ATE535946T1 - Piezokeramischer mehrschichtaktor und verfahren zur herstellung eines piezokeramischen mehrschichtaktors - Google Patents

Piezokeramischer mehrschichtaktor und verfahren zur herstellung eines piezokeramischen mehrschichtaktors

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ATE535946T1
ATE535946T1 AT07003447T AT07003447T ATE535946T1 AT E535946 T1 ATE535946 T1 AT E535946T1 AT 07003447 T AT07003447 T AT 07003447T AT 07003447 T AT07003447 T AT 07003447T AT E535946 T1 ATE535946 T1 AT E535946T1
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AT
Austria
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piezoceramic
layers
green
layer actuator
piezoceramic multi
Prior art date
Application number
AT07003447T
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Bernhard Doellgast
Masahiro Inagaki
Harald Johannes Kastl
Atsushi Ochi
Takami Sakamoto
Carsten Schuh
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Siemens Ag
Kyocera Corp
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101978519B (zh) * 2008-01-23 2013-12-18 埃普科斯股份有限公司 压电多层部件
EP2245679B1 (de) * 2008-01-23 2015-07-29 Epcos AG Piezoelektrisches vielschichtbauelement
WO2009092583A1 (de) * 2008-01-23 2009-07-30 Epcos Ag Piezoelektrisches vielschichtbauelement
CN102473834A (zh) * 2009-07-28 2012-05-23 京瓷株式会社 层叠型压电元件及使用该层叠型压电元件的喷射装置以及燃料喷射系统
DE102010008775A1 (de) * 2010-02-22 2011-08-25 Epcos Ag, 81669 Piezoelektrisches Vielschichtbauelement und Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Vielschichtbauelements
WO2013147196A1 (ja) * 2012-03-30 2013-10-03 京セラ株式会社 圧電アクチュエータ、インクジェットヘッド及び圧電アクチュエータの製造方法

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4932119A (en) * 1989-03-28 1990-06-12 Litton Systems, Inc. Method of making standard electrodisplacive transducers for deformable mirrors
JPH04167580A (ja) * 1990-10-31 1992-06-15 Brother Ind Ltd 積層圧電アクチュエータ素子
US5089739A (en) * 1990-03-19 1992-02-18 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Laminate type piezoelectric actuator element
US5406164A (en) * 1993-06-10 1995-04-11 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Multilayer piezoelectric element
MY120414A (en) * 1995-10-03 2005-10-31 Tdk Corp Multilayer ceramic capacitor
JP2002054526A (ja) * 2000-05-31 2002-02-20 Denso Corp インジェクタ用圧電体素子
DE10234787C1 (de) * 2002-06-07 2003-10-30 Pi Ceramic Gmbh Keramische Tec Verfahren zur Herstellung eines monolithischen Vielschichtaktors, monolithischer Vielschichtaktor aus einem piezokeramischen oder elektrostriktiven Material
DE10307825A1 (de) * 2003-02-24 2004-09-09 Epcos Ag Elektrisches Vielschichtbauelement und Schichtstapel
JP2004297041A (ja) * 2003-03-12 2004-10-21 Denso Corp 積層型圧電体素子
DE102004031404B4 (de) * 2004-06-29 2010-04-08 Siemens Ag Piezoelektrisches Bauteil mit Sollbruchstelle und elektrischem Anschlusselement, Verfahren zum Herstellen des Bauteils und Verwendung des Bauteils
DE102004031402A1 (de) * 2004-06-29 2006-02-09 Siemens Ag Piezoelektrisches Bauteil mit Sollbruchstelle, Verfahren zum Herstellen des Bauteils und Verwendung des Bauteils
JP4706209B2 (ja) * 2004-08-30 2011-06-22 株式会社デンソー 積層型圧電体素子及びその製造方法並びに導電性接着剤
DE102004050803A1 (de) * 2004-10-19 2006-04-20 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor
ATE538502T1 (de) * 2005-02-15 2012-01-15 Murata Manufacturing Co Mehrschichtiges piezoelektrisches bauelement
DE102005015112B4 (de) * 2005-04-01 2007-05-24 Siemens Ag Monolithisches piezoelektrisches Bauteil mit mechanischer Entkopplungsschicht, Verfahren zum Herstellen des Bauteils und Verwendung des Bauteils
DE102005026717B4 (de) * 2005-06-09 2016-09-15 Epcos Ag Piezoelektrisches Vielschichtbauelement
WO2007012485A1 (de) * 2005-07-26 2007-02-01 Siemens Aktiengesellschaft Monolithischer piezoaktor mit änderung der elektrodenstruktur im übergangsbereich sowie verwendung des piezoaktors
JP4358220B2 (ja) * 2006-11-21 2009-11-04 Ｔｄｋ株式会社 積層型圧電素子
JP5087914B2 (ja) * 2006-12-06 2012-12-05 Ｔｄｋ株式会社 積層型圧電素子
US20090071371A1 (en) * 2007-09-18 2009-03-19 College Of William And Mary Silicon Oxynitride Coating Compositions
JP5187489B2 (ja) * 2007-09-20 2013-04-24 セイコーエプソン株式会社 アクチュエータ装置の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法

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