ATA322587A - Vorrichtung zum reinigen von flachen, praktisch ebenen kleinteilen, insbesondere von flachen halbleitersubstraten - Google Patents

Vorrichtung zum reinigen von flachen, praktisch ebenen kleinteilen, insbesondere von flachen halbleitersubstraten

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    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
    • H10P72/0402—Apparatus for fluid treatment
    • H10P72/0406—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
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