ATA5262000A - Verfahren und einrichtung zum auftragen einer flüssigen substanz - Google Patents

Verfahren und einrichtung zum auftragen einer flüssigen substanz

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    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
    • H10P72/0448—Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like
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