ATE409954T1 - Verfahren und vorrichtung zur lokalen flüssigkeitsbehandlung von einer substratoberfläche - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur lokalen flüssigkeitsbehandlung von einer substratoberfläche

Info

Publication number
ATE409954T1
ATE409954T1 AT00870135T AT00870135T ATE409954T1 AT E409954 T1 ATE409954 T1 AT E409954T1 AT 00870135 T AT00870135 T AT 00870135T AT 00870135 T AT00870135 T AT 00870135T AT E409954 T1 ATE409954 T1 AT E409954T1
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
liquid
substrate surface
liquid treatment
substrate
local liquid
Prior art date
Application number
AT00870135T
Other languages
English (en)
Inventor
Paul Mertens
Marc Meuris
Marc Heyns
Original Assignee
Imec Inter Uni Micro Electr
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Imec Inter Uni Micro Electr filed Critical Imec Inter Uni Micro Electr
Application granted granted Critical
Publication of ATE409954T1 publication Critical patent/ATE409954T1/de

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
    • H10P72/0402—Apparatus for fluid treatment
    • H10P72/0418—Apparatus for fluid treatment for etching
    • H10P72/0422—Apparatus for fluid treatment for etching for wet etching
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
    • H10P72/00—Handling or holding of wafers, substrates or devices during manufacture or treatment thereof
    • H10P72/04—Apparatus for manufacture or treatment
    • H10P72/0402—Apparatus for fluid treatment
    • H10P72/0406—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
    • H10P72/0411—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing

Landscapes

  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
  • Weting (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
AT00870135T 2000-06-19 2000-06-19 Verfahren und vorrichtung zur lokalen flüssigkeitsbehandlung von einer substratoberfläche ATE409954T1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP00870135A EP1168419B1 (de) 2000-06-19 2000-06-19 Verfahren und Vorrichtung zur lokalen Flüssigkeitsbehandlung von einer Substratoberfläche

Publications (1)

Publication Number Publication Date
ATE409954T1 true ATE409954T1 (de) 2008-10-15

Family

ID=8175768

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
AT00870135T ATE409954T1 (de) 2000-06-19 2000-06-19 Verfahren und vorrichtung zur lokalen flüssigkeitsbehandlung von einer substratoberfläche

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP1168419B1 (de)
AT (1) ATE409954T1 (de)
DE (1) DE60040386D1 (de)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2002101798A2 (en) 2001-06-12 2002-12-19 Verteq, Inc. Method of applying liquid to a megasonic apparatus for improved cleaning control
US7100304B2 (en) * 2001-06-12 2006-09-05 Akrion Technologies, Inc. Megasonic cleaner and dryer
TWI267405B (en) * 2004-07-20 2006-12-01 Sez Ag Fluid discharging device

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0712035B2 (ja) * 1989-04-20 1995-02-08 三菱電機株式会社 噴流式液処理装置
JPH02309638A (ja) * 1989-05-24 1990-12-25 Fujitsu Ltd ウエハーエッチング装置
US5271774A (en) * 1990-03-01 1993-12-21 U.S. Philips Corporation Method for removing in a centrifuge a liquid from a surface of a substrate
US5705223A (en) * 1994-07-26 1998-01-06 International Business Machine Corp. Method and apparatus for coating a semiconductor wafer
DE19622015A1 (de) * 1996-05-31 1997-12-04 Siemens Ag Verfahren zum Ätzen von Zerstörungszonen an einem Halbleitersubstratrand sowie Ätzanlage
JPH11350169A (ja) * 1998-06-10 1999-12-21 Chemitoronics Co ウエットエッチング装置およびウエットエッチングの方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP1168419B1 (de) 2008-10-01
EP1168419A1 (de) 2002-01-02
DE60040386D1 (de) 2008-11-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69832567D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Entfernen von einer Flüssigkeit von der Oberfläche eines rotierenden Substrats
DE60136661D1 (de) Vorrichtung zur Absaugung von Flüssigkeitsproben und Verfahren zur Vorortsanalyse der Formationsflüssigkeiten
ATE431230T1 (de) Verfahren und vorrichtung zur fluid-strahl- bildung
DE69938068D1 (de) Vorrichtung zur Zerstäubung von Flüssigkeiten und Verfahren zum Schneiden
DE60233415D1 (de) Vorrichtung und verfahren zur herstellung von mit kohlensäure versetztem quellwasser und von kohlensäurehaltigem wasser
DE60106727D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur reinigung mit bakteriophagen
DE69907878D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur elektrokoagulation von flüssigkeiten
DE69718253D1 (de) Vorrichtung zur Einspritzung von mit Luft zerstäubten Einzelstrahlen aus flüssigem Brennstoff
DE60139256D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur herstellung von flüssigen verabreichungsformen
DE69218271D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Plasmaätzung von Diamant
ATE535016T1 (de) Verfahren zur vorbereitung von halbleitersubstraten und zertrennung
DE69333846D1 (de) Verfahren zur mischung von bildern und vorrichtung hierzu.
DE69402042D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Verdampfung von flüssigen Reaktionsmitteln
DE60126601D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur herstellung von kohlensäurehaltigem wasser
DE50115255D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur behandlung von oberflächen mit hilfe eines glimmentladungs-plasmas
DE50112413D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur optischen inspektion von flaschen
DE69008818D1 (de) Vorrichtung und verfahren zur kontinuierlichen entfernung von sauerstoff aus flüssigkeitsströmen.
DE69316409D1 (de) Verfahren zur Transformierung eines Flüssigkeitsstromes in einen Gasstrom und Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens
DE50001601D1 (de) Verfahren zur Abscheidung von Chlorsilanen aus Gasströmen
ATE409954T1 (de) Verfahren und vorrichtung zur lokalen flüssigkeitsbehandlung von einer substratoberfläche
DE59901114D1 (de) Verfahren und vorrichtung zum verdampfen von flüssigem sauerstoff
DE60131897D1 (de) Verfahren und vorrichtung zur erzeugung von tröpfchen
DE69933931D1 (de) Vorrichtung und verfahren zur reinigung von giftgas
DE69114783D1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Erhöhung des hydrodynamischen Druckes von Flüssigkeitsstrahlen.
DE69932005D1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Regeneration von Medien zur Flüssigkeitsbehandlung

Legal Events

Date Code Title Description
RER Ceased as to paragraph 5 lit. 3 law introducing patent treaties