ATE197746T1 - Verfahren zur verdrahtung eines halbleiterbauelementes - Google Patents

Verfahren zur verdrahtung eines halbleiterbauelementes

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ATE197746T1
ATE197746T1 AT91304658T AT91304658T ATE197746T1 AT E197746 T1 ATE197746 T1 AT E197746T1 AT 91304658 T AT91304658 T AT 91304658T AT 91304658 T AT91304658 T AT 91304658T AT E197746 T1 ATE197746 T1 AT E197746T1
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wiring
semiconductor component
insulating film
metallic substance
conductive metallic
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AT91304658T
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Shunsuke Inoue
Mitsutoshi Hasegawa
Nobuo Watanabe
Original Assignee
Canon Kk
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    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P14/00—Formation of materials, e.g. in the shape of layers or pillars
    • H10P14/40—Formation of materials, e.g. in the shape of layers or pillars of conductive or resistive materials
    • H10P14/412—Deposition of metallic or metal-silicide materials

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