ATE37093T1 - Einrichtung zur durchfuehrung von mikromechanischen messungen an oberflaechen von pruefobjekten. - Google Patents

Einrichtung zur durchfuehrung von mikromechanischen messungen an oberflaechen von pruefobjekten.

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ATE37093T1
ATE37093T1 AT83900161T AT83900161T ATE37093T1 AT E37093 T1 ATE37093 T1 AT E37093T1 AT 83900161 T AT83900161 T AT 83900161T AT 83900161 T AT83900161 T AT 83900161T AT E37093 T1 ATE37093 T1 AT E37093T1
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AT
Austria
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micromechanical
measurements
carrying
equipment
test objects
Prior art date
Application number
AT83900161T
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English (en)
Inventor
Kurt Martin Oesterle
Original Assignee
Kurt Martin Oesterle
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CH440/82A CH657704A5 (de) 1982-01-25 1982-01-25 Messkopf zur durchfuehrung von mikromechanischen messungen an oberflaechen von pruefobjekten.
EP83900161A EP0099364B1 (de) 1982-01-25 1983-01-06 Einrichtung zur durchführung von mikromechanischen messungen an oberflächen von prüfobjekten
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