AT523976A3 - Anordnung für ein optoelektronisches Bauelement, Verfahren zum Herstellen und optoelektronisches Bauelement - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft eine Anordnung für ein optoelektronisches Bauelement, mit: einem Substrat (7); einem optischen Halbleiterchip (1), welcher auf dem Substrat (7) angeordnet 5 und mit einem ersten substratseitigen elektrischen Anschluss (8) verbunden ist; einem optisch aktiven Bereich (5) des optischen Halbleiterchips (1), welcher eingerichtet ist, im Be- trieb Licht zu empfangen und in elektrische Ladungen zu wandeln; einem ersten optisch nicht-aktiven Bereich des optischen Halbleiterchips (1), in welchem ein chipseitiger elektri- scher Anschluss (9) und eine Verbindungsstruktur gebildet sind, die den chipseitigen elektri- 10 schen Anschluss (9) mit dem optisch aktiven Bereich (5) elektrisch leitend verbindet; einem zweiten optisch nicht-aktiven Bereich des optischen Halbleiterchips (1), der getrennt von dem ersten optisch nicht-aktiven Bereich gebildet und mit einer Schutzschicht bedeckt ist; einer elektrischen Verbindung (11), welche den chipseitigen elektrischen Anschluss (9) mit einem zweiten substratseitigen elektrischen Anschluss (10) verbindet; und einer Beschich- 15 tung (4), bei der in einem Schichtstapel in dem optisch aktiven Bereich (5) sowie in dem ers- ten und dem zweiten optisch nicht-aktiven Bereich jeweils Folgendes vorgesehen ist: eine erste Schicht (3) aus zumindest einem der Materialien SiO2 und Si3N4 und eine zweite Schicht (12) aus einem anorganischen Material, die in dem Schichtstapel oberhalb der ers- ten Schicht (3) angeordnet ist. Der chipseitige elektrische Anschlusses (9) und die Verbin- 20 dungsstruktur in dem ersten optisch nicht-aktiven Bereich sowie die Schutzschicht in dem zweiten optisch nicht-aktiven Bereich sind jeweils zwischen der ersten und der zweiten Schicht (3, 12) der Beschichtung angeordnet. Weiterhin sind ein optoelektronisches Bauele- ment und ein Verfahren zum Herstellen einer Anordnung für ein optoelektronisches Bauele- ment vorgesehen.
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