AT523882A3 - Verfahren und Vorrichtung zum Betreiben einer Flüssigmetall-Ionenquelle oder Flüssigmetall-Elektronenquelle sowie Flüssigmetall-Ionenquelle oder Flüssigmetall-Elektronenquelle - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum Betreiben einer Flüssigmetall-Ionenquelle oder Flüssigmetall-Elektronenquelle sowie Flüssigmetall-Ionenquelle oder Flüssigmetall-Elektronenquelle Download PDF

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Flüssigmetall-Ionenstrahlsystem (1) oder Flüssigmetall- Elektronenstrahlsystem, umfassend: - eine leitfähige Emitter-Elektrode (2), - eine der Emitter-Elektrode (2) gegenüberliegende leitfähige Extraktor- Elektrode (3), - ein Flüssigmetall-Reservoir (4), das fluidisch mit der Emitter-Elektrode (2) verbunden ist, um Flüssigmetall zur Emitter-Elektrode (2) zu transportieren, - eine Steuereinheit (5), die ausgebildet ist, um zwischen Emitter-Elektrode (2) und Extraktor-Elektrode (3) eine periodisch variierende Betriebsspannung anzulegen.
ATA50442/2021A 2020-06-05 2021-06-01 Verfahren und Vorrichtung zum Betreiben einer Flüssigmetall-Ionenquelle oder Flüssigmetall-Elektronenquelle sowie Flüssigmetall-Ionenquelle oder Flüssigmetall-Elektronenquelle AT523882B1 (de)

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