ATE75980T1 - Verfahren zur herstellung von feinstrukturkoerpern. - Google Patents

Verfahren zur herstellung von feinstrukturkoerpern.

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ATE75980T1
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manufacture
processes
fine structures
fine
structures
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AT88902400T
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English (en)
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Klaus Schubert
Wilhelm Bier
Gerd Linder
Peter Schmid
Peter Bichler
Winfried Brunner
Wolfgang Simon
Original Assignee
Kernforschungsz Karlsruhe
Messerschmitt Boelkow Blohm
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