ATE549614T1 - Verfahren zur optischen kennzeichnung - Google Patents

Verfahren zur optischen kennzeichnung

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ATE549614T1 AT10169992T AT10169992T ATE549614T1 AT E549614 T1 ATE549614 T1 AT E549614T1 AT 10169992 T AT10169992 T AT 10169992T AT 10169992 T AT10169992 T AT 10169992T AT E549614 T1 ATE549614 T1 AT E549614T1
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AT
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optical response
porous material
determined
geometrical
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AT10169992T
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Christophe Licitra
Maxime Besacier
Regis Bouyssou
Thierry Chevolleau
Kodadi Mohamed El
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Commissariat Energie Atomique
Centre Nat Rech Scient
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/21Polarisation-affecting properties
    • G01N21/211Ellipsometry
    • GPHYSICS
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    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956Inspecting patterns on the surface of objects
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/08Investigating permeability, pore-volume, or surface area of porous materials
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