ATE294631T1 - Vorrichtung und verfahren zur trennung von gasen - Google Patents

Vorrichtung und verfahren zur trennung von gasen

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Yoshinori Tajima
Takashi Futatsuki
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005046746A (ja) * 2003-07-29 2005-02-24 Japan Organo Co Ltd ガス分離装置
JP4538622B2 (ja) * 2003-07-29 2010-09-08 オルガノ株式会社 ガス分離装置
US7507273B1 (en) * 2005-06-20 2009-03-24 6Solutions, Llc Chromatographic rectification of ethanol
JP5479949B2 (ja) * 2009-04-08 2014-04-23 株式会社東芝 測定装置、測定方法、及び二酸化炭素回収システム
CN112569623B (zh) * 2020-12-22 2024-08-27 中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司 一种三氟化氮的连续精馏装置

Family Cites Families (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3125425A (en) 1964-03-17 Separation of gaseous fluosides
US3121321A (en) * 1958-05-19 1964-02-18 Phillips Petroleum Co Chromatographic analysis
US3537297A (en) * 1963-12-09 1970-11-03 Phillips Petroleum Co Venting of undesired components in chromatographic analyzer
US3550429A (en) * 1967-11-16 1970-12-29 Texaco Inc Chromatographic analysis
US3515262A (en) * 1968-12-13 1970-06-02 Judy Ornstein Receptacle unit and kit
US3537237A (en) * 1969-05-14 1970-11-03 Phillips Petroleum Co Method of recovering components from a gas stream
US3893827A (en) * 1973-08-15 1975-07-08 Cjb Dev Limited Selective removal of constituents from fluids
DE2804203C3 (de) 1978-02-01 1980-09-25 Bayer Ag, 5090 Leverkusen Verfahren zur Trennung von isomeren Dichlortoluolen
US4443231A (en) * 1982-02-02 1984-04-17 Exxon Research And Engineering Co. Continuous chromatographic separations in a magnetically stabilized fluidized bed
US4434051A (en) * 1982-06-07 1984-02-28 Uop Inc. Multiple valve apparatus for simulated moving bed adsorption processes
JPH0798648B2 (ja) * 1990-01-10 1995-10-25 セントラル硝子株式会社 Ｎｆ３ガスの精製方法
US5069690A (en) 1991-02-21 1991-12-03 Air Products And Chemicals, Inc. Process for kinetic gas-solid chromatographic separations
US5502969A (en) 1995-02-16 1996-04-02 Praxair Technology, Inc. Cryogenic rectification system for fluorine compound recovery
JPH0929002A (ja) * 1995-07-17 1997-02-04 Teisan Kk ガス回収装置
US5759237A (en) * 1996-06-14 1998-06-02 L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et, L'exploitation Des Procedes Georges Claude Process and system for selective abatement of reactive gases and recovery of perfluorocompound gases
IE80909B1 (en) * 1996-06-14 1999-06-16 Air Liquide An improved process and system for separation and recovery of perfluorocompound gases
US5720797A (en) * 1996-12-18 1998-02-24 Alliedsignal Inc. Process for recovering sulfur hexafluoride
US5814127A (en) * 1996-12-23 1998-09-29 American Air Liquide Inc. Process for recovering CF4 and C2 F6 from a gas
US5779863A (en) 1997-01-16 1998-07-14 Air Liquide America Corporation Perfluorocompound separation and purification method and system
JP3356965B2 (ja) * 1997-06-20 2002-12-16 株式会社日立製作所 Ｓｆ６ガス回収・精製処理装置及び方法
JP3979714B2 (ja) 1997-12-22 2007-09-19 日本エア・リキード株式会社 フッ素化合物の分離精製方法及びその設備
JP3478325B2 (ja) 1997-12-25 2003-12-15 オルガノ株式会社 クロマト分離方法
US6032484A (en) 1998-03-23 2000-03-07 Air Products And Chemicals, Inc. Recovery of perfluorinated compounds from the exhaust of semiconductor fabs with recycle of vacuum pump diluent
US5976222A (en) * 1998-03-23 1999-11-02 Air Products And Chemicals, Inc. Recovery of perfluorinated compounds from the exhaust of semiconductor fabs using membrane and adsorption in series
US6017382A (en) * 1998-03-30 2000-01-25 The Boc Group, Inc. Method of processing semiconductor manufacturing exhaust gases
US6320087B2 (en) 1998-04-09 2001-11-20 Toray Industries, Inc. Adsorbent for separating halogenated aromatic compounds and separation method
US6187077B1 (en) * 1998-04-17 2001-02-13 American Air Liquide Inc. Separation of CF4 and C2F6 from a perfluorocompound mixture
JP2000009037A (ja) * 1998-06-18 2000-01-11 Fujitsu Ltd 排気装置及び排気方法
DE19910678A1 (de) * 1998-08-20 2000-09-14 Solvay Fluor & Derivate Verfahren zur Reinigung von SF¶6¶-kontaminierten Gasen
TW581708B (en) * 1998-09-22 2004-04-01 Japan Pionics Cleaning agent and cleaning method for halogen-containing exhaust gas
US6497138B1 (en) * 2000-10-18 2002-12-24 Agilent Technologies, Inc., Multilayered gas chromatograph

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JP2002147948A (ja) 2002-05-22
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