ATE543117T1 - Immersionsobjektivlinse, zurückhaltemechanismus für ein immersionsmedium und herstellungsverfahren dafür - Google Patents

Immersionsobjektivlinse, zurückhaltemechanismus für ein immersionsmedium und herstellungsverfahren dafür

Info

Publication number
ATE543117T1
ATE543117T1 AT05710206T AT05710206T ATE543117T1 AT E543117 T1 ATE543117 T1 AT E543117T1 AT 05710206 T AT05710206 T AT 05710206T AT 05710206 T AT05710206 T AT 05710206T AT E543117 T1 ATE543117 T1 AT E543117T1
Authority
AT
Austria
Prior art keywords
immersion
immersion medium
retention mechanism
production method
medium
Prior art date
Application number
AT05710206T
Other languages
English (en)
Inventor
Mitsuo Harada
Akihiro Namba
Morinao Fukuoka
Original Assignee
Olympus Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Olympus Corp filed Critical Olympus Corp
Application granted granted Critical
Publication of ATE543117T1 publication Critical patent/ATE543117T1/de

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/33—Immersion oils, or microscope systems or objectives for use with immersion fluids
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49826—Assembling or joining
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T436/00—Chemistry: analytical and immunological testing
    • Y10T436/25—Chemistry: analytical and immunological testing including sample preparation

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Lenses (AREA)
  • Eyeglasses (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
AT05710206T 2004-02-16 2005-02-15 Immersionsobjektivlinse, zurückhaltemechanismus für ein immersionsmedium und herstellungsverfahren dafür ATE543117T1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004038500 2004-02-16
PCT/JP2005/002255 WO2005078503A1 (ja) 2004-02-16 2005-02-15 液浸対物レンズ、液浸媒質の保持機構及びその製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
ATE543117T1 true ATE543117T1 (de) 2012-02-15

Family

ID=34857809

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
AT05710206T ATE543117T1 (de) 2004-02-16 2005-02-15 Immersionsobjektivlinse, zurückhaltemechanismus für ein immersionsmedium und herstellungsverfahren dafür

Country Status (5)

Country Link
US (2) US8465708B2 (de)
EP (2) EP1717628B1 (de)
JP (3) JP4587960B2 (de)
AT (1) ATE543117T1 (de)
WO (1) WO2005078503A1 (de)

Families Citing this family (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1717628B1 (de) 2004-02-16 2012-01-25 Olympus Corporation Immersionsobjektivlinse, zurückhaltemechanismus für ein immersionsmedium und herstellungsverfahren dafür
US8199407B2 (en) 2006-09-07 2012-06-12 Leica Microsystems Cms Gmbh Immersion objective, apparatus for forming an immersion film and method
NL1035908A1 (nl) 2007-09-25 2009-03-26 Asml Netherlands Bv Lithographic apparatus and device manufacturing method.
JP2012078439A (ja) * 2010-09-30 2012-04-19 Olympus Corp 液浸対物レンズ及びそれを用いた倒立顕微鏡
US20140129941A1 (en) * 2011-11-08 2014-05-08 Panasonic Corporation Information display processing device
JP2015529858A (ja) * 2012-09-13 2015-10-08 ブランディーズ・ユニバーシティＢｒａｎｄｅｉｓ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ 低温超分解能蛍光顕微鏡法および他の用途のための冷却システムおよび方法
TWI501334B (zh) * 2013-06-04 2015-09-21 亞亞科技股份有限公司 浸潤液體補充裝置及補充方法與具有浸潤液體補充裝置之晶圓切割道檢測機
DE102013011544A1 (de) * 2013-07-11 2015-01-15 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Vorrichtung zum Ausbilden eines Immersionfilmes
CN106471412B (zh) * 2014-03-11 2020-04-21 Dcg系统有限公司 自校准的悬浮固体浸没透镜端部
DE102014003684B4 (de) * 2014-03-14 2024-02-29 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Beenden der Immersion an einem Mikroskop
GB2541308B (en) * 2014-05-29 2021-05-19 Hitachi High Tech Corp Microscope observation container and observation device
TWI606529B (zh) * 2016-11-02 2017-11-21 亞亞科技股份有限公司 Lens housing assembly for wafer inspection equipment
WO2019016048A1 (en) * 2017-07-17 2019-01-24 Novartis Ag DIP DECK FOR MICROSCOPE, MICROSCOPE, AND METHOD FOR MICROSCOPIC IMAGING SAMPLE
DE102017119094A1 (de) 2017-08-21 2019-02-21 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Scannende Immersionsmikroskopie
DE102017119093A1 (de) 2017-08-21 2019-02-21 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Immersionsmikroskopie
DE102017119095B4 (de) 2017-08-21 2025-02-06 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Mikroskopobjektiv und Mikroskop mit einem solchen Objektiv
DE102017217192A1 (de) 2017-09-27 2019-03-28 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Immersionsmatrix, dessen Verwendung und Immersionsvorrichtung
EP3807922A4 (de) 2018-06-18 2022-03-23 Fluidigm Canada Inc. Hochauflösende bildgebungsvorrichtung und verfahren
US12001003B2 (en) 2018-06-27 2024-06-04 Carnegie Mellon University Immersion front-end lens system
FR3086067A1 (fr) 2018-09-18 2020-03-20 Centre National De La Recherche Scientifique Accessoire amovible de collecte d'un surplus de liquide d'immersion pour un objectif a immersion inverse.
US10948707B2 (en) * 2019-02-05 2021-03-16 Molecular Devices, Llc Liquid immersion microscope objective assembly and related systems and methods
DE102019108611B3 (de) * 2019-04-02 2020-08-06 Leica Microsystems Cms Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Zuführen eines Immersionsmediums und Objektiv mit einer Zuführvorrichtung
CN110187490A (zh) * 2019-04-30 2019-08-30 宁波永新光学股份有限公司 一种提高显微镜物镜分辨率的方法
CN110286016B (zh) * 2019-07-11 2023-08-04 云南大学 一种活体实蝇类昆虫形状不规则触角定向固定装置及其制作方法
DE102020111715A1 (de) 2020-04-29 2021-11-04 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Immersionsobjektiv und verfahren zur immersionsmikroskopie
DE102020111716A1 (de) 2020-04-29 2021-11-04 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Immersionsnachrüstset und verfahren zum nachrüsten eines immersionsobjektivs
CN114002839B (zh) * 2021-09-29 2024-06-25 深圳高性能医疗器械国家研究院有限公司 一种可倒置使用的浸液物镜及具有该浸液物镜的显微镜
JP7760415B2 (ja) * 2022-03-17 2025-10-27 浜松ホトニクス株式会社 冷却ユニット、対物レンズモジュール及び半導体検査装置
WO2024145207A1 (en) * 2022-12-27 2024-07-04 The Jackson Laboratory Microscopy cap
TW202505656A (zh) * 2023-07-20 2025-02-01 亞亞科技股份有限公司 對晶圓切割後或排列後缺陷之檢測裝置

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3837731A (en) 1973-06-22 1974-09-24 Corning Glass Works Oil dispenser for microscope objective
DD221563A1 (de) * 1983-09-14 1985-04-24 Mikroelektronik Zt Forsch Tech Immersionsobjektiv fuer die schrittweise projektionsabbildung einer maskenstruktur
US4974952A (en) * 1988-03-31 1990-12-04 Focht Daniel C Live cell chamber for microscopes
JP3203698B2 (ja) * 1991-09-02 2001-08-27 株式会社ニコン 顕微鏡の液浸対物レンズ及び防水キャップ
US5719700A (en) * 1991-10-11 1998-02-17 L'oreal Apparatus for in vivo observation of the microscopic structure of the skin or of a similar tissue
US5708531A (en) * 1994-09-13 1998-01-13 Nikon Corporation Objective lens system
US6071748A (en) 1997-07-16 2000-06-06 Ljl Biosystems, Inc. Light detection device
ES2520140T3 (es) * 1999-02-17 2014-11-11 Lucid, Inc. Portador de muestras de tejido
JP4564664B2 (ja) * 1999-02-17 2010-10-20 ルーシド インコーポレーテッド 保持された組織検体の光学的薄断片を形成するカセット
DE10123027B4 (de) * 2001-05-11 2005-07-21 Evotec Oai Ag Vorrichtung zur Untersuchung chemischer und/oder biologischer Proben
JP2003185926A (ja) * 2001-12-20 2003-07-03 Nikon Corp 安全装置付液浸対物レンズ
DE20205080U1 (de) * 2002-03-30 2002-06-13 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh, 68165 Mannheim Immersionsobjektiv und Abschirmelement
DE10333326B4 (de) * 2003-07-23 2007-03-15 Evotec Technologies Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Untersuchung chemischer und/oder biologischer Proben sowie Objektivaufsatz
JP4253592B2 (ja) * 2004-01-06 2009-04-15 オリンパス株式会社 液浸対物レンズ、蛍光分析装置および倒立型顕微鏡。
JP2005195878A (ja) * 2004-01-07 2005-07-21 Olympus Corp 対物レンズ、光分析装置、光分析装置の運転方法および顕微鏡
EP1717628B1 (de) 2004-02-16 2012-01-25 Olympus Corporation Immersionsobjektivlinse, zurückhaltemechanismus für ein immersionsmedium und herstellungsverfahren dafür

Also Published As

Publication number Publication date
EP2256535A1 (de) 2010-12-01
WO2005078503A1 (ja) 2005-08-25
EP1717628A1 (de) 2006-11-02
EP2256535B1 (de) 2012-07-04
JP2010217930A (ja) 2010-09-30
EP1717628A4 (de) 2010-03-03
EP1717628B1 (de) 2012-01-25
JP2010262306A (ja) 2010-11-18
US20060275918A1 (en) 2006-12-07
US20100315705A1 (en) 2010-12-16
US8465708B2 (en) 2013-06-18
JPWO2005078503A1 (ja) 2007-10-18
US8465709B2 (en) 2013-06-18
JP5107398B2 (ja) 2012-12-26
JP4587960B2 (ja) 2010-11-24

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1717628A4 (de) Immersionsobjektivlinse, zurückhaltemechanismus für ein immersionsmedium und herstellungsverfahren dafür
DE602004016048D1 (de) Lithografieobjektiv mit auswechselvorrichtung für ein optisches element und herstellungsverfahren mittels dieses lithografieobjektives
ATE523772T1 (de) Reagenzbehälter und objektträgerreaktion und halteablage sowie betriebsverfahren
DE50300685D1 (de) Blutanalysegerät und stechvorrichtung zur verwendung bei der blutanalyse
ATE178812T1 (de) Automatisches einfärbungsverfahren und - vorrichtung
ATE463270T1 (de) Spritzenfassung für eine medizinische flüssigkeitsinjektionsvorrichtung
DE602007011242D1 (de) Docht und Dochthalterung für ein piezoelektrisches Sprühgerät
NO20070783L (no) Detektor for a skille mellom faser i en flerfase fluidblanding.
ATE453131T1 (de) Mikroskopvorrichtung
DE602006017754D1 (de) Riemenscheibenspannvorrichtung für einen riemenantrieb zur verwendung in kontakt mit öl
WO2008115372A8 (en) Apparatus and methods for keeping immersion fluid adjacent to an optical assembly during wafer exchange in an immersion lithography machine
DK2023977T3 (da) Apparat til tilførsel af en væske til en patients krop
DE602004017074D1 (de) Testelemente-Halter mit Sonden-Führung für einen Analysator
EP2292332A3 (de) ...Vorrichtung zur Kommunikation mit einem Speicheretikett und Verwendung dafür
DE602005016752D1 (de) Lötvorrichtung mit einer Patronenlötspitze und Batteriepatronen
ATE538632T1 (de) Elektronischer apparat mit einer kühlbaugruppe zum kühlen eines vom verbraucher einlegbaren moduls und kühlbaugruppe zur kühlung eines solchen moduls
WO2004100815A3 (de) Operationslampe mit integriertem optischem beobachtungsgerät
ATE364098T1 (de) Vorrichtung zum verdampfen von materialien
DE502004009281D1 (de) Mikroskop mit evaneszenter probenbeleuchtung
ATE509699T1 (de) Thermocycler
ATE544068T1 (de) Analysesystem mit testelementhalter
ZA200606022B (en) Drip chamber with integrated flow regulator for medical lines
MY146880A (en) Method for drying a substrate
ATE238879T1 (de) Spannvorrichtung
DE502006000901D1 (de) Aufnahme für ein Schleifwerkzeug, Schleifwerkzeug und Tragkörper für ein Schleifwerkzeug