ATE221981T1 - Verfahren zum trocknen von dünnen schichten sowie vorrichtung zur durchführung des verfahrens - Google Patents

Verfahren zum trocknen von dünnen schichten sowie vorrichtung zur durchführung des verfahrens

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ATE221981T1 AT97945828T AT97945828T ATE221981T1 AT E221981 T1 ATE221981 T1 AT E221981T1 AT 97945828 T AT97945828 T AT 97945828T AT 97945828 T AT97945828 T AT 97945828T AT E221981 T1 ATE221981 T1 AT E221981T1
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Dietmar Gath
Claus Hellmann
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Hellmann Hygrex Luft Und Klima
Dietmar Gath
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    • F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
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    • F26B21/30—Controlling, e.g. regulating, parameters of gas supply
    • F26B21/33—Humidity
    • F26B21/333—Humidity by condensing the moisture in the drying medium, which may be recycled, e.g. using a heat pump cycle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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