ATE61159T1 - Verfahren zur herstellung von modulen, aufgestapelte integrierte schaltungen enthalten. - Google Patents

Verfahren zur herstellung von modulen, aufgestapelte integrierte schaltungen enthalten.

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ATE61159T1
ATE61159T1 AT85906123T AT85906123T ATE61159T1 AT E61159 T1 ATE61159 T1 AT E61159T1 AT 85906123 T AT85906123 T AT 85906123T AT 85906123 T AT85906123 T AT 85906123T AT E61159 T1 ATE61159 T1 AT E61159T1
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AT
Austria
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integrated circuits
stacked integrated
modules containing
containing stacked
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AT85906123T
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Robert J Belanger
Alan G Bisignano
Original Assignee
Irvine Sensors Corp
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US06/674,096 US4617160A (en) 1984-11-23 1984-11-23 Method for fabricating modules comprising uniformly stacked, aligned circuit-carrying layers
PCT/US1985/002298 WO1986003338A1 (en) 1984-11-23 1985-11-20 Apparatus and method for fabricating modules comprising stacked circuit-carrying layers
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