ATE19158T1 - Entschichtungsmittel und verfahren zum entschichten einer photoresistschicht. - Google Patents

Entschichtungsmittel und verfahren zum entschichten einer photoresistschicht.

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ATE19158T1
ATE19158T1 AT82108780T AT82108780T ATE19158T1 AT E19158 T1 ATE19158 T1 AT E19158T1 AT 82108780 T AT82108780 T AT 82108780T AT 82108780 T AT82108780 T AT 82108780T AT E19158 T1 ATE19158 T1 AT E19158T1
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AT
Austria
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decoating
agent
photoresist coating
photoresist
coating
Prior art date
Application number
AT82108780T
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English (en)
Inventor
Irl Eugene Ward Jr
Lisa Gail Hallquist
Thomas Joseph Hurley
Original Assignee
Baker Chem Co J T
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US30478781A 1981-09-23 1981-09-23
US06/408,051 US4395479A (en) 1981-09-23 1982-08-17 Stripping compositions and methods of stripping resists
EP82108780A EP0075328B1 (de) 1981-09-23 1982-09-22 Entschichtungsmittel und Verfahren zum Entschichten einer Photoresistschicht

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ATE19158T1 true ATE19158T1 (de) 1986-04-15

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