ATE61888T1 - Integrierte durchflussmesser und verfahren zu ihrer herstellung. - Google Patents

Integrierte durchflussmesser und verfahren zu ihrer herstellung.

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Publication number: ATE61888T1
Authority: AT; Austria
Prior art keywords: manufacture; processes; flowmeters; integrated; integrated flowmeters
Prior art date: 1985-05-21

Application number

AT86903655T

Other languages

English (en)

Inventor

Nils Goeran Stemme

Original Assignee

Swema Instr Ab

Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)

1985-05-21

Filing date

1986-05-20

Publication date

1991-04-15

1985-05-21 Priority claimed from SE8502479A external-priority patent/SE447318B/sv

1986-05-20 Application filed by Swema Instr Ab filed Critical Swema Instr Ab

1991-04-15 Application granted granted Critical

1991-04-15 Publication of ATE61888T1 publication Critical patent/ATE61888T1/de

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238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title 1
238000000034 method Methods 0.000 title 1

AT86903655T 1985-05-21 1986-05-20 Integrierte durchflussmesser und verfahren zu ihrer herstellung. ATE61888T1 (de)

Applications Claiming Priority (3)

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SE8502479A SE447318B (sv)	1985-05-21	1985-05-21	Integrerad halvledarkrets med fog av termiskt isolerande fogemne, sett att framstella kretsen samt dess anvendning i en flodesmetare
EP86903655A EP0261123B1 (de)	1985-05-21	1986-05-20	Integrierte durchflussmesser und verfahren zu ihrer herstellung
PCT/SE1986/000233 WO1986007192A1 (en)	1985-05-21	1986-05-20	Integrated semiconductor circuit and method for producing it, and use of such a circuit for providing a flow meter

Publications (1)

Publication Number	Publication Date
ATE61888T1 true ATE61888T1 (de)	1991-04-15

Family

ID=27229750

Family Applications (1)

Application Number	Title	Priority Date	Filing Date
AT86903655T ATE61888T1 (de)	1985-05-21	1986-05-20	Integrierte durchflussmesser und verfahren zu ihrer herstellung.

Country Status (1)

Country	Link
AT (1)	ATE61888T1 (de)

1986
- 1986-05-20 AT AT86903655T patent/ATE61888T1/de active

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