AT638U1 - CARRIER ACCORDING TO THE BERNOULLI PRINCIPLE FOR DISC-SHAPED OBJECTS, IN PARTICULAR SILICO DISC - Google Patents
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Description
AT 000 638 UlAT 000 638 Ul
Die Erfindung betrifft einen Träger nach dem Bernoulli-Prinzip für scheibenförmige Gegenstände, insbesondere für Siliziumscheiben während des Ätzens derselben, welcher Träger an einem Ende einer Welle vorgesehen ist, mit wenigstens einer im Umfangsbereich des Trägers angeordneten, vorzugsweise ringförmigen, Düse in der dem Gegenstand zugekehrten, vorzugsweise kreisrunden, Fläche des Trägers, der zum Ausbilden eines Gaspolsters zwischen dem Träger und dem scheibenförmigen Gegenstand Gas zugeführt wird, und mit an der dem Gegenstand zugekehrten Fläche des Trägers außerhalb der Düse angeordneten Anschlägen zum seitlichen Abstützen des scheibenförmigen Gegenstandes, die von Nocken gebildet sind, die auf im Träger drehbar gelagerten Wellen zu deren Drehachsen exzentrisch angeordnet sind, wobei die Wellen Ritzel tragen, die mit einem im Träger um dessen Mittelachse verdrehbar gelagerten Zahnkranz kämmen, wobei der Zahnkranz mit der Welle gekuppelt ist, wobei durch die hohl ausgebildete Welle Gas zur Düse strömt, wobei zum Drehen des Trägers an der Welle im Abstand über ihrem dem Träger gegenüberliegenden Ende ein Drehantrieb, vorzugsweise ein Zahnrad-Zahnriemengetriebe angreift und wobei dem Träger eine Bremse zugeordnet ist.The invention relates to a carrier according to the Bernoulli principle for disk-shaped objects, in particular for silicon wafers during the etching thereof, which carrier is provided at one end of a shaft, with at least one, preferably ring-shaped nozzle arranged in the peripheral region of the carrier in the nozzle facing the object , preferably circular, surface of the carrier, which is supplied with gas to form a gas cushion between the carrier and the disc-shaped object, and with stops arranged on the object-facing surface of the carrier outside the nozzle for lateral support of the disc-shaped object, which are formed by cams are, which are arranged eccentrically to the axes of rotation of the rotatably mounted shafts in the carrier, the shafts carrying pinions which mesh with a sprocket rotatably mounted in the carrier about its central axis, the sprocket being coupled to the shaft, with d he hollow shaft of gas flows to the nozzle, a rotary drive, preferably a toothed-toothed belt drive, for rotating the carrier on the shaft at a distance above its end opposite the carrier, and wherein the carrier is assigned a brake.
Ein derartiger Träger ist aus der EP-A-316 296 bekannt. Bei diesem bekannten Träger ist der Antrieb für das Verdrehen der Nocken wenigstens teilweise in dem Raum im Inneren des Trägers auf genommen, der auch von dem die ringförmige Düse beaufschlagenden Druckgas durchströmt wird. Dies hat sich u.a. deswegen als nachteilig erwiesen, weil Abrieb, der entsteht, wenn die Nocken verdreht werden, durch die Düse nach außen geblasen wird und sich am scheibenförmigen Gegenstand, der am Träger gehalten ist, niederschlägt. Ein weiterer Nachteil besteht darin, daß das Strömen von Gas durch den Träger vom Drehantrieb für die Nocken beeinträchtigt wird.Such a carrier is known from EP-A-316 296. In this known carrier, the drive for rotating the cams is at least partially received in the space inside the carrier, which is also flowed through by the pressurized gas acting on the annular nozzle. This has among other things proved to be disadvantageous because abrasion, which arises when the cams are rotated, is blown out through the nozzle and is deposited on the disc-shaped object, which is held on the carrier. Another disadvantage is that the flow of gas through the carrier is adversely affected by the rotary drive for the cams.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Träger der eingangs genannten Gattung anzugeben, der die genannten Nachteile nicht aufweist und dennoch verstellbare Anschläge für den zu behandelnden Gegenstand aufweist.The invention has for its object to provide a carrier of the type mentioned, which does not have the disadvantages mentioned and still has adjustable stops for the object to be treated.
Erfindungsgemäß wird dies bei einem Träger der oben genannten Gattung dadurch erreicht, daß der Raum der vom im Träger angeordneten Ende der Welle zur Düse führt, ein vom Raum im Träger, in dem der Zahnkranz zum Betätigen der Nocken auf genommen ist, getrennter Raum ist. 2 AT 000 638 UlAccording to the invention, this is achieved in a carrier of the type mentioned above in that the space leading from the end of the shaft arranged in the carrier to the nozzle is a separate space from the space in the carrier in which the ring gear for actuating the cams is received. 2 AT 000 638 ul
Durch die erfindungsgemäß vorgeschlagene Trennung des Gas-Strömweges von dem mechanischen Antrieb für das Verstellen der Nocken zum seitlichen Halten und Zentrieren des scheibenförmigen Gegenstandes am Träger ergeben sich die oben erwähnten Nachteile nicht und es können beide Räume für den Zweck, dem sie jeweils dienen (Aufnahme des Antriebes für das Verstellen der Nocken einerseits und Gasströmung anderseits) optimal ausgelegt und dimensioniert werden.The separation of the gas flow path proposed by the invention from the mechanical drive for adjusting the cams for laterally holding and centering the disk-shaped object on the carrier does not result in the disadvantages mentioned above, and both spaces can be used for the purpose for which they are used (recording of the drive for adjusting the cams on the one hand and gas flow on the other) are optimally designed and dimensioned.
Eine Ausführungsform der Erfindung betrifft eine Vorrichtung, bei welcher der Träger aus einem Grundkörper, der auf der Welle sitzt, aus einem ringförmigen Körper, in dem die Wellen der Nocken verdrehbar gelagert sind, und aus einem mittleren Körper gebildet ist, der zusammen mit dem ringförmigen Körper an seinem Außenrand die ringförmige Düse definiert, besteht. Eine derartige Vorrichtung ist aus der US-A 4 903 717 bekannt. Bei dieser Ausführungsform der Erfindung ist gemäß einem Vorschlag der Erfindung vorgesehen, daß am ringförmigen Körper auf seiner zum mittleren Körper hinweisenden Seit© eine Stufe vorgesehen ist, an der eine Schulter des mittleren Körpers anliegt, und daß der mittlere Körper mit dem Grundkörper verbunden ist und den ringförmigen Körper gegen den Grundkörper hält.An embodiment of the invention relates to a device in which the carrier is formed from a base body which sits on the shaft, from an annular body in which the shafts of the cams are rotatably mounted, and from a central body which together with the annular Body on its outer edge which defines the annular nozzle. Such a device is known from US-A 4 903 717. In this embodiment of the invention, it is provided according to a proposal of the invention that a step is provided on the annular body on its side facing the middle body, against which a shoulder of the middle body rests, and that the middle body is connected to the base body and holds the annular body against the base body.
Auf diese Weise ist trotz der erfindungsgemäß vorgeschlagenen Trennung des Strömungsraumes für das Druckgas einerseits und des Raumes für den mechanischen Antrieb anderseits eine genaue Führung der genannten Bauteile des Trägers erreicht.In this way, in spite of the separation of the flow space for the compressed gas, on the one hand, and the space for the mechanical drive, on the other hand, a precise guidance of the mentioned components of the carrier is achieved.
Gemäß einem Vorschlag der Erfindung ist vorgesehen, daß im Grundkörper mehrere Gleitblöcke, insbesondere aus Teflon, zum Führen des Zahnkranzes, insbesondere in dessen von der Welle entfernten Bereich vorgesehen sind. Bei dieser Ausführungsform ergibt sich beim Verdrehen des Zahnkranzes, wenn die seitlichen Stütznok-ken verstellt werden, eine geringe Reibung und dennoch eine exakte Führung.According to a proposal of the invention, it is provided that a plurality of sliding blocks, in particular made of Teflon, are provided in the base body for guiding the ring gear, in particular in its area remote from the shaft. In this embodiment, when the ring gear is rotated, when the lateral support cams are adjusted, there is little friction and yet precise guidance.
Die Erfindung erstreckt sich auch darauf, daß der Raum, in dem der Zahnkranz auf genommen ist, von einander zugekehrten Flächen des Grundkörpers und des mittleren Körpers und radial zur Mitte hin von der Welle begrenzt ist und daß der Zahnkranz radial außerhalb dieses Raumes in einen spaltförmigen Raum zwischen dem Grundkörper und dem ringförmigen Körper angeordnet ist. Diese Ausführungsform zeichnet sich durch eine günstige Anordnung der Bauteile aus, so daß sich eine kompakte Raumform ergibt. 3 AT 000 638 UlThe invention also extends to the fact that the space in which the ring gear is accommodated is bounded by mutually facing surfaces of the base body and of the central body and radially towards the center by the shaft, and that the ring gear is radially outside of this space in a gap-shaped manner Space is arranged between the base body and the annular body. This embodiment is characterized by a favorable arrangement of the components, so that there is a compact spatial shape. 3 AT 000 638 ul
Im Rahmen der Erfindung kann auch vorgesehen sein, daß der Raum, über den der Düse Gas zugeführt wird, von einem Sackloch in der Mitte des mittleren Körpers, in den das freie Ende der Welle eingreift, von zwei oder mehreren von diesem Säckloch radial nach außen führenden Kanälen im mittleren Körper und von einem zwischen dem ringförmigen Körper und dem mittleren Körper vorgesehenen ringförmigen Raum gebildet ist. Diese Ausführungsform gibt einen günstigen Strömungsweg für das Druckgas von der Welle bis zur Düse. Dabei empfiehlt es sich, wenn der mittlere Körper am offenen Ende des Sackloches gegenüber dem freien Ende der Welle abgedichtet ist, um Gasverluste zu vermeiden.Within the scope of the invention it can also be provided that the space through which gas is supplied to the nozzle extends radially outwards from a blind hole in the center of the central body into which the free end of the shaft engages, from two or more blind holes leading channels in the central body and is formed by an annular space provided between the annular body and the central body. This embodiment provides a favorable flow path for the compressed gas from the shaft to the nozzle. It is recommended that the middle body at the open end of the blind hole be sealed against the free end of the shaft to avoid gas loss.
Weitere Einzelheiten und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der nachstehenden Beschreibung des in der Zeichnung teilweise schematisch gezeigten Ausführungsbeispieles eines Trägers gemäß der Erfindung. Es zeigt: Fig. 1 einen Träger im Axialschnitt, Fig. 2 eine Bremse schematisch in Draufsicht, Fig. 3 die Bremse aus Fig. 2 im Schnitt und Fig. 4 eine andere Ausführungsform einer Bremse.Further details and features of the invention result from the following description of the exemplary embodiment of a carrier according to the invention, which is shown partially schematically in the drawing. 1 shows a carrier in axial section, FIG. 2 shows a brake schematically in plan view, FIG. 3 shows the brake from FIG. 2 in section and FIG. 4 shows another embodiment of a brake.
Ein Träger 1, der für das Halten eines (nicht dargestellten) scheibenförmigen Gegenstandes bestimmt ist, insbesondere während dieser mit einer Behandlungsflüssigkeit behandelt wird (beispielsweise werden Siliziumscheiben geätzt), ist auf einer hohl ausgebildeten Welle 2 montiert und kann über diese um seine Achse 11 in Drehung versetzt werden, wozu ein Drehantrieb 3 vorgesehen ist (vgl. EP-A-316 296).A carrier 1, which is intended for holding a disk-shaped object (not shown), in particular while it is being treated with a treatment liquid (for example silicon wafers are etched), is mounted on a hollow shaft 2 and can be rotated about its axis 11 in Rotation are offset, for which purpose a rotary drive 3 is provided (cf. EP-A-316 296).
Der Drehantrieb 3 besteht aus einem Antriebsmotor 4, dessen Abtriebsritzel 5 über einen Zahnriemen 6 mit einem auf der Welle 2 festgelegten Zahnrad 7 gekuppelt ist.The rotary drive 3 consists of a drive motor 4, the output pinion 5 of which is coupled via a toothed belt 6 to a gear 7 fixed on the shaft 2.
Um die hohle Welle 2 mit unter Druck stehendem Gas zu beaufschlagen, ist ihr unteres Ende in einem topfförmigen Körper 8 aufgenommen, an den eine Druckgasleitung 9 für das Zuführen von. Gas (beispielsweise Stickstoff) angeschlossen ist, und der gegenüber dem unteren Ende der Welle 2 durch eine Labyrinthdichtung 10 abgedichtet ist.In order to pressurize the hollow shaft 2 with pressurized gas, its lower end is accommodated in a pot-shaped body 8, to which a compressed gas line 9 for the supply of. Gas (for example nitrogen) is connected, and which is sealed from the lower end of the shaft 2 by a labyrinth seal 10.
Der Träger 1 besteht aus einem Grundkörper 20, der etwa topfförmig ausgebildet ist, aus einem ringförmigen Körper 21 und einem mittleren Körper 22, der im wesentlichen plattenförmig ausgebildet ist.The carrier 1 consists of a base body 20, which is approximately pot-shaped, an annular body 21 and a central body 22, which is substantially plate-shaped.
Der ringförmige Körper 21 sitzt über eine Ringrippe 23 an seinem Außenumfang auf dem Außenrand des topfförmigen Körpers 4 AT 000 638 Ul 20 auf. Weiters ist der ringförmige Körper 21 über z.B. kreisbogenförmige Vorsprünge 24 an einer Fläche 25 des Grundkörpers 20 abgestützt.The annular body 21 is seated via an annular rib 23 on its outer circumference on the outer edge of the pot-shaped body 4 AT 000 638 Ul 20. Furthermore, the annular body 21 is e.g. Circular arcuate projections 24 are supported on a surface 25 of the base body 20.
Der mittlere Körper 22 weist eine Schulter 26 auf, die auf einer Stufe 27 des ringförmigen Körpers 21 auf liegt.The middle body 22 has a shoulder 26 which lies on a step 27 of the annular body 21.
Der mittlere Körper 22 wird durch mehrere Spannschrauben 30 am Grundkörper 20 festgelegt, wobei der ringförmige Körper 21 zwischen dem Grundkörper 20 und dem mittleren Körper 22 geklemmt wird.The middle body 22 is fixed to the base body 20 by a plurality of clamping screws 30, the annular body 21 being clamped between the base body 20 and the middle body 22.
Zwischen dem Grundkörper 20 und dem mittleren Körper 22 ist ein Raum 31 vorgesehen, der nach unten von der Fläche 25 des Grundkörpers 20 und nach oben von der Fläche 32 des mittleren Körpers 22 begrenzt wird. Von diesem Raum 31 geht ein spaltförmiger Raum 33 aus, der von einander zugekehrten Flächen 34 und 35 des Grundkörpers 20 bzw. des ringförmigen Körpers 21 begrenzt wird.A space 31 is provided between the base body 20 and the middle body 22, which is delimited at the bottom by the surface 25 of the base body 20 and at the top by the surface 32 of the middle body 22. A gap-shaped space 33 extends from this space 31 and is delimited by mutually facing surfaces 34 and 35 of the base body 20 and the annular body 21, respectively.
Im Raum 31 und im spaltförmigen Raum 33 ist ein Zahnkranz 40 auf genommen, der mit dem oberen Ende 41 der Welle 2 ge-, kuppelt ist und der mit seiner radial außen liegenden Zahnung 42 mit Zahnrädern 43 an Wellen 44, die in Bohrungen im ringförmigen Körper 21 verdrehbar aufgenommen sind, kämmt. Die Wellen 44 tragen zu ihrer Drehachse exzentrisch angeordnete Nocken 45. Durch Verdrehen der Wellen 44 mit Hilfe des Zahnkranzes 40 kann der radiale Abstand der Nocken 45 von der Drehachse 11 des Trägers 1 verändert werden. Diese Nocken 45 dienen als" Anschläge zum seitlichen Abstützen eines am Träger 1 gehaltenen - in der Zeichnung nicht gezeigten - scheibenförmigen Gegenstandes (z.B. Siliziumwafer).In the space 31 and in the gap-shaped space 33, a ring gear 40 is received, which is coupled to the upper end 41 of the shaft 2 and which is connected with its radially outer toothing 42 with gear wheels 43 to shafts 44 which are in bores in the ring Body 21 are rotatably received, combs. The shafts 44 carry cams 45 arranged eccentrically to their axis of rotation. By rotating the shafts 44 with the aid of the toothed ring 40, the radial distance of the cams 45 from the axis of rotation 11 of the carrier 1 can be changed. These cams 45 serve as " Stops for the lateral support of a disc-shaped object (e.g. silicon wafer) held on the carrier 1 (not shown in the drawing).
Der Zahnkranz 40 wird durch Lagerzapfen 46, die im Grundkörper 20 ringsherum verteilt eingesetzt sind, abgestützt und geführt. Diese Lagerzapfen 46 bestehen beispielsweise aus Teflon.The ring gear 40 is supported and guided by journals 46 which are distributed around the base body 20. These journals 46 are made of Teflon, for example.
Es ist noch zu erwähnen, daß im Zahnkranz 40 nicht gezeigte Aussparungen vorgesehen sind, durch welche die Vorsprünge 24 des ringförmigen Körpers 21 greifen und die so lang sind, daß der Zahnkranz 40 gegenüber dem ringförmigen Körper 21 und damit dem Träger 1 hinreichend verdreht werden kann, wenn die Nocken 45 verstellt werden sollen. Eine vollständige Drehung des Zahnkranzes 40 ist nicht vorgesehen, nur eine Verdrehung desselben um einen relativ kleinen Winkel zur Lageeinstellung der Nocken 45.It should also be mentioned that recesses (not shown) are provided in the ring gear 40, through which the projections 24 of the annular body 21 engage and which are so long that the ring gear 40 can be sufficiently rotated relative to the annular body 21 and thus the carrier 1 when the cams 45 are to be adjusted. A complete rotation of the ring gear 40 is not provided, only a rotation of the ring gear 40 by a relatively small angle to adjust the position of the cams 45.
Um dieses Verdrehen der Nocken 45 und damit deren radiales Verstellen zu bewerkstelligen, wird der Grundkörper 20 durch 5 AT 000 638 Ul eine nicht näher gezeigte Bremsvorrichtung, die beispielsweise so wie in der EP-A-316 296, nämlich als Schlauchbremse, ausgebildet sein kann, gebremst und die Welle 2 gegenüber dem Träger 1 verdreht, so daß auch die Wellen 44 der Nocken 45 verdreht werden. Anstelle der aus der EP-A-316 296 bekannten Schlauchbremse kann dem Grundkörper 20 auch eine Backenbremse zugeordnet sein. Für Träger 1 mit kleinerem Durchmesser (z.B. 8 Zoll) kann eine Backenbremse gemäß Fig. 2 und 3 vorgesehen sein. Die beiden etwa halbkreisförmigen Backen 60, die um eine ortsfeste Achse 64 gegeneinander verschwenkbar gelagert sind, werden von wenigstens einem Exzenter 63, der z.B. von einem pneumatischen Zylinder (nicht gezeigt) verstellt werden kann, gegen einen ringförmigen Ansatz 62 des Grundkörpers 20 gedrückt, wenn dieser zu bremsen ist. Zum Lüften der Bremsbacken 60 ist wenigstens eine Zugfeder 61 vorgesehen, welche die Bremsbacken 60 radial nach innen vom ringförmigen Ansatz 62 des Grundkörpers 20 wegzieht. Für größere Träger 1 wird eine Bremse gemäß Fig. 4 bevorzugt, deren Backen 70 um einen Ansatz 71 des Grundkörpers 20 herum angeordnet sind. Die Backen 70 werden von zwei Druckfedem 72 gelüftet, d.h. vom Ansatz 71 abgehoben. Zum Bremsen sind zwei pneumatische Zylinder 73 vorgesehen, welche die Backen 70 entgegen der Wirkung der Federn 72 an den Ansatz 71 pressen.In order to accomplish this rotation of the cams 45 and thus their radial adjustment, the base body 20 through 5 AT 000 638 Ul is a braking device, not shown in more detail, which can be designed, for example, as in EP-A-316 296, namely as a hose brake , braked and the shaft 2 rotated relative to the carrier 1, so that the shafts 44 of the cams 45 are rotated. Instead of the hose brake known from EP-A-316 296, a shoe brake can also be assigned to the base body 20. A shoe brake according to FIGS. 2 and 3 can be provided for carrier 1 with a smaller diameter (e.g. 8 inches). The two approximately semicircular jaws 60, which are mounted so as to be pivotable relative to one another about a fixed axis 64, are supported by at least one eccentric 63, which e.g. can be adjusted by a pneumatic cylinder (not shown), pressed against an annular shoulder 62 of the base body 20 when it is to be braked. To release the brake shoes 60, at least one tension spring 61 is provided, which pulls the brake shoes 60 radially inward away from the annular extension 62 of the base body 20. For larger carriers 1, a brake according to FIG. 4 is preferred, the jaws 70 of which are arranged around an extension 71 of the base body 20. The jaws 70 are released by two compression springs 72, i.e. lifted from approach 71. For braking, two pneumatic cylinders 73 are provided, which press the jaws 70 against the attachment 71 against the action of the springs 72.
Im mittleren Körper 22 des Trägers 1 ist ein Sackloch 50 vorgesehen, in dem die Welle 2 mit ihrem oberen Ende, an dem die Bohrung 51 in der Welle 2 mündet, aufgenommen ist. Das obere Ende der Welle 2 wird gegenüber dem mittleren Körper 22 durch eine Dichtung 52 abgedichtet. Das aus der Bohrung 51 in der Welle 2 austretende und in den vom Sackloch 50 gebildeten Raum eintretende Gas strömt über mehrere radiale Bohrungen 53 in einen ringförmigen Raum 54 und aus diesem zur ringförmigen Düse 12, durch die es aus dem Träger 1 austritt.In the middle body 22 of the carrier 1, a blind hole 50 is provided, in which the shaft 2 is received with its upper end, at which the bore 51 opens into the shaft 2. The upper end of the shaft 2 is sealed from the central body 22 by a seal 52. The gas emerging from the bore 51 in the shaft 2 and entering the space formed by the blind hole 50 flows via a plurality of radial bores 53 into an annular space 54 and from there to the annular nozzle 12, through which it exits the carrier 1.
Der ringförmige Raum 54 wird von einander zugekehrten Flächen 55 und 56 des mittleren Körpers 22 und des ringförmigen Körpers 21 begrenzt.The annular space 54 is delimited by mutually facing surfaces 55 and 56 of the central body 22 and the annular body 21.
Es ist ersichtlich, daß der Raum 31 und der spaltförmige Raum 33, in dem der Drehantrieb für die Exzenternocken 45 aufgenommen ist, vom Strömungsweg des Druckgases durch den Träger 1 (Sackloch 50, Bohrungen 53, ringförmiger Raum 54) bis zur Düse 12 getrennt und abgedichtet (Dichtung 52) ist.It can be seen that the space 31 and the gap-shaped space 33, in which the rotary drive for the eccentric cams 45 is accommodated, are separated from the flow path of the compressed gas through the carrier 1 (blind hole 50, bores 53, annular space 54) to the nozzle 12 and is sealed (seal 52).
Die Benutzung des erfindungsgemäßen Trägers 1 beim Be- 6 AT 000 638 Ul handeln von scheibenförmigen Gegenständen mit einer Behandlungs-flüssigkeit, insbesondere beim Ätzen von Siliziumscheiben, erfolgt so, wie dies in der EP-A-316 296 beschrieben ist, wobei der scheibenförmige Gegenstand von dem im aus der ringförmigen Düse 12 austretenden Gas aufgrund des aerodynamischen Paradoxons (Bernoulli-Prinzip) entstehenden Unterdrück zwischen dem scheibenförmigen Gegenstand und der ihm zugekehrten Fläche des Trägers 1 in einem Gleichgewichtszustand frei schwebend und dennoch so sicher festgehalten wird, daß er mit einer Behandlungsflüssigkeit behandelt werden kann.The carrier 1 according to the invention is used when handling disc-shaped objects with a treatment liquid, in particular when etching silicon wafers, as described in EP-A-316 296, the disc-shaped object of the gas emerging from the annular nozzle 12 due to the aerodynamic paradox (Bernoulli principle) between the disc-shaped object and the surface of the carrier 1 facing it, in a state of equilibrium, is freely suspended and yet held so securely that it is treated with a treatment liquid can be treated.
Zusammenfassend kann die Erfindung beispielsweise wie folgt dargestellt werden:In summary, the invention can be represented as follows, for example:
An einem Träger 1 nach dem Bernoulli-Prinzip, an dem scheibenförmige Gegenstände, insbesondere Siliziumscheiben, auf einem Gaspolster, der von aus einer ringförmigen Düse 12 in der dem Gegenstand zugekehrten Fläche des Trägers 1 austretenden Druckgas gebildet wird, sind ringsherum Nocken 45 als seitliche Anschläge für den scheibenförmigen Gegenstand vorgesehen. Die Nocken 45 sind an im Träger 1 verdrehbaren Wellen 44 exzentrisch angeordnet. Die Wellen 44 können mit Hilfe eines im Träger 1 auf-genommenen Zahnkranzes 40 zum radialen Verstellen der Nocken 45 verdreht werden. Der Raum 31, 33, in dem der Zahnkranz 40 auf genommen ist, ist gegenüber dem Raum 50, 53, 54, durch den Druckgas zur Düse 12 strömt, getrennt und abgedichtet. So wird verhindert, daß die Strömung von Gas durch den Verstellmechanismus für die Nocken 45 beeinträchtigt wird und daß vom Gas Abrieb, der vom Verstellmechanismus für die Nocken 45 herrührt, mitgeführt und aus der Düse 12 gegen den zu behandelnden Gegenstand geblasen wird. 7On a carrier 1 according to the Bernoulli principle, on the disc-shaped objects, in particular silicon wafers, on a gas cushion, which is formed by compressed gas escaping from an annular nozzle 12 in the surface of the carrier 1 facing the object, there are cams 45 all around as lateral stops intended for the disc-shaped object. The cams 45 are arranged eccentrically on shafts 44 rotatable in the carrier 1. The shafts 44 can be rotated with the aid of a toothed ring 40 accommodated in the carrier 1 for the radial adjustment of the cams 45. The space 31, 33, in which the ring gear 40 is received, is separated and sealed with respect to the space 50, 53, 54 through which compressed gas flows to the nozzle 12. This prevents the flow of gas from being adversely affected by the adjustment mechanism for the cams 45 and from the gas abrasion resulting from the adjustment mechanism for the cams 45 being carried along and blown out of the nozzle 12 against the object to be treated. 7
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| MN9K | Cancelled due to lapse of time |