ATE384916T1 - Vorrichtung zur thermischen behandlung von schadstoffe enthaltenden prozessabgasen - Google Patents

Vorrichtung zur thermischen behandlung von schadstoffe enthaltenden prozessabgasen

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ATE384916T1
ATE384916T1 AT04021022T AT04021022T ATE384916T1 AT E384916 T1 ATE384916 T1 AT E384916T1 AT 04021022 T AT04021022 T AT 04021022T AT 04021022 T AT04021022 T AT 04021022T AT E384916 T1 ATE384916 T1 AT E384916T1
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gases containing
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containing pollutants
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Wido Wiesenberg
Andreas Frenzel
Konrad Gehmlich
Horst Reichardt
Lothar Ritter
Corina Kloss
Michael Hentrich
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Das Duennschicht Anlagen Sys
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Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004047440B4 (de) * 2004-09-28 2007-11-08 Centrotherm Clean Solutions Gmbh & Co.Kg Anordnung zur Reinigung von toxischen Gasen aus Produktionsprozessen
JP4528141B2 (ja) * 2005-01-14 2010-08-18 東京瓦斯株式会社 難燃性物質分解バーナ
DE102005059481B3 (de) * 2005-12-07 2007-07-12 DAS - Dünnschicht Anlagen Systeme GmbH Vorrichtung und Verfahren zur Reinigung von Reaktionsraumwänden im Inneren eines Reaktionsraums einer thermischen Nachbehandlung von Prozessabgasen
US8591819B2 (en) 2006-12-05 2013-11-26 Ebara Corporation Combustion-type exhaust gas treatment apparatus
JP4937886B2 (ja) * 2006-12-05 2012-05-23 株式会社荏原製作所 燃焼式排ガス処理装置
GB0902221D0 (en) * 2009-02-11 2009-03-25 Edwards Ltd Pilot
JP5492482B2 (ja) * 2009-07-14 2014-05-14 株式会社桂精機製作所 直接燃焼式脱臭炉
KR101200977B1 (ko) * 2010-08-06 2012-11-13 주식회사 글로벌스탠다드테크놀로지 폐 가스 연소장치
CN102644928B (zh) * 2011-02-18 2015-07-29 Das环境专家有限公司 用于热处理包括有害物质的废气的装置
KR101275475B1 (ko) * 2011-02-18 2013-06-17 디에이에스 인바이런멘탈 엑스퍼트 게엠베하 유해 물질을 함유한 배출 가스의 열처리 장치
DE102012102251B4 (de) * 2012-03-16 2013-11-07 Das Environmental Expert Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von Schadgasen
KR101438589B1 (ko) * 2013-01-02 2014-09-12 주식회사 케이피씨 스크러버의 가변연소챔버
KR101414588B1 (ko) * 2013-01-02 2014-07-04 주식회사 케이피씨 연소식 스크러버 시스템
JP2014134350A (ja) * 2013-01-11 2014-07-24 Edwards Kk インレットノズル、及び除害装置
JP6659461B2 (ja) * 2016-05-23 2020-03-04 株式会社荏原製作所 排ガス処理装置
JP6659471B2 (ja) * 2016-06-08 2020-03-04 株式会社荏原製作所 排ガス処理装置
JP6895342B2 (ja) * 2016-08-19 2021-06-30 株式会社荏原製作所 排ガス処理装置用のバーナヘッドおよびその製造方法、ならびに、排ガス処理装置用の燃焼室、その製造方法およびメンテナンス方法
WO2018034331A1 (ja) * 2016-08-19 2018-02-22 株式会社荏原製作所 排ガス処理装置用のバーナヘッドおよびその製造方法、ならびに、排ガス処理装置用の燃焼室、その製造方法およびメンテナンス方法
JP7076223B2 (ja) * 2018-02-26 2022-05-27 株式会社荏原製作所 湿式除害装置
JP2020034180A (ja) * 2018-08-27 2020-03-05 国立大学法人埼玉大学 交流電界による有害性排ガス処理装置の燃焼炉
DE102019117331B4 (de) * 2019-06-27 2024-07-04 Das Environmental Expert Gmbh Brenner zur Erzeugung einer Flamme für die Verbrennung von Prozessgas und Abgasbehandlungsvorrichtung mit einem Brenner
DE102021103365B4 (de) 2021-02-12 2024-02-15 Das Environmental Expert Gmbh Verfahren und Brenner zur thermischen Entsorgung von Schadstoffen in Prozessgasen
GB2609436A (en) * 2021-07-30 2023-02-08 Edwards Ltd Inlet head assembly
KR20260002882A (ko) * 2023-04-19 2026-01-06 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 배기 가스 처리 장치 및 배기 가스 처리 방법
CN121363740A (zh) * 2024-07-18 2026-01-20 北京北方华创微电子装备有限公司 点火装置和半导体工艺设备

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2360187C2 (de) * 1973-12-03 1985-07-11 Volvo Flygmotor AB, Trollhättan Verbrennungskammer für die Reinigung von Prozeßabgasen
DE7412444U (de) * 1974-04-09 1974-10-31 Jurid Gmbh Vorrichtung zum thermischen Nachverbrennen von staub- und/oder dampfhaltigen Abgasen
DE7929723U1 (de) * 1979-10-20 1980-02-07 Heraeus Quarzschmelze Gmbh, 6450 Hanau Vorrichtung zur verbrennung von schadgasen
US4801437A (en) * 1985-12-04 1989-01-31 Japan Oxygen Co., Ltd. Process for treating combustible exhaust gases containing silane and the like
AU598147B2 (en) * 1987-08-13 1990-06-14 Connell Wagner Pty Ltd Pulverised fuel burner
CA1303477C (en) * 1988-06-06 1992-06-16 Yoichiro Ohkubo Catalytic combustion device
US5123836A (en) * 1988-07-29 1992-06-23 Chiyoda Corporation Method for the combustion treatment of toxic gas-containing waste gas
US5217362A (en) * 1991-12-30 1993-06-08 Thompson Richard E Method for enhanced atomization of liquids
US5527984A (en) * 1993-04-29 1996-06-18 The Dow Chemical Company Waste gas incineration
DE4320044A1 (de) * 1993-06-17 1994-12-22 Das Duennschicht Anlagen Sys Verfahren und Einrichtung zur Reinigung von Abgasen
DE4418014A1 (de) * 1994-05-24 1995-11-30 E E T Umwelt Und Gastechnik Gm Verfahren zum Fördern und Vermischen eines ersten Fluids mit einem zweiten, unter Druck stehenden Fluid
DE19501914C1 (de) * 1995-01-23 1996-04-04 Centrotherm Elektrische Anlage Vorrichtung zur Reinigung von Abgasen
DE19631873C1 (de) 1996-08-07 1997-10-16 Das Duennschicht Anlagen Sys Einrichtung zur Reinigung von schadstoffhaltigen Abgasen in einer Brennkammer mit anschließender Wascheinrichtung
US6261524B1 (en) * 1999-01-12 2001-07-17 Advanced Technology Materials, Inc. Advanced apparatus for abatement of gaseous pollutants
US6524096B2 (en) * 2001-01-05 2003-02-25 Vincent R. Pribish Burner for high-temperature combustion
JP3864092B2 (ja) * 2002-01-10 2006-12-27 東京瓦斯株式会社 難燃性物質分解バーナ

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Publication number Publication date
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EP1517083B1 (de) 2008-01-23
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JP2005083745A (ja) 2005-03-31
JP4084338B2 (ja) 2008-04-30
DE10342692B4 (de) 2006-01-12
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DE10342692A1 (de) 2005-04-14

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