ATE70662T1 - Aluminium-metall-silicid-verbindungsstruktur fuer integrierte schaltungen und deren herstellungsverfahren. - Google Patents

Aluminium-metall-silicid-verbindungsstruktur fuer integrierte schaltungen und deren herstellungsverfahren.

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ATE70662T1
ATE70662T1 AT83903284T AT83903284T ATE70662T1 AT E70662 T1 ATE70662 T1 AT E70662T1 AT 83903284 T AT83903284 T AT 83903284T AT 83903284 T AT83903284 T AT 83903284T AT E70662 T1 ATE70662 T1 AT E70662T1
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integrated circuits
metal silicide
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aluminum metal
compound structure
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AT83903284T
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Donald L Wollesen
Craig S Sander
Jacob D Haskell
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Advanced Micro Devices Inc
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