ATE310608T1 - Verfahren und vorrichtung zum polieren der oberfläche eines werkstückes - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zum polieren der oberfläche eines werkstückes

Info

Publication number
ATE310608T1
ATE310608T1 AT02760884T AT02760884T ATE310608T1 AT E310608 T1 ATE310608 T1 AT E310608T1 AT 02760884 T AT02760884 T AT 02760884T AT 02760884 T AT02760884 T AT 02760884T AT E310608 T1 ATE310608 T1 AT E310608T1
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
polishing
workpiece surface
machined
machining
area
Prior art date
Application number
AT02760884T
Other languages
English (en)
Inventor
Brug Hedser Van
Original Assignee
Tno
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tno filed Critical Tno
Application granted granted Critical
Publication of ATE310608T1 publication Critical patent/ATE310608T1/de

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24C—ABRASIVE OR RELATED BLASTING WITH PARTICULATE MATERIAL
    • B24C1/00—Methods for use of abrasive blasting for producing particular effects; Use of auxiliary equipment in connection with such methods
    • B24C1/08—Methods for use of abrasive blasting for producing particular effects; Use of auxiliary equipment in connection with such methods for polishing surfaces, e.g. smoothing a surface by making use of liquid-borne abrasives
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B13/00—Machines or devices designed for grinding or polishing optical surfaces on lenses or surfaces of similar shape on other work; Accessories therefor
    • B24B13/06—Machines or devices designed for grinding or polishing optical surfaces on lenses or surfaces of similar shape on other work; Accessories therefor grinding of lenses, the tool or work being controlled by information-carrying means, e.g. patterns, punched tapes, magnetic tapes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
    • B24B49/02—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation according to the instantaneous size and required size of the workpiece acted upon, the measuring or gauging being continuous or intermittent
    • B24B49/04—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation according to the instantaneous size and required size of the workpiece acted upon, the measuring or gauging being continuous or intermittent involving measurement of the workpiece at the place of grinding during grinding operation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
    • B24B49/12—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation involving optical means

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
  • Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
AT02760884T 2001-09-13 2002-09-13 Verfahren und vorrichtung zum polieren der oberfläche eines werkstückes ATE310608T1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL1018943A NL1018943C2 (nl) 2001-09-13 2001-09-13 Werkwijze en inrichting voor het polijsten van een werkstukoppervlak.
PCT/NL2002/000590 WO2003026846A1 (en) 2001-09-13 2002-09-13 Method and apparatus for polishing a workpiece surface

Publications (1)

Publication Number Publication Date
ATE310608T1 true ATE310608T1 (de) 2005-12-15

Family

ID=19773997

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
AT02760884T ATE310608T1 (de) 2001-09-13 2002-09-13 Verfahren und vorrichtung zum polieren der oberfläche eines werkstückes

Country Status (7)

Country Link
US (1) US7121922B2 (de)
EP (1) EP1425135B1 (de)
JP (1) JP4672255B2 (de)
AT (1) ATE310608T1 (de)
DE (1) DE60207586T2 (de)
NL (1) NL1018943C2 (de)
WO (1) WO2003026846A1 (de)

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL1021457C2 (nl) * 2002-09-13 2004-03-16 Tno Werkwijze voor het meten van contourvariaties.
NL1022293C2 (nl) * 2002-12-31 2004-07-15 Tno Inrichting en werkwijze voor het vervaardigen of bewerken van optische elementen en/of optische vormelementen, alsmede dergelijke elementen.
DE102004021254A1 (de) * 2004-04-30 2005-11-24 P & L Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Vermessung eines Werkzeugs einer Werkzeugmaschine
EP1984788B1 (de) 2006-02-17 2011-09-21 Carl Zeiss SMT GmbH Optischer integrator für eine beleuchtungssystem einer mikrolithographie-projektions-belichtungsvorrichtung
TWI456267B (zh) 2006-02-17 2014-10-11 卡爾蔡司Ｓｍｔ有限公司 用於微影投射曝光設備之照明系統
US9062354B2 (en) * 2011-02-24 2015-06-23 General Electric Company Surface treatment system, a surface treatment process and a system treated component
JP5740370B2 (ja) * 2012-09-04 2015-06-24 株式会社東芝 領域特定装置、方法、及びプログラム
CN102896558A (zh) * 2012-10-17 2013-01-30 中国人民解放军国防科学技术大学 基于化学机械抛光和离子束抛光组合工艺的氟化钙单晶超精密加工方法
US9403259B2 (en) * 2013-03-15 2016-08-02 United Technologies Corporation Removing material from a workpiece with a water jet
CN103612202B (zh) * 2013-11-19 2016-01-20 中国科学院光电技术研究所 一种离子束抛光设备中工件夹具的定位装置
CN103862373B (zh) * 2014-02-25 2016-03-30 复旦大学 基于动态干涉仪的实时研磨抛光方法
CN104875080B (zh) * 2015-05-11 2017-03-29 中国人民解放军国防科学技术大学 一种倾斜入射的离子束抛光修形加工方法
JP2018140469A (ja) * 2017-02-28 2018-09-13 株式会社ディスコ 被加工物の検査方法、被加工物の検査装置及び加工装置
CN108000147B (zh) * 2017-12-07 2019-04-09 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 一种激光射流复合抛光方法与装置
CN109434570B (zh) * 2018-11-23 2023-09-01 华中科技大学 一种曲面金属零件的微束等离子抛光装置及方法
CN110666596B (zh) * 2019-09-02 2021-08-06 中国兵器科学研究院宁波分院 一种用于光学元件的定位及姿态调整装置
CN112658815B (zh) * 2020-12-25 2023-03-07 中国人民解放军国防科技大学 一种3d打印碳化硅反射镜的加工方法
CN121798520A (zh) * 2021-09-02 2026-04-07 李伟 基于电磁波监测的表面处理系统
CN116061070A (zh) * 2023-01-09 2023-05-05 上海现代先进超精密制造中心有限公司 一种微纳光栅结构的抛光装置及抛光方法
CN117840823A (zh) * 2024-01-18 2024-04-09 南京艾丝特光电有限公司 光学元件的高精度均匀数控抛光装置及方法
CN118664440B (zh) * 2024-06-28 2025-10-03 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种复杂曲面磁流变加工误差收敛评估方法
CN119756245B (zh) * 2024-12-27 2025-10-28 东莞市铝宝金属科技有限公司 一种电脑显卡铝合金压铸件的表面粗糙度测量方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4594003A (en) * 1983-07-20 1986-06-10 Zygo Corporation Interferometric wavefront measurement
DE3820225C1 (de) * 1988-06-14 1989-07-13 Hpo Hanseatische Praezisions- Und Orbittechnik Gmbh, 2800 Bremen, De
JPH10253346A (ja) * 1997-01-07 1998-09-25 Nikon Corp 非球面形状測定器および非球面光学部材の製造方法
US5822066A (en) * 1997-02-26 1998-10-13 Ultratech Stepper, Inc. Point diffraction interferometer and pin mirror for use therewith
JP3550594B2 (ja) * 1997-08-12 2004-08-04 株式会社ニコン 多層膜試料の膜厚測定装置及びそれを有する研磨装置
JPH11198033A (ja) * 1997-10-31 1999-07-27 Canon Inc 研磨装置及び研磨方法
US6301009B1 (en) * 1997-12-01 2001-10-09 Zygo Corporation In-situ metrology system and method
US6190234B1 (en) * 1999-01-25 2001-02-20 Applied Materials, Inc. Endpoint detection with light beams of different wavelengths

Also Published As

Publication number Publication date
JP2005503272A (ja) 2005-02-03
WO2003026846A1 (en) 2003-04-03
DE60207586T2 (de) 2006-07-27
DE60207586D1 (de) 2005-12-29
EP1425135A1 (de) 2004-06-09
EP1425135B1 (de) 2005-11-23
US20050009447A1 (en) 2005-01-13
US7121922B2 (en) 2006-10-17
NL1018943C2 (nl) 2003-03-14
JP4672255B2 (ja) 2011-04-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ATE310608T1 (de) Verfahren und vorrichtung zum polieren der oberfläche eines werkstückes
DE602004010599D1 (de) Verfahren zum Messen der gewölbten Oberfläche eines Werkstücks
ATE107213T1 (de) Verfahren und einrichtung zum feinbearbeiten und supfinieren.
DE502004002034D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum laserbearbeiten von werkstücken
DE60227807D1 (de) Einrichtung und verfahren zum messen des verschleisses eines werkzeugs
GB0625260D0 (en) A method for measuring a workpiece using a machine tool
ATE549122T1 (de) Verfahren und werkzeugmaschine zum zerspanenden bearbeiten eines werkstücks
ATE319084T1 (de) Verfahren zum ermitteln der porosität eines werkstückes mittels ultraschall
DE60133989D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Bearbeiten eines dreidimensionalen Werkstücks mittels Funkenerosionsfräsen
DE50308733D1 (de) Verstellbare spanführung zum abführen eines teils der späne einer werkzeugmaschine
ATE362824T1 (de) Bearbeitungsmaschine zum bearbeiten von werkst cken
DE50209156D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum räumlichen Vermessen von Werkstücken an einer Werkzeugmaschine
DE60136401D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen einer Restspannungsverteilung in der Oberfläche eines Werkstückes
ATE323572T1 (de) Verfahren und vorrichtung zur prüfung des bearbeitungsverfahrens einer werkzeugmaschine
DE69811392D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum bearbeiten eines werkstücks
ATE500912T1 (de) Verfahren zum planfräsen von werkstückoberflächen
DE50108206D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum vermessen und bearbeiten von werkstücken
DE69700885D1 (de) Doppelseitenpoliermaschine und Verfahren zum Polieren von gegenüberliegenden Seiten eines Werkstückes mittels derselben
DE60239597D1 (de) Verfahren und bearbeitungsmaschine der verbindungsflächen eines werkstücks
DE69913070D1 (de) Verfahren zum Ausführen von Präzisionssägezahnschleifen auf der Oberfläche eines bestimmten Werkstückes
DE59707412D1 (de) Werkzeugmaschine zur bearbeitung umlaufender werkstücke mittels eines synchron zum werkstück angetriebenen werkzeugs
DE50004675D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum bearbeiten von hohlraumwänden von stranggiesskokillen
DE59907183D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum hydraulischen Umformen von Werkstücken
DE50310670D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum funkenerosiven Bearbeiten eines Werkstückes
DE602004012438D1 (de) Verfahren und formmaschine zum verformen eines werkstücks

Legal Events

Date Code Title Description
RER Ceased as to paragraph 5 lit. 3 law introducing patent treaties