ATE426798T1 - Terahertzprufvorrichtung und prufverfahren - Google Patents

Terahertzprufvorrichtung und prufverfahren

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ATE426798T1
ATE426798T1 AT07105745T AT07105745T ATE426798T1 AT E426798 T1 ATE426798 T1 AT E426798T1 AT 07105745 T AT07105745 T AT 07105745T AT 07105745 T AT07105745 T AT 07105745T AT E426798 T1 ATE426798 T1 AT E426798T1
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Toshihiko Ouchi
Shintaro Kasai
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Canon Kk
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    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
    • G01N21/3581—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light using far infrared light; using Terahertz radiation

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