsenden mit derSaugvorrichtung koppelbar ist. Eine derartige Saugvorrichtung kann dabei mit ei¬ner ein- und ausschaltbaren Vakuumpumpe oder dergleichen verbunden sein, so-dass die Koppelungsvorrichtung 24 wiederum wahlweise aktiviert und deaktiviertwerden kann. Auch andere Arten von deaktivier- und aktivierbaren kraftschlüssi¬gen Koppelungen sind natürlich denkbar. Die genaue Art und Weise der Ausge¬staltungsform einer Koppelungsvorrichtung 24 kann von einem auf diesem Gebiettätigem Fachmann gemäß dem derzeitigen und künftigen Stand der Technik, jenach den spezifischen Anfordernissen vorgenommen werden.

Im in den Figuren 2 bis 10 gezeigten Ausführungsbespiel können die drei Koppe¬lungsvorrichtungen 24 durch Verschwenken der ersten Stützvorrichtung 12 umeine parallel zur Längsachse 5 der Halteleisten 3 und im Wesentlichen durch dasZentrum der ersten Stützvorrichtung 12 verlaufende Achse 31 wahlweise aktiviertbzw. deaktiviert werden. Dies ist am besten durch Zusammenschau der Fig. 5 und6 ersichtlich. Die durch Zusammenschau der Fig. 4 und Fig. 5 ersichtliche Relativ¬verstellung zwischen der ersten Stützvorrichtung 12 und den Halteleisten 3 in pa¬ralleler Richtung zur Längsachse 5 der Halteleisten 3 wird im Nachfolgenden nochdetailliert erläutert.

In den Fig. 3 bis 5 sind die Sicherungsfortsätze 28 des Koppelungsorgans 25 mitden Sicherungsnuten 30 der Halteleisten 3 in formschlüssiger Wechselwirkunggezeigt, wodurch eine Relativverstellung zwischen den Halteleisten 3 und dem

Koppelungsorgan 25 in Richtung der Längsachse 5 der Halteleisten 3 unterbun¬den ist. Wie in Fig. 6 dargestellt, können die Sicherungsfortsätze 28 und Siche¬rungsnuten 30 durch Verschwenken der ersten Stützvorrichtung 12 um die Achse 31 außer Eingriff gestellt werden, sodass die Koppelungsvorrichtungen 24 deakti¬viert sind. Das Verschwenken der ersten Stützvorrichtung 12 um die Achse 31kann dabei beispielsweise mittels eines Industrieroboters 44, oder durch eine Be¬dienperson erfolgen. Die Kupplungsvorrichtungen 10 sind in der Fig. 5 bereits de¬aktiviert dargestellt, weshalb nach Deaktivieren der Koppelungsvorrichtungen 24 -siehe Fig. 6 - die erste Stützvorrichtung 12 von den Halteleisten 3 im Rotor 13 ent¬fernbar ist, wie dies in der Fig. 7 gezeigt ist.

Alternativ zu dem dargestellten Ausführungsbeispiel kann das Koppelungsorgan25 auch um die Achse 31 verschwenkbar an der ersten Stützvorrichtung 12 gela¬gert sein (nicht dargestellt). Diese Ausführungsvariante kann für eine manuelleBedienung der ersten Stützvorrichtung 12 durch eine Bedienperson vorteilhaftsein. Dabei muss zum Deaktivieren der Koppelungsvorrichtungen 24 das Koppe¬lungsorgan 25 zumindest soweit verschwenkbar an der ersten Stützvorrichtung 12gelagert sein, dass wiederum die Sicherungsfortsätze 28 und die Sicherungsnuten30 außer Eingriff gestellt werden können. Das manuelle Verschwenken des Kop¬pelungsorgans 25 durch die Bedienperson kann beispielsweise mittels eines mitdem Koppelungsorgan 25 verbundenen Schwenkelement bzw. einer Schwenk¬stange erfolgen.

An der ersten Stützvorrichtung 12 ist bevorzugt wenigstens eine Stellvorrichtung 32 angeordnet, mittels welcher eine Relativverstellung zwischen der ersten Stütz¬vorrichtung 12 und den Halteleisten 3 in paralleler Richtung zur Längsachse 5 derHalteleisten 3 ermöglicht ist. An der in den Fig. 3 bis 10 dargestellten Ausfüh¬rungsvariante der Stützvorrichtung 12 sind zwei Stellvorrichtungen 32 angeordnet,welche insbesondere zwei parallel zur Längsachse 5 der Halteleisten 3 verlaufen¬de Führungsvorrichtungen 33 umfassen. Im dargestellten Ausführungsbeispielumfassen die beiden Stellvorrichtungen 32 außerdem je einen Stellantrieb, welcheStellantriebe als pneumatische Stellzylinder 34 ausgebildet sind. Zur Betätigungder pneumatischen Stellzylinder 34 könne diese zum Beispiel über verstärkte

Druck- und/oder Vakuumschläuche oder dergleichen, mit einer schaltbaren Druck¬luftquelle und/oder einer Ansaugvorrichtung leitungsverbunden sein. Alternativ zuden dargestellten pneumatischen Stellzylindern 34 wären selbstverständlich auchandere Antriebsorgane, wie etwa elektrische oder magnetische Antriebsorgane,Motoren und dergleichen, oder auch eine manuelle Betätigung der Stellvorrichtun¬gen 32 möglich.

Bevorzugt sind die Führungsvorrichtungen 33 der Stellvorrichtung 32 wie im ge¬zeigten Ausführungsbeispiel mit dem Koppelungsorgan 25, bzw. mit zwei der dreiArme 26 des Koppelungsorgans 25, verbunden. Damit ist das Koppelungsorgan25 mittels der Stellvorrichtung 32 in paralleler Richtung zur Längsachse 5 der Hal¬teleisten 3 relativ zu einem Tragkörper 35 ersten Stützvorrichtung 12 verstellbarausgeführt, wie dies am besten durch Zusammenschau der Fig. 4 und 5 ersichtlichist. In den Fig. 4 und 5 sind die Koppelungsvorrichtungen 24 zwischen den dreiHalteleisten 3 und dem Koppelungsorgan 25 aktiviert, sodass bei einem Verstell¬vorgang mittels der Stellvorrichtung 32 auch die drei Halteleisten 3 in parallelerRichtung zur Längsachse 5 der Halteleisten 3 relativ zu dem Tragkörper 35 erstenStützvorrichtung 12 verstellbar sind. Dabei ist das Koppelungsorgan 25 als Mit¬nehmer für die Halteleisten 3 wirksam.

Alternativ zu dem dargestellten Ausführungsbeispiel wären auch baulich separatvon dem Koppelungsorgan 25 angeordnete Führungsmittel zum Verstellen derHalteleisten 3 relativ zur ersten Stützvorrichtung 12 denkbar (nicht dargestellt).Hierzu wären weitere Koppelungsvorrichtungen zum Koppeln der Halteleisten 3mit solchen Führungsmitteln vorzusehen, sodass die Halteleisten 3 wiederum mit¬tels einer oder mehrerer Stellvorrichtungen 32 in paralleler Richtung zur Längs¬achse 5 der Halteleisten 3 relativ zu dem Tragkörper 35 der ersten Stützvorrich¬tung 12 verstellbar wären.

Unabhängig davon ist ein verfügbarer Verstellweg 36 der Stellvorrichtung 32 be¬vorzugt derart gewählt bzw. dimensioniert, dass die drei ersten Kupplungsvorrich¬tungen 10 mittels der Stellvorrichtung 32 wahlweise aktivierbar und deaktivierbarsind, wie dies am besten durch Zusammenschau der Fig. 4 und 5 ersichtlich ist.Sowohl in der Fig. 4 als auch der Fig. 5 sind die Koppelungsvorrichtungen 24 zwi- sehen den Halteleisten 3 und dem Koppelungsorgan 25 aktiviert. In der in der Fig.4 dargestellten Position ist das Koppelungsorgan 25 mittels der Stellvorrichtung 32im Wesentlichen an dem Tragkörper 35 der ersten Stützvorrichtung 12 positioniert.Dadurch sind die drei ersten Kupplungsvorrichtungen 10 formschlüssig aktiviert. Inder in Fig. 5 gezeigten Position ist das Koppelungsorgan 25 mittels der Stellvor¬richtung 32 - im Vergleich zur Position in Fig. 4 - relativ um den Verstellweg 36vom Tragkörper 35 der ersten Stützvorrichtung 12 distanziert positioniert. Dadurchsind die drei ersten Kupplungsvorrichtungen 10 deaktivierbar, bzw. die Kupp¬lungsabschnitte 14 der Halteleisten 3 und die Stifte 17 der ersten Stützvorrichtung12 außer Eingriff stellbar. Insbesondere sind auf diese Weise auch die Halteleisten3 bzw. die scheibenförmigen Objekte 2 mittels der Stellvorrichtungen 32 vollstän¬dig in die zweite Stützvorrichtung 13 bzw. den Rotor 13 einbringbar, wie dies ins¬besondere in der Fig. 5 ersichtlich ist.

In den Fig. 8 bis 10 ist eine weitere und gegebenenfalls für sich eigenständigeAusführungsform des Halterungssystems 9 gezeigt, wobei wiederum für gleicheTeile gleiche Bezugszeichen bzw. Bauteilbezeichnungen wie in den vorangegan¬genen Fig. 2 bis 7 verwendet werden. Um unnötige Wiederholungen zu vermei¬den, wird auf die detaillierte Beschreibung in den vorangegangenen Fig. 2 bis 7hingewiesen bzw. Bezug genommen. In den Fig. 8 bis 10 ist bei sequentieller Be¬trachtung ein Vorgang zur Entnahme einer stapelartigen Anordnung von scheiben¬förmigen Objekten 2 aus einer Bereitstellungsvorrichtung 37 mittels der erstenStützvorrichtung 12 ersichtlich. Die Bereitstellungsvorrichtung 37 weist im darge¬stellten Ausführungsbeispiel mehrere Haltestifte 38 auf, zwischen welchen diescheibenförmigen Objekte 2 bzw. Wafer 2 stapelartig bereitgestellt sind. Die Hal¬testifte 38 können zur stapelartigen Halterung der Wafer 2 im Wesentlichen analogzu den eingangs beschriebenen Halteleisten 3 ausgestaltet sein, weshalb an die¬ser Stelle auf eine nochmalige Beschreibung der Elemente der Haltestifte 38 zurHalterung der Wafer 2 verzichtet wird.

Wie es beispielsweise in Fig. 8 dargestellt ist, kann zumindest eine der Kupp¬lungsvorrichtungen 10, eine Linearführung 39 oderaberauch beispielsweise eineSchwenklagerung (nicht dargestellt) oder dergleichen zugeordnet sein. Der Zweck der Linearführung 39 kann es sein, dass zumindest eine Halteleiste 3 vom Auf¬nahmeraum 4 für die scheibenförmigen Objekte 2 wahlweise entfernbar und zumAufnahmeraum 4 annäherbar ist. In der Fig. 8 ist eine Halteleiste 3 bei aktivierterKupplungsvorrichtung 10, via die dieser Kupplungsvorrichtung 10 zugeordnetenLinearführung 39 vom Aufnahmeraum 4 für die scheibenförmigen Objekte 2 ent¬fernt dargestellt. Dadurch ist es ermöglicht, dass die Halteleisten 3 mittels der ers¬ten Stützvorrichtung 12 um die in der Bereitstellungsvorrichtung 37 angeordnetenObjekte 2 positionierbar sind, wie dies anhand Fig. 8 ersichtlich ist.

Alternativ zum dargestellten Ausführungsbeispiel mit der Variante einer Linearfüh¬rung 39, wären natürlich auch andere Verstellanordnungen zum wahlweisen Ent¬fernen einer Halteleiste 3 vom Aufnahmeraum 4, bzw. Annähern einer Halteleiste3 an den Aufnahmeraum 4 denkbar. Für eine manuelle Bedienung durch eine Be¬dienperson etwa, wäre eine Schwenklagerung (nicht dargestellt) gegebenenfallsbesser geeignet, bzw. leichter zu bedienen. Eine derartige Schwenklagerung kanndabei zum Beispiel durch ein an der ersten Stützvorrichtung 12 ausgebildetesSchwenkgelenk gebildet sein, sodass eine Halteleiste 3 vom Aufnahmeraum 4nach außen wegstellbar bzw. wegschwenkbar ist. Alternativ wäre auch ein Weg-und Hinklappen einer Halteleiste 3 vom bzw. zum Aufnahmeraum 4 denkbar, beiwelchem eine Halteleiste 3 beispielsweise um eine quer zur Längsachse 5 derHalteleisten 3 verlaufenden Drehachse kippbar an der ersten Stützvorrichtung 12gelagert ist (nicht dargestellt).

Zum automatisierten Entfernen einer Halteleiste 3 von dem Aufnahmeraum 4 bzw.automatisierten Annähern einer Halteleiste 3 an den Aufnahmeraum 4, kann die inden Fig. 8 bis 10 dargestellte Linearführung 39 ausgebildet sein. Wie aus den Fig.8 bis 10 ersichtlich ist, kann der Linearführung 39 ein Stellantrieb, insbesonderewiederum ein pneumatischer Stellzylinder 40 zur Relativverstellung einer Halte¬leiste 3 relativ zum Aufnahmeraum 4 zugeordnet sein. In der Fig. 8 ist einer derdrei Halteleisten 3 mittels der Linearführung 39 bzw. dem pneumatischen Stellzy¬linder 40, vom Aufnahmeraum 4 entfernt dargestellt. In dieser Stellung der einenHalteleiste 3 sind die die Halteleisten 3 mittels der ersten Stützvorrichtung 12 umdie in der Bereitstellungsvorrichtung 37 angeordneten Objekte 2 positionierbar.

Wie dies ebenfalls aus der Fig. 8 ersichtlich ist, kann es dabei zweckmäßig sein,zumindest der einen verstellbaren Halteleiste 3 ein zusätzliches Axialsicherungs¬mittel 41 zuzuordnen. Das in Fig. 8 dargestellte, zusätzliches Axialsicherungsmittel41 ist dabei wiederum verstellbar an der ersten Stützvorrichtung 12, und kannwahlweise mit der Sicherungsnut 30 der Halteleiste 3 formschlüssig verbundenwerden, wie zum in Beispiel Fig. 8 dargestellt, oder von der Sicherungsnut 30 ent¬fernt werden. Durch das zusätzliche Axialsicherungsmittel 41 ist auch bei einervom Aufnahmeraum 4 entfernten Halteleiste 3, wahlweise eine Unterbindung undFreigabe von Relativbewegungen zwischen dieser Halteleiste 3 und der erstenStützvorrichtung 12 in paralleler Richtung zur Längsachse 5 dieser Halteleiste 3ermöglicht. Das Verstellen des zusätzlichen Axialsicherungsmittels 41, kann zumBeispiel wiederum mit einem pneumatischen Stellzylinder 42 erfolgen. Zum Lösender Halteleisten 3 von der ersten Stützvorrichtung 12, beispielsweise zum Ab¬schließen eines Beschickungsvorgangs in einen Rotor 13 durch Entfernen der ers¬ten Stützvorrichtung 12 von den Halteleisten 3, kann das Axialsicherungsmittels41 mittels dem pneumatischen Stellzylinder 42 von der Sicherungsnut 30 entferntwerden.

Durch Annähern der einen verstellbaren Halteleiste 3 an den Aufnahmeraum 4,können die scheibenförmigen Objekte 2 zwischen den Halteleisten 3 aufgenom¬men werden, und sind die Objekte 2 zwischen den Halteleisten 3 stapelartig geh¬altert, wie dies in der Fig. 9 dargestellt ist. Bei aktivierten, ersten Kupplungsvor¬richtungen 10 und aktivierten Koppelungsvorrichtungen 24, sind die Halteleisten 3sowie die Objekte 2 mittels der ersten Stützvorrichtung 12 in ihrer jeweiligen Lagerelativ zueinander fixiert. Somit können die scheibenförmigen Objekte 2 mittels derersten Stützvorrichtung 12 aus der Bereitstellungsvorrichtung 37 entnommen wer¬den, wie dies in der Fig. 10 dargestellt ist. Anschließend kann mittels der erstenStützvorrichtung 12 ein Transfervorgang erfolgen, beispielsweise ein Beschi¬ckungsvorgang für einen Rotor, wie dies aus der sequentiellen Zusammenbetrach¬tung der Fig. 3 bis 7 ersichtlich ist.

Ein Vorgang zum Ablegen von scheibenförmigen Objekten 2 in der Bereitstel¬lungsvorrichtung 37, zum Beispiel nach einem erfolgten Behandlungsvorgang für die scheibenförmigen Objekte 2, ist wiederum durch sequentielle Betrachtung derFig. 10 bis 8, also Anschauung der Fig. 10, 9, 8 in dieser Reihenfolge klar ersicht¬lich. Nach Entnahme der scheibenförmigen Objekte 2 bzw. Halteleisten 3, bei¬spielsweise aus dem in den Fig. 7 bis 3 dargestellten Rotor 13, können die Objek¬te 2 bzw. Wafer 2 durch Positionieren der Wafer 2 in der Bereitstellungsvorrich¬tung 37, anschließendem Entfernen der einen verstellbaren Halteleiste 3 mittelsder Linearführung 39 bzw. dem Stellzylinder 40, und abschließendem Entfernender ersten Stützvorrichtung 12 bzw. der Halteleisten 3 von der Bereitstellungsvor¬richtung 37 mittels des Industrieroboters 44, in der Bereitstellungsvorrichtung 37abgelegt bzw. zwischengelagert werden.

Abschließend wird noch festgehalten, dass insbesondere für automatisierte Trans¬fervorgänge mittels eines Industrieroboters 44, der ersten Stützvorrichtung 12Sensoren 45 zugeordnet sein können. Solche Sensoren 45 dabei zum Beispiel zurErfassung ausgebildet sein, ob die Halteleisten 3 mit der ersten Stützvorrichtung12 verbunden sind, also die ersten Kupplungsvorrichtungen 10 aktiviert sind. Au¬ßerdem können weitere Sensoren 45 an der ersten Stützvorrichtung 12 angeord¬net sein, welche den Zustand der Koppelungsvorrichtungen 24 überwachen, alsozur Erfassung, ob die Koppelungsvorrichtungen aktiviert oder deaktiviert sind,ausgebildet sind. Die Sensoren 45 können dabei zum Beispiel durch kapazitiveSensoren 45 in der Art von kapazitiven Annäherungssensoren gebildet sein,wodurch ein Annähern bzw. Entfernen einer Halteleiste 3 an den Sensor 45 detek-tierbar ist. Die Art, Anzahl und Anordnung von Sensoren 45 ergibt sich jeweils ausder entsprechenden Ausgestaltungsform der ersten Stützvorrichtung 12, und kannvon einem Fachmann auf diesem Gebiet anhand der jeweiligen Erfordernisseausgewählt bzw. vorgenommen werden.

Schließlich sind in den Figuren einige Anschlüsse 46 zum Betätigen bzw. Aktivie¬ren der Stellzylinder 34, 40,42 exemplarisch mit dem Bezugszeichen 46 bezeich¬net. Diese Anschlüsse 46 können beispielweise mit einer Quelle für Druckluft, wiezum Beispiel einem Kompressor, oder einer Vakuumquelle, beispielsweise einerVakuumpumpe, über Druck- oder Unterdruckschläuche oder dergleichen verbun¬den sein.

Die Ausführungsbeispiele zeigen mögliche Ausführungsvarianten des Halterung¬systems bzw. des Verfahrens zum Beschicken einer Behandlungsvorrichtung, wo¬bei an dieser Stelle bemerkt sei, dass die Erfindung nicht auf die speziell darge¬stellten Ausführungsvarianten derselben eingeschränkt ist, sondern vielmehr auchdiverse Kombinationen der einzelnen Ausführungsvarianten untereinander mög¬lich sind und diese Variationsmöglichkeit aufgrund der Lehre zum technischenHandeln durch gegenständliche Erfindung im Können des auf diesem technischenGebiet tätigen Fachmannes liegt.

Weiters können auch Einzelmerkmale oder Merkmalskombinationen aus den ge¬zeigten und beschriebenen unterschiedlichen Ausführungsbeispielen für sich ei¬genständige, erfinderische oder erfindungsgemäße Lösungen darstellen.

Die den eigenständigen erfinderischen Lösungen zugrundeliegende Aufgabe kannder Beschreibung entnommen werden. Sämtliche Angaben zu Wertebereichen in gegenständlicher Beschreibung sind sozu verstehen, dass diese beliebige und alle Teilbereiche daraus mitumfassen, z.B.ist die Angabe 1 bis 10 so zu verstehen, dass sämtliche Teilbereiche, ausgehendvon der unteren Grenze 1 und der oberen Grenze 10 mit umfasst sind, d.h. sämtli¬che Teilbereiche beginnen mit einer unteren Grenze von 1 oder größer und endenbei einer oberen Grenze von 10 oder weniger, z.B. 1 bis 1,7, oder 3,2 bis 8,1, oder 5,5 bis 10.

Vor allem können die einzelnen in den Fig. 2 bis 10 gezeigten Ausführungen denGegenstand von eigenständigen, erfindungsgemäßen Lösungen bilden. Die dies¬bezüglichen, erfindungsgemäßen Aufgaben und Lösungen sind den Detailbe¬schreibungen dieser Figuren zu entnehmen.

Der Ordnung halber sei abschließend darauf hingewiesen, dass zum besserenVerständnis des Aufbaus des Halterungssystems dieses bzw. dessen Bestandteileteilweise unmaßstäblich und/oder vergrößert und/oder verkleinert dargestellt wur¬den.

Bezugszeichenliste 1 Halterungsvorrichtung 31 Achse 2 Objekt 32 Stellvorrichtung 3 Halteleiste 33 Führungsvorrichtung 4 Aufnahmeraum 34 Stellzylinder 5 Längsachse 35 Tragkörper 6 Trag mittel 36 Verstell weg 7 Stützring 37 Bereitstellungsvorrichtung 8 Schwenkgelenk 38 Haltestift 9 Halterungssystem 39 Linearführung 10 Kupplungsvorrichtung 40 Stellzylinder 11 Kupplungsvorrichtung 41 Axialsicherungsmittel 12 Stützvorrichtung 42 Stellzylinder 13 Rotor 43 Schutzplatte 14 Kupplungsabschnitt 44 Industrieroboter 15 Nut 45 Sensor 16 Kupplungsorgan 46 Anschluss 17 Stift 47 Behandlungskammer 18 Haltestrebe 48 Beschickungsöffnung 19 Kopfelement 20 Ringelement 21 Rotationsachse 22 Verbindungsstück 23 Stützstreben 24 Koppelungsvorrichtungl 25 Koppelungsorgan 26 Arm 27 Sicherungselement 28 Sicherungsfortsatz 29 Sicherungsmittel 30 Sicherungsnut

Claims (33)

1. Patentansprüche 1. Halterungssystem (9) zur Halterung von scheibenförmigen Objekten (2), insbesondere von Halbleiter-Wafern, in einer Bereitstellungs- oder Behand¬lungsposition zur Behandlung der Oberflächen der scheibenförmigen Objekte (2),sowie zur Halterung der scheibenförmigen Objekte (2) im Zuge eines Transfervor¬ganges zwischen verschiedenen Bereitstellungs- oder Behandlungspositionen,umfassend: wenigstens zwei Halteleisten (3), wobei jede Halteleiste (3) entlang ihrerLängsachse (5) Tragmittel (6) zur stapelartigen Halterung der scheibenförmigenObjekte (2) in zueinander paralleler und voneinander beabstandeter Anordnungumfasst, wobei die Tragmittel (6) mit Randabschnitten der scheibenförmigen Ob¬jekte in Wechselwirkung stehen, und zwischen den Halteleisten (3) ein Aufnahme¬raum (4) für die scheibenförmigen Objekte (2) ausgebildet ist; und zumindest eine Stützvorrichtung zum Fixieren der Halteleisten in ihrerLage relativ zueinander, dadurch gekennzeichnet, dass die Halteleisten (3) baulich eigenständig ausgebildet sind, und dass wenigstens zwei werkzeuglos aktivier- und deaktivierbare erste Kupp¬lungsvorrichtungen (10) ausgebildet sind, durch welche die Halteleisten (3) ge¬genüber einer ersten Stützvorrichtung (12) wahlweise unmittelbar lösbar und un¬mittelbar verbindbar sind.
2. 2. Halterungssystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dasswenigstens zwei werkzeuglos aktivier- und deaktivierbare zweite Kupplungsvor¬richtungen (11) ausgebildet sind, durch welche die Halteleisten (3) gegenüber ei¬ner zweiten Stützvorrichtung (13), welche insbesondere als Rotor (13) zum Rotie¬ren der scheibenförmigen Objekte ausgestaltet ist, wahlweise unmittelbar lösbarund unmittelbar verbindbar sind.
3. 3. Halterungssystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,dass bei Einnahme der Behandlungsposition der scheibenförmigen Objekte (2) diewenigstens zwei ersten Kupplungsvorrichtungen (10) gelöst und die erste Stütz¬vorrichtung (12) von den Halteleisten (3) entfernt ist, währenddessen die wenigs¬tens zwei zweiten Kupplungsvorrichtungen (11) zwischen den Halteleisten (3) undder zweiten Stützvorrichtung (13), insbesondere dem Rotor (13) zum Rotieren derscheibenförmigen Objekte (2), aktiviert sind.
4. 4. Halterungssystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche,dadurch gekennzeichnet, dass die wenigstens zwei ersten Kupplungsvorrichtun¬gen derart ausgebildet sind, dass die Halteleisten (3) im Zuge eines Transfervor¬ganges der scheibenförmigen Objekte (2) mittels einer einzigen ersten Stützvor¬richtung (12) räumlich derart fixiert sind, dass sie in Art von einseitig gelagertenTrägern von der ersten Stützvorrichtung (12) vorkragen.
5. 5. Halterungssystem nach einem oder mehreren der Ansprüche 2 bis 4,dadurch gekennzeichnet, dass die wenigsten zwei zweiten Kupplungsvorrichtun¬gen (11) derart ausgebildet sind, dass eine Verdrehung der Halteleisten (3) umderen Längsachsen (5) unterbunden ist.
6. 6. Halterungssystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche,dadurch gekennzeichnet, dass die Halteleisten (3) an ihren gegenüberliegendenLängsenden oder über ihre gesamte Längserstreckung zumindest einen Kupp¬lungsabschnitt (14) aufweisen, welcher zur formschlüssigen Kopplung mit zumin¬dest einem Kupplungsorgan (16) der ersten oder zweiten Stützvorrichtung (12,13)ausgebildet ist.
7. 7. Halterungssystem nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass diedie Kupplungsabschnitte (14) der Halteleisten (3) durch wenigstens eine Vertie¬fung, insbesondere durch wenigstens eine Nut (15) oder Bohrung, gebildet sind,welche Nut (15) oder Bohrung zum formschlüssigen Verbindung mit wenigstens einem Fortsatz, insbesondere wenigstens einem Stift (17), der ersten oder derzweiten Stützvorrichtung (12,13) ausgebildet sind.
8. 8. Halterungssystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche,dadurch gekennzeichnet, dass es drei Halteleisten (3) umfasst.
9. 9. Halterungssystem nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass diedrei Halteleisten (3) um den Aufnahmeraum (4) für die scheibenförmigen Objekte (2) derart positioniert sind, dass ein zwischen benachbarten Halteleisten (3) ein¬genommener Winkel jeweils etwa 120° beträgt.
10. 10. Halterungssystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche,dadurch gekennzeichnet, dass die wenigstens zwei ersten und die wenigstenszwei zweiten Kupplungsvorrichtungen (10,11) derart ausgestaltet sind, dass eineKopplungsbewegung zum Verbinden der Halteleisten (3) mit der ersten und derzweiten Stützvorrichtung (12,13), und eine Lösebewegung zum Lösen der Halte¬leisten (3) von der ersten und der zweiten Stützvorrichtung (12,13), parallel zurLängsachse (5) der Halteleisten (3) durchführbar sind.
11. 11. Halterungssystem nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass derRotor (13) in einer Behandlungskammer (47) angeordnet ist, welche Behand¬lungskammer (47) Mittel zum Zuführen einer Behandlungsflüssigkeit und/oder ei¬nem Behandlungsgas zur Behandlung, insbesondere zur chemischen Reinigung,der scheibenförmigen Objekte (2) umfasst.
12. 12. Halterungssystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche,dadurch gekennzeichnet, dass mittels der wenigstens zwei ersten Kupplungsvor¬richtungen (10) bei Einnahme ihres aktivierten Betriebszustandes, Relativbewe¬gungen zwischen den Halteleisten (3) und der ersten Stützvorrichtung (12) querzur Längsachse (5) der Halteleisten (3) unterbunden sind.
13. 13. Halterungssystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche,dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der ersten Stützvorrichtung (12) und we¬nigstens einer Halteleiste (3) zumindest eine, wahlweise aktivierbare und deakti¬vierbare Koppelungsvorrichtung (24) zum wahlweisen Verbinden und Lösen derwenigstens einen Halteleiste (3) mit einem Koppelungsorgan (25) der erstenStützvorrichtung (12), und zum wahlweisen Unterbinden und Freigeben von Rela¬tivbewegungen zwischen den Halteleisten (3) und dem Koppelungsorgan (25) inparalleler Richtung zur Längsachse (5) der Halteleisten (3) ausgebildet ist.
14. 14. Halterungssystem nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dassdas Koppelungsorgan (25) zumindest ein Sicherungselement (27) umfasst, wel¬ches Sicherungselement (27) zum form- oder reibschlüssigen Zusammenwirkenmit einer Halteleiste (3) ausgebildet ist.
15. 15. Halterungssystem nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass anzumindest einem Längsende wenigstens einer Halteleiste (3) ein Sicherungsmittel (29), insbesondere eine Sicherungsnut (30) vorgesehen ist, welches wenigstenseine Sicherungsmittel (29) zum formschlüssigen Zusammenwirken mit einem Si¬cherungselement (27), insbesondere einem Sicherungsfortsatz (28) der erstenStützvorrichtung (12), ausgebildet ist.
16. 16. Halterungssystem nach einem oder mehreren der Ansprüche 13 bis 15,dadurch gekennzeichnet, dass die wenigstens eine Koppelungsvorrichtung (24)durch Verschwenkung der ersten Stützvorrichtung (12) mittels eines Industrierobo¬ters (44) oder einer Bedienperson um eine parallel zur Längsachse (5) der Halte¬leisten (3) und im Wesentlichen durch das Zentrum der ersten Stützvorrichtung (12) verlaufende Achse (31) wahlweise aktivierbar und deaktivierbar ist.
17. 17. Halterungssystem nach einem oder mehreren der Ansprüche 13 bis 15,dadurch gekennzeichnet, dass das Koppelungsorgan (25) an der ersten Stützvor¬richtung (12) um eine parallel zur Längsachse (5) der Halteleisten (3) und im We¬sentlichen durch das Zentrum der ersten Stützvorrichtung (12) verlaufende Achse (31) zumindest soweit verschwenkbar gelagert ist, dass die wenigstens eine Kop¬pelungsvorrichtung (24) wahlweise aktivierbar und deaktivierbar ist.
18. 18. Halterungssystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche,dadurch gekennzeichnet, dass an der ersten Stützvorrichtung (12) wenigstenseine Stellvorrichtung (32) angeordnet ist, mittels welcher eine Relativverstellungzwischen der ersten Stützvorrichtung (12) und den Halteleisten (3) in parallelerRichtung zur Längsachse (5) der Halteleisten (3) ermöglicht ist.
19. 19. Halterungssystem nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, dassdie wenigstens eine Stellvorrichtung (32) wenigstens eine parallel zur Längsachse (5) der Halteleisten (3) verlaufende Führungsvorrichtung (33) umfasst.
20. 20. Halterungssystem nach Anspruch 18 oder 19, dadurch gekennzeichnet,dass die wenigstens eine Stellvorrichtung (32) einen Stellantrieb, insbesondereeinen pneumatischen Stellzylinder (34), umfasst.
21. 21. Halterungssystem nach einem oder mehreren der Ansprüche 13 bis 20,dadurch gekennzeichnet, dass das Koppelungsorgan (25) mittels der Stellvorrich¬tung (32) in paralleler Richtung zur Längsachse (5) der Halteleisten (3) relativ zueinem Tragkörper (35) der ersten Stützvorrichtung (12) verstellbar gelagert ist.
22. 22. Halterungssystem nach einem oder mehreren der Ansprüche 13 bis 21,dadurch gekennzeichnet, dass während eines Verstellvorgangs der wenigstenseinen Stellvorrichtung (32) die wenigstens eine weitere Koppelungsvorrichtung (24) aktiviert, und dabei das Koppelungsorgan (25) der ersten Stützvorrichtung (12) als Mitnehmer für die Halteleisten (3) wirksam ist.
23. 23. Halterungssystem nach einem oder mehreren der Ansprüche 13 bis 22,dadurch gekennzeichnet, dass ein verfügbarer Verstellweg (36) der Stellvorrich¬tung (32) derart dimensioniert ist, dass die wenigstens zwei ersten Kupplungsvor- richtungen (10) mittels der Stellvorrichtung (32) wahlweise aktivierbar und deakti¬vierbar sind.
24. 24. Halterungssystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche,dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens einer der Halteleisten (3) eine Linear¬führung (39) oder eine Schwenklagerung zugeordnet ist, mittels welcher die Halte¬leiste (3) vom Aufnahmeraum (4) für die scheibenförmigen Objekte (2) wahlweiseentfernbar und zum Aufnahmeraum (4) annäherbar ist.
25. 25. Halterungssystem nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, dassder Linearführung (39) oder Schwenklagerung ein Stellantrieb, insbesondere einpneumatischer Stellzylinder (40), zur Relativverstellung der wenigstens einen Hal¬teleiste (3) zugeordnet ist.
26. 26. Halterungssystem nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, dasszumindest jener Halteleisten (3), welche mittels einer Linearführung (39) oderSchwenklagerung verstellbar gelagert sind, ein zusätzliches Axialsicherungsmittel(41) zugeordnet ist, welches zusätzliche Axialsicherungsmittel (41) zur wahlweisenUnterbindung und Freigabe von Relativbewegungen zwischen dieser Halteleiste (3) und der ersten Stützvorrichtung (12) in paralleler Richtung zur Längsachse (5)dieser Halteleiste (3) ausgebildet ist.
27. 27. Halterungssystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche,dadurch gekennzeichnet, dass die erste Stützvorrichtung (12) eine Verbindungs¬schnittstelle zu einem Industrieroboter (44) aufweist, sodass die erste Stützvorrich¬tung (12) als Endeffektor des Industrieroboters (44) fungiert.
28. 28. Halterungssystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche,dadurch gekennzeichnet, dass die erste Stützvorrichtung (12) wenigstens einen,insbesondere zumindest zwei Handgriffe zum manuellen Ergreifen der erstenStützvorrichtung (12) durch eine Bedienperson aufweist.
29. 29. Halterungssystem nach einem der vorhergehenden Ansprüche,dadurch gekennzeichnet, dass die erste Stützvorrichtung (12) wenigstens eineHandhabe zum manuellen Einleiten von Stellbewegungen der verstellbaren Ele¬mente (24, 32, 39, 41) an der ersten Stützvorrichtung (12) aufweist.
30. 30. Behandlungsvorrichtung für scheibenförmige Objekte (2), insbesondereHalbleiter-Wafer (2), umfassend einen in einer Behandlungskammer (47) ange¬ordneten Rotor (13), eine Mehrzahl von Auslässen zur Einleitung von gasförmigenoder flüssigen Chemikalien in die Behandlungskammer, und eine an einem axia¬len Ende der Rotationsachse (21) des Rotors (13) angeordnete Beschickungsöff¬nung (48) zur Einbringung einer Mehrzahl von zu behandelnden, scheibenförmi¬gen Objekten (2), dadurch gekennzeichnet, dass der Rotor (13) zum lösbarenAufnehmen von und Verbinden mit Halteleisten (3) eines Halterungssystems (9)nach einem oder mehreren der vorhergehenden Ansprüche vorgesehen ist.
31. 31. Verfahren zum Beschicken einer Behandlungsvorrichtung mit einer sta¬pelartigen Anordnung scheibenförmiger Objekte (2), wobei die scheibenförmigenObjekte (2) zwischen wenigstens zwei Halteleisten (3) angeordnet werden, welcheHalteleisten (3) mittels Tragmitteln (6) an den Randabschnitten der scheibenförmi¬gen Objekte (2) formschlüssig eingreifen, dadurch gekennzeichnet, dass die Hal¬teleisten (3) mittels wenigstens zwei werkzeuglos aktivier- und deaktivierbarenersten Kupplungsvorrichtungen (10) unmittelbar mit einer ersten Stützvorrichtung (12) verbunden werden, anschließend die Halteleisten (3) mittels wenigstens zweiwerkzeuglos aktivier- und deaktivierbaren zweiten Kupplungsvorrichtungen (11)unmittelbar mit einer in der Behandlungsvorrichtung angeordneten zweiten Stütz¬vorrichtung (13), insbesondere einem Rotor (13) verbunden werden, und dassnachfolgend die mechanische Verbindung zwischen der ersten Stützvorrichtung (12) und den Halteleisten (3) mittels den wenigsten zwei ersten Kupplungsvorrich¬tungen (10) unmittelbar gelöst wird.
32. 32. Verfahren nach Anspruch 31, dadurch gekennzeichnet, dass die schei¬benförmigen Objekte (2) zwischen drei gleichmäßig über den Rotationsumfang des Rotors (13) verteilt angeordnete Halteleisten (3) gehalten werden, und mittelsdrei zweiten Kupplungsvorrichtungen (11) eine formschlüssige Verbindung zwi¬schen den Halteleisten (3) und dem Rotor (13) aufgebaut wird.
33. 33. Verfahren nach Anspruch 31 oder 32, dadurch gekennzeichnet, dassdie Halteleisten (3) ausschließlich durch die wenigstens zwei zweiten Kupplungs¬vorrichtungen (11) formschlüssig an den jeweiligen Sollpositionen am Rotations¬umfang des Rotors (13) gehalten werden.