ATE19711T1 - Zentrifuge zum bearbeiten von halbleiterscheiben. - Google Patents

Zentrifuge zum bearbeiten von halbleiterscheiben.

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ATE19711T1
ATE19711T1 AT81900893T AT81900893T ATE19711T1 AT E19711 T1 ATE19711 T1 AT E19711T1 AT 81900893 T AT81900893 T AT 81900893T AT 81900893 T AT81900893 T AT 81900893T AT E19711 T1 ATE19711 T1 AT E19711T1
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centrifuge
processing semiconductor
semiconductor discs
discs
processing
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Application number
AT81900893T
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English (en)
Inventor
Raymon F Thompson
Original Assignee
Semitool Inc
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