AT524356A3 - Aktiv gekühlte Elektronenkanone zur Materialverdampfung im Vakuum - Google Patents

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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Emitteranordnung (11) für eine Elektronenkanone (10), umfassend einen aktiv gekühlten Kathodenblock (20) und eine Beschleunigeranode (15), bevorzugt ringförmig, wobei der Kathodenblock (20) einen Kühlkörper (21), eine Emitterbaugruppe (23 – 28) und einen Isolator (22) umfasst, der wärmeleitend zwischen dem Kühlkörper (21) und der Emitterbaugruppe (23 – 28) angeordnet ist, wobei der Isolator (22) eine Wärmeleitfähigkeit λ größer oder gleich 20 W / (m ∙ K), bevorzugt größer oder gleich 50 W / (m ∙ K) und mehr bevorzugt größer oder gleich 90 W / (m ∙ K) aufweist. Die vorliegende Erfindung betrifft ferner eine aktiv gekühlte Strahlführungseinrichtung (12) für eine Elektronenkanone (10), aufweisend ein Strahlrohr, das zumindest einen Kühlkanal (16) aufweist, der von einem Kühlmedium, bevorzugt Wasser, durchströmt werden kann und zumindest eine elektronenoptische Komponente (18) zur Strahlführung, bevorzugt zumindest eine Magnetspule. Ferner betrifft die vorliegende Erfindung eine axiale Elektronenkanone (10), die eine Emitteranordnung (11) und eine aktiv gekühlte Strahlführungseinrichtung (12) gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst.
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