BE1007005A3 - Inrichting voor het bepalen van het vermogen van een energieflux. - Google Patents

Inrichting voor het bepalen van het vermogen van een energieflux. Download PDF

Info

Publication number
BE1007005A3
BE1007005A3 BE9300373A BE9300373A BE1007005A3 BE 1007005 A3 BE1007005 A3 BE 1007005A3 BE 9300373 A BE9300373 A BE 9300373A BE 9300373 A BE9300373 A BE 9300373A BE 1007005 A3 BE1007005 A3 BE 1007005A3
Authority
BE
Belgium
Prior art keywords
laser beam
measuring
energy flux
window
position detector
Prior art date
Application number
BE9300373A
Other languages
English (en)
Inventor
Tichelen Paul Jos Luc Van
Original Assignee
Vito
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Vito filed Critical Vito
Priority to BE9300373A priority Critical patent/BE1007005A3/nl
Application granted granted Critical
Publication of BE1007005A3 publication Critical patent/BE1007005A3/nl

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/02Testing optical properties
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61BDIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B18/00Surgical instruments, devices or methods for transferring non-mechanical forms of energy to or from the body
    • A61B18/18Surgical instruments, devices or methods for transferring non-mechanical forms of energy to or from the body by applying electromagnetic radiation, e.g. microwaves
    • A61B18/20Surgical instruments, devices or methods for transferring non-mechanical forms of energy to or from the body by applying electromagnetic radiation, e.g. microwaves using laser
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/0096Portable laser equipment, e.g. hand-held laser apparatus
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/70Auxiliary operations or equipment
    • B23K26/702Auxiliary equipment
    • B23K26/705Beam measuring devices
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/42Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
    • G01J1/4257Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to monitoring the characteristics of a beam, e.g. laser beam, headlamp beam
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K17/00Measuring quantity of heat
    • G01K17/003Measuring quantity of heat for measuring the power of light beams, e.g. laser beams
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61BDIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B18/00Surgical instruments, devices or methods for transferring non-mechanical forms of energy to or from the body
    • A61B2018/00636Sensing and controlling the application of energy

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Surgery (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Heart & Thoracic Surgery (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Otolaryngology (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Medical Informatics (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)

Abstract

Inrichting voor het bepalen van het vermogen van een energieflux, in het bijzonder van een hoog vermogen van een hoog vermogen laserstraal (1), daardoor gekenmerkt dat ze een meetlaserstraalbron (4) bevat, een meetcel (2) met een venster (3) dat dwars op de energieflux gericht is en bijdoorgang van de energieflux aan zijn oppervlak een klein gedeelte van de energieflux absorbeert, ten minste één optische vezel (6) tussen de meetlaserstraalbron (4) en de meetcel (2), die de meetlaserstraal (12) op het oppervlak van het venster (3) richt onder een hoek waarbij deze meetlaserstraal (12) wordt gereflekteerd, een positiedetektor (5) en een optische vezelbundel (7) tussen de positiedektor (5) en de meetcel (2), voor het opvangen van de gereflekteerde meetlaserstraal (14) waarvan de reflektiehoek afhangt van het vermogen van de energieflux.

Description


  Inrichting voor het bepalen van het vermogen van een energieflux.

  
De uitvinding heeft betrekking op een inrichting voor het bepalen van het vermogen van een energieflux, in het bijzonder van een hoog vermogen laserstraal.

  
Meer en meer wordt gebruik gemaakt van hoog vermogen laserstralen die via een optische vezel over grote afstanden worden getransporteerd, bij voorbeeld naar zogenaamde YAG lasapparaten of lasrobots. Het ontstaan van breuken of lekken in de optische vezel kan bij dergelijke hoge vermogens gevaarlijk zijn zodat bijzondere maatregelen worden genomen om deze breuken of lekken op te sporen. Een van de mogelijke beveiligingen zou erin kunnen bestaan het vermogen van de laserstraal aan het begin en op het einde van de optische vezel te bepalen en de vermogens te vergelijken. Een verschil in vermogen kan op een breuk wijzen.

  
Tot nogtoe zijn geen inrichtingen bekend die tegelijk voldoende kompakt zijn om in bestaande laserinstallaties te worden ingebouwd , een voldoend snelle antwoordtijd hebben en ook op hoge temperaturen van meer dan 200[deg.]C kunnen werken.

  
De uitvinding heeft als doel een dergelijke inrichting te verschaf f en .

  
Dit doel wordt volgens de uitvinding bereikt doordat de inrichting een meetlaserstraalbron bevat, een meetcel met een venster dat dwars op de energieflux gericht is en bij doorgang van de energieflux aan zijn oppervlak een klein gedeelte van de energieflux absorbeert, ten minste één optische vezel tussen de meetlaserstraalbron en de meetcel, die de meetlaserstraal op het oppervlak van het venster richt onder een hoek waarbij deze meetlaserstraal wordt gereflekteerd, een positiedetektor en een optische vezelbundel tussen de positiedetektor en de meetcel, voor het opvangen van de gereflekteerde meetlaserstraal waarvan de reflektiehoek afhangt van het vermogen van de energieflux.

  
De uitvinding maakt gebruik van het gekende fotothermische effekt. De absorptie van de energieflux aan het oppervlak van het venster zorgt voor een tempertuursgradient. Het is gekend dat de reflektiehoek van een laserstraal die onder een hoek op dit oppervlak gericht wordt afhangt van deze temperatuursgradient. In "Rev.Sci.Instrum." 57(6), Juni
1986 van American Institute of Physics, blz. 1126-1128 wordt in een artikel van F. Charbonnier en D. Fournier een experimentele meetinrichting beschreven voor het meten van deze fotothermische deflektie.

   Deze meetinrichting wordt gebruikt voor het thermisch karakterizeren of de niet-destruktieve evaluatie van een staal en deze inrichting maakt dan ook geen gebruik van een venster, maar het te karakterizeren of te evalueren staal wordt in de meetcel geplaatst en de hoog vermogen laserstraal wordt op het staal gericht en er volledig door geabsorbeerd. Verder zijn de meetlaserstraalbron en de positiedetektor in de meetcel geplaatst en wordt geen gebruik gemaakt van optische vezels. Daardoor is deze experimentele meetcel niet alleen zeer omvangrijk, maar daarenboven niet bruikbaar bij hoge temperaturen.

  
Volgens de uitvinding kunnen door de optische vezels de meetlaserstraalbron en de positiedetektor op voldoende afstand van het oppervlak van het venster, hetzij in de meetcel hetzij bij voorkeur op afstand daarvan, worden geplaatst.

  
In een bijzondere uitvoeringsvorm van de uitvinding, is de energieflux een hoog vermogen laserstraal en is de meetlaserstraalbron een bron die een meetlaserstraal met een andere golflengte dan deze van de hoog vermogen laserstraal, uitzendt.

  
In een merkwaardige uitvoeringsvorm van de uitvinding, is in de meetcel tegenover de optische vezelbundel een lens gemonteerd.

  
De meetlaserstraalbron is doelmatig een laserdiode. De positiedetektor is doelmatig een vierkwadrantsfotodiode of een CCD komponent.

  
Op de meetlaserstraalbron kan een modulator zijn aangesloten om de meetlaserstraal te moduleren om het aandeel van de ruissignalen te verminderen.

  
Andere bijzonderheden en voordelen van de uitvinding zullen blijken uit de hier volgende beschrijving van een inrichting voor het bepalen van het vermogen van een energieflux, volgens de uitvinding. Deze beschrijving wordt enkel als voorbeeld gegeven en beperkt de uitvinding niet. De verwijzingscijfers betreffen de hieraan toegevoegde figuur, die schematisch een doorsnede weergeeft van een inrichting volgens de uitvinding.

  
De inrichting voor het bepalen van het vermogen van een hoog vermogen laserstraal 1 weergegeven in de figuur, bevat in hoofdzaak een meetcel 2 met een venster 3, en op een afstand daarvan een omzetter die een meetlaserstraalbron 4 en een positiedetektor 5 bevat die respektievelijk door middel van een optische vezel 6 en een optische vezelbundel 7 op de meetcel 2 aansluiten.

  
De meetcel 2 bestaat uit een behuizing 8 waarin het venster 3 is gemonteerd. Dit venster 3 bestaat uit een doorzichtig medium 9 dat aan de zijde waarlangs de laserstraal 1 opvalt, bekleed is met een deklaag 10 die de te meten laserstraal 1 doorlaat maar bij doorgang van deze laserstraal 1 een zeer klein deel ervan absorbeert. Het een weinig absorberende oppervlak is loodrecht gericht op de binnenvallende laserstraal 1.

  
De behuizing 8 is van een doorgang 11 voorzien voor de optische vezel 6, die zo gericht is dat de invallende meetlaserstraal 12, die uit het einde van de optische vezel 6 gestraald wordt, onder een zulkdanige hoek op de deklaag
10 valt dat ze door deze deklaag 10 volledig wordt gereflekteerd.

  
De behuizing 8 is ook van een doorgang 13 voorzien waarin een einde van de optische vezelbundel 7 steekt. Door deze doorgang 13 is dit einde van de optische vezelbundel 7 zo gericht dat de gereflekteerde meetlaserstraal 14 door deze bundel kan opgevangen worden. Voor dit einde is in de meetcel 2 een lens 15 .gemonteerd en tussen deze lens 15 en het venster 3 een selektieve filter 16 voor de gereflekteerde meetlaserstraal 14. Deze filter 16 kan de beïnvloeding van de meetlaserstraal 14 door strooilicht, bijvoorbeeld van de te meten laserstraal 1, verminderen.

  
De optische vezelbundel 7 moet coherent zijn, dit wil zeggen dat er systematisch verband moet bestaan tussen de plaats waar de gereflekteerde meetlaserstraal 14 invalt op de vezelbundel en de plaats waar ze terug uit de vezelbundel treedt. 

  
Als meetlaserstraalbron 4 kan een laserdiode worden gebruikt. De golflengte van de meetlaserstraal 12 verschilt bijvoorkeur van de golflengte van de te meten laserstraal

  
1. Hierdoor kan de beïnvloeding van de meetlaserstraal 12 door de te meten laserstraal 1 worden vermeden indien de filter 16 aanwezig is. De meetlaserstraal 12 kan eventueel worden gemoduleerd door de op de bron 4 aangesloten modulator 17 om het aandeel van ruissignalen te verminderen.

  
Als positiedetektor 5 kan een vierkwadrantsfotodiode of een CCD komponent worden gebruikt. De absorptie van een klein gedeelte van de te meten hoog vermogen laserstraal 1 op de deklaag 10 veroorzaakt een temperatuursgradiënt aan het oppervlak van het venster 3. De reflektiehoek van de gereflekteerde meetlaserstraal 14 hangt af van deze temperatuursgradiënt. Bij verandering van energieflux van de laserstraal 1 verandert dus de richting van de gereflekteerde meetlaserstraal 14. Deze verandering van richting wordt nog versterkt door de lens. De laserlichtverdeling over de optische vezels van de vezelbundel 7 hangt dus ook af van de richting van de meetlaserstraal 14 en verandert dus bij een verandering van de reflektiehoek. Door de positiedetektor kan de hoek van de reflektie worden bepaald, waaruit dan het vermogen van de te meten laserstraal 1 kan worden afgeleid.

  
Doordat de laserstraal 1 loodrecht op het venster 3 valt is er geen invloed van de polarisatieverdraaiing van de te meten hoog vermogen laserstraal 1. Deze loodrechte inval is wenselijk omdat bij transport van een gepolariseerde laserstraal door een vezel, de polarisatie bij buiging van de vezel kan veranderen hetgeen aanleiding zou kunnen geven tot een verandering van het meetsignaal. Bij schuine inval van een gepolariseerde laserstraal op een oppervlak kunnen er ook verschillen in lichtbreking optreden afhankelijk van de polarisatie.

  
De hiervoor beschreven inrichting laat een kompakte inbouw toe aangezien enkel de meetcel, die zeer kompakt is, in de te meten meetstraal moet worden gemonteerd en de meetlaserstraalbron 4 en de positiedetektor 5 niet samen met de meetcel 2 moeten worden gemonteerd. De verbinding, gevormd door de optische vezel 6 en de optische vezelbundel 7, tussen de meetcel 2 en de op een afstand daarvan gemonteerde meetlaserstraalbron 4 en positiedetektor 5 is buigbaar hetgeen de inbouw van de meetcel 2 vergemakkelijkt. Deze bron 4 en positiedetektor 5 bevinden zich hierdoor ook op een lagere temperatuur dan de meetcel 2 waarin de temperatuur tot 200 graden Celsius kan oplopen, een temperatuur waartegen de meetlaserstraalbron 4 en de positiedetektor 5 niet bestand zijn.

  
Door gebruik te maken van het fotothermisch effekt heeft de inrichting een zeer snelle antwoordtijd. Een dergelijke snelle antwoordtijd is bijvoorbeeld noodzakelijk om snel een eventuele breuk in een optische vezel gebruikt voor het transport van een hoog vermogen laserstraal te kunnen detekteren.

  
De beveiliging van het transport van een dergelijke laserstraal is één van de mogelijke toepassingen van de hiervoor beschreven inrichting voor het bepalen van een vermogen van een energieflux. Een dergelijke inrichting wordt gemonteerd aan de ingang en de uitgang van de optische vezel en de door de inrichtingen bepaalde vermogens worden met elkaar vergeleken. In geval van een verschil, wat kan wijzen op een breuk, wordt alarm gegeven. 

  
Andere toepassingen kunnen bijvoorbeeld worden gevonden door de gemeten vermogeninformatie op te nemen in het kontrole- of beheersysteem van de laserstraal 1.

  
Hierbij kan worden rekening gehouden met de verandering van golfmodes van de hoog vermogen laserstraal tussen de ingang en de uitgang. Deze veranderingen kunnen ontstaan door buiging van de optische vezel. Alhoewel men bij hoog vermogen laserstralen, voor bijvoorbeeld lasapparaten, meestal over multimodelaserstralen beschikt, kan de nauwkeurigheid van de hiervoor beschreven inrichting voor het bepalen van het vermogen worden verhoogd door de meting meer gelijkmatig over de doorsnede van de te meten laserstraal 1 te integreren. Dit kan konkreet door als meetlaserstraal 12 een relatief brede bundel te gebruiken, of zelfs in een variante, tegelijk meerdere meetlaserstralen 12 tegelijk op het venster 3 te richten.

  
De uitvinding is geenszins beperkt tot de hiervoor beschreven uitvoeringsvormen en binnen het raam van de oktrooiaanvrage kunnen aan de beschreven uitvoeringsvormen vele veranderingen worden aangebracht, ondermeer wat betreft de vorm, de samenstelling, de schikking en het aantal van de onderdelen die voor het verwezenlijken van de uitvinding worden gebruikt.

Claims (8)

    Konklusies.
  1. (1) en de meetlaserstraalbron (4) een bron is die een meetlaserstraal (12) met een andere golflengte dan deze van de hoog vermogen laserstraal (1), uitzendt.
    1.- Inrichting voor het bepalen van het vermogen van een energieflux, in het bijzonder van een hoog vermogen laserstraal (1), daardoor gekenmerkt dat ze een meetlaserstraalbron (4) bevat, een meetcel (2) met een venster (3) dat dwars op de energieflux gericht is en bij doorgang van de energieflux aan zijn oppervlak een klein gedeelte van de energieflux absorbeert, ten minste één optische vezel (6) tussen de meetlaserstraalbron (4) en de meetcel (2), die de meetlaserstraal (12) op het oppervlak van het venster (3) richt onder een hoek waarbij deze meetlaserstraal (12) wordt gereflekteerd, een positiedetektor (5) en een optische vezelbundel (7) tussen de positiedetektor (5) en de meetcel (2), voor het opvangen van de gereflekteerde meetlaserstraal (14) waarvan de reflektiehoek afhangt van het vermogen van de energieflux.
  2. 2.- Inrichting volgens vorige konklusie, daardoor gekenmerkt dat de energieflux een hoog vermogen laserstraal
  3. 3.- Inrichting volgens vorige konklusie, daardoor gekenmerkt dat tussen het venster (3) en de positiedetektor
  4. 4.- Inrichting volgens een van de vorige konklusies, daardoor gekenmerkt dat in de meetcel (2) tegenover de optische vezelbundel (7) een lens (15) is gemonteerd. 5.- Inrichting volgens een van de vorige konklusies, daardoor gekenmerkt dat de meetlaserstraalbron (4) een laserdiode is.
  5. (5) een filter (16) is gemonteerd.
  6. 6.- Inrichting volgens een van de vorige konklusies, daardoor gekenmerkt dat de positiedetektor (5) een vierkwadrantsfotodiode of een CCD komponent is.
  7. 7.- Inrichting volgens een van de vorige konklusies, daardoor gekenmerkt dat op de meetlaserstraalbron (4) een modulator (17) aansluit om de meetlaserstraal (12) te moduleren om het aandeel van de ruissignalen te verminderen.
  8. 8.- Inrichting volgens een van de vorige konklusies, daardoor gekenmerkt dat het venster (3) een doorschijnend medium (9) bevat dat aan de zijde van de inkomende energieflux een oppervlak (10) bevat dat een gedeelte van de energieflux absorbeert.
BE9300373A 1993-04-16 1993-04-16 Inrichting voor het bepalen van het vermogen van een energieflux. BE1007005A3 (nl)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
BE9300373A BE1007005A3 (nl) 1993-04-16 1993-04-16 Inrichting voor het bepalen van het vermogen van een energieflux.

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
BE9300373A BE1007005A3 (nl) 1993-04-16 1993-04-16 Inrichting voor het bepalen van het vermogen van een energieflux.

Publications (1)

Publication Number Publication Date
BE1007005A3 true BE1007005A3 (nl) 1995-02-14

Family

ID=3886977

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
BE9300373A BE1007005A3 (nl) 1993-04-16 1993-04-16 Inrichting voor het bepalen van het vermogen van een energieflux.

Country Status (1)

Country Link
BE (1) BE1007005A3 (nl)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1398612A1 (de) 2002-09-12 2004-03-17 TRUMPF LASERTECHNIK GmbH Vorrichtung zur Überwachung der Funktionalität eines optischen Elements
DE102012102785B3 (de) * 2012-03-30 2013-02-21 Marius Jurca Verfahren und Überwachungseinrichtung zur Erfassung und Überwachung der Verschmutzung einer optischen Komponente in einer Vorrichtung zur Lasermaterialbearbeitung
DE202012101155U1 (de) 2012-03-30 2013-07-01 Marius Jurca Überwachungseinrichtung zur Erfassung und Überwachung der Verschmutzung einer optischen Komponente in einer Vorrichtung zur Lasermaterialbearbeitung

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3143422A1 (de) * 1980-11-04 1982-08-12 The Agency of Industrial Science and Technology, Tokyo "ueberwachungsvorrichtung fuer laserstrahl-leiteinrichtung"
JPS5982184A (ja) * 1982-11-04 1984-05-12 Hitachi Ltd レ−ザ加工装置
JPS62113031A (ja) * 1985-11-13 1987-05-23 Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd レ−ザパワ−測定方法
JPS62118220A (ja) * 1985-11-18 1987-05-29 Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd レ−ザ光のパワ−密度測定方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3143422A1 (de) * 1980-11-04 1982-08-12 The Agency of Industrial Science and Technology, Tokyo "ueberwachungsvorrichtung fuer laserstrahl-leiteinrichtung"
JPS5982184A (ja) * 1982-11-04 1984-05-12 Hitachi Ltd レ−ザ加工装置
JPS62113031A (ja) * 1985-11-13 1987-05-23 Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd レ−ザパワ−測定方法
JPS62118220A (ja) * 1985-11-18 1987-05-29 Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd レ−ザ光のパワ−密度測定方法

Non-Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
"INTERFEROMETRIC MONITOR OF SUBSTRATE HEATING INDUCED BY PULSED LASER IRRADIATION", IBM TECHNICAL DISCLOSURE BULLETIN., vol. 31, no. 8, January 1989 (1989-01-01), NEW YORK US, pages 214 - 219, XP000036937 *
A. ROSE E.A.: "LASER BEAM PROFILE MEASUREMENT BY PHOTOTHERMAL DEFLECTION TECHNIQUE", APPLIED OPTICS., vol. 25, no. 11, June 1986 (1986-06-01), NEW YORK US, pages 1738 - 1740 *
J.A. SELL E.A.: "PHOTOACOUSTIC AND PHOTOTHERMAL BEAM DEFLECTION AS A PROBE OF LASER ABLATION OF MATERIALS", JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, vol. 69, no. 3, 1 February 1991 (1991-02-01), NEW YORK US, pages 1330 - 1336, XP000220523 *
M. WAUTELET: "INTERFEROMETRIC LASER POWER METER", APPLIED OPTICS., vol. 28, no. 12, 15 June 1989 (1989-06-15), NEW YORK US, pages 2193 - 2194, XP000140164 *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 11, no. 331 (P - 630)<2778> 29 October 1987 (1987-10-29) *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 11, no. 335 (P - 632)<2782> 4 November 1987 (1987-11-04) *
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 8, no. 191 (M - 322)<1628> 4 September 1984 (1984-09-04) *

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1398612A1 (de) 2002-09-12 2004-03-17 TRUMPF LASERTECHNIK GmbH Vorrichtung zur Überwachung der Funktionalität eines optischen Elements
EP1398612B1 (de) * 2002-09-12 2010-03-03 Trumpf Laser- und Systemtechnik GmbH Vorrichtung zur Überwachung der Funktionalität eines optischen Elements
DE102012102785B3 (de) * 2012-03-30 2013-02-21 Marius Jurca Verfahren und Überwachungseinrichtung zur Erfassung und Überwachung der Verschmutzung einer optischen Komponente in einer Vorrichtung zur Lasermaterialbearbeitung
DE202012101155U1 (de) 2012-03-30 2013-07-01 Marius Jurca Überwachungseinrichtung zur Erfassung und Überwachung der Verschmutzung einer optischen Komponente in einer Vorrichtung zur Lasermaterialbearbeitung
US9116131B2 (en) 2012-03-30 2015-08-25 Marius Jurca Method and monitoring device for the detection and monitoring of the contamination of an optical component in a device for laser material processing

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5318362A (en) Non-contact techniques for measuring temperature of radiation-heated objects
EP0153924B1 (en) Measuring apparatus and method
US4818071A (en) Fiber optic doppler anemometer
US4804264A (en) Arrangement for time-resolved optical backscatter measurement at optical waveguides
JP2004513363A (ja) 特にバイオセンサ技術用プラズマ共鳴センサ
US4380394A (en) Fiber optic interferometer
BE1007005A3 (nl) Inrichting voor het bepalen van het vermogen van een energieflux.
US4943714A (en) Method of continuous measurement of damping in an elongated light wave conductor-sensor having only one accessible end
JP4693324B2 (ja) バイスタティック・ドップラーセンサ装置の位置合わせ方法
CA2629902A1 (en) Detection and location of breaks in distributed brillouin fiber sensors
US6350056B1 (en) Method for fiber optic temperature measurement and fiber optic temperature sensor
EP0447991B1 (en) Apparatus for measuring the distribution of the size of diffraction-scattering type particles
JPS6011103A (ja) 遠隔計測装置
GB2183821A (en) A temperature sensor
JP3390355B2 (ja) 表面プラズモンセンサー
KR0171312B1 (ko) 광서큘레이터를 이용한 분포형 광온도센서의 광학계
KR102796999B1 (ko) Ofdr 기반의 온도 센서
US12152973B2 (en) Apparatus and method for detecting objects
US8169599B2 (en) Device and method for measuring parts
JP2918761B2 (ja) 光位置検出装置
JP2746488B2 (ja) 光導波路の損失測定法
Sokolowski et al. Intensity-based fiber optic bend sensor for potential railway application
KR20260019408A (ko) 광학적 센싱 방법 및 광학적 센싱 방법을 위한 광학 센서 시스템
EP0079945A1 (en) Fiber optic interferometer
GB2184829A (en) Apparatus for measuring an external parameter

Legal Events

Date Code Title Description
RE Patent lapsed

Owner name: VLAAMSE INSTELLING VOOR TECHNOLOGISCH ONDERZOEK V

Effective date: 19950430