ATE364901T1 - Laterale pin diode aus polysilizium und verfahren zur herstellung - Google Patents

Laterale pin diode aus polysilizium und verfahren zur herstellung

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ATE364901T1
ATE364901T1 AT01310302T AT01310302T ATE364901T1 AT E364901 T1 ATE364901 T1 AT E364901T1 AT 01310302 T AT01310302 T AT 01310302T AT 01310302 T AT01310302 T AT 01310302T AT E364901 T1 ATE364901 T1 AT E364901T1
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pin diode
polysilicon
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lateral pin
diode made
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David R Greenberg
Dale K Jadus
Seshardri Subbanna
Keith M Walter
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