BE427146A

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Traversée électrique pour appareils de pulvérisation cathodique.

Pendant la pulvérisation cathodique, la matière à pulvériser est connectée au pôle positif de la haute tension et il faut l'introduire dans le récipient de pulvérisation de manière qu'elle soit isolée et sous vide. On sait par de nombreuses publications relatives à la pulvérisation catho- dique que l'isolation et le blindage des traversées électri- ques, notamment des traversées cathodiques, présente des dif- ficultés. Lorsqu'on emploie des tensions supérieures à 2000 à 3000 volts pour obtenir une plus grande densité de courant, l'isolation est endommagée en peu de temps et la décharge

commence principalement à l'amenée de tension, ce qui a pour effet de dégager des gaz gênants qui changent la couleur du dépôt métallique et le rendent ainsi inutilisable.

Quand la tension de pulvérisation et la pression du gaz de rem- plissage ne sont pas soigneusement réglées, le travail dé- pensé ne donne guère de résultat sûr en service pratique.

Grâce à l'invention, on obvie aux inconvénients précités.

L'invention a pour objet une traversée électrique pour appareils de pulvérisation cathodique, qui se distingue en ce que la matière assurant l'isolation et l'étanchéité du conducteur électrique est disposée de façon que les particules chargées et la vapeur métallique , contenues dans la chambre de pulvérisation à vide, ne puissent l'atteindre. A cet effet, le conducteur électrique est entouré à faible distance d'une gaine métallique qui de préférence fait saillie dans la chambre de pulvérisation à vide. La distance entre le con- ducteur électrique et la gaine métallique doit être plus peti- te que la distance de la couronne luminescente se formant autour des électrodes à pulvériser et de la traversée.

La distance de la gaine métallique au conducteur électrique est par exemple de 0,1 à 20 mm. de préférence 0,5 à 5 mm. selon la nature du gaz et selon la pression et la températu- re du gaz, et on donne à la gaine métallique une longueur telle que la luminescence et les particules chargées, pro- venant de l'atmosphère ionisée, ainsi que la vapeur métalli- que, ne touchent pas la matière isolante et la garniture d'étanchéité. Dans la chambre à gaz ionisé la gaine métalli- que prend un potentiel positif. Elle peut être en contact électrique avec l'enveloppe de la chambre de pulvérisation cathodique ou être mise à la terre.

Toutefois, la gaine métallique de la traversée électrique peut avantageusement aussi être isolée non seulement du conducteur électrique,

mais encore de l'enveloppe et conduire une tension autre que celle de l'enveloppe ou du conducteur électrique. Pen- dant le façonnage de la gaine de blindage et du conducteur, on évite autant que possible les arêtes et pointes vives.

Il est avantageux de disposer l'isolation et la garniture d'étanchéité du conducteur électrique à l'exté- rieur de l'appareil de pulvérisation cathodique, de manière qu'elles soient facilement accessibles. On donne avantageu- sement au conducteur électrique la forme d'un corps creux circu- laire dont on peut refroidir la paroi intérieure au moyen d'un fluide de refroidissement tel que l'air, l'huile, l'eau ou fluide analogue. On peut avantageusement conformer la gaine métallique et le conducteur électrique de manière qu'ils délimitent un trajet en labyrinthe qui empêche très effica- cement les particules chargées et la vapeur métallique de s'approcher de l'isolation. La gaine de blindage peut por- ter à son extrémité un capuchon percé d'un trou que traverse la ligne électrique dépassant la gaine.

Toutefois, le capu- chon peut aussi être raccordé au conducteur électrique et faire saillie par dessus la gaine de blindage. Il faut seu- lement que la distance de la gaine de blindage ne soit pas plus grande que la distance entre la gaine de blindage et le conducteur électrique. En dehors de l'établissement d'un trajet en labyrinthe pour les particules chargées et les particules de vapeur métallique, les capuchonc ont pour but de protéger l'isolation contre-un dépôt des fragments métal- liques se détachant des électrodes. L'isolation peut aussi en même temps faire office de garniture d'étanchéité lors- qu'elle est constituée par une matière se laissant déformer élastiquement.

L'isolation peut être constituée par une ma- tière non-élastique comme le verre, le quartz, la porcelaine, -

l'ambre, le mica, l'ébonite, le pertinax, la résine arti- ficielle ou matière analogue et être rendue étanche aux surfaces de jonction au moyen de rondelles de caoutchouc ou rondelles métalliques en plomb, cuivre, aluminium ou autres métaux facilement déformables par une pression.

La paroi de la chambre peut elle aussi être équi- pée d'un dispositif de refroidissement à l'endroit de jonction des garnitures d'étanchéité et de l'isolation. Toutefois, la gaine métallique du conducteur peut aussi être creuse et con- formée de manière qu'on puisse la refroidir. Le refroidisse- ment présente l'avantage que la poussière métallique formée, qui en majeure partie est neutre et de ce fait ne peut suivre la direction d'un champ électrique, se condense, avant d'at- teindre l'isolateur, sur le blindage ou l'amenée de courant refroidis.

En conformant la traversée électrique suivant l'invention, il est possible d'introduire dans une chambre de pulvérisation, de manière à assurer un bon fonctionnement, des puissances élevéessous haute tension même quand une gran- de quantité de chaleur se développe aux électrodes.

La traversée électrique décrite pour appareils de pulvérisation cathodique, peut être employée avantageusement pour toutes tensions à introduire dans une chambre de pulvé- risation, peu importe qu'on l'utilise pour la cathode, l'anode ou une électrode auxiliaire. De même, elle permet d'envoyer de manière sûre de l'énergie électrique de toute intensité et sous toute tension à des circuits auxiliaires, par exem- ple à des dispositifs électriques tels que dispositifs de commande ou éléments de chauffage.

Elle conserve ses avantages quand on emploie une tension continue ou alternative ou une tension alternative

redressée. Mais elle donne aussi de bons résultats quand on emploie une tension à haute fréquence de toute fréquence voulue.

En dehors d'une grande sécurité de fonctionnement combinée à.une puissance et une température élevées pro- duites aux cathodes à pulvériser, le blindage assure que toutes les parties qui sont conductrices, mais ne sont pas constituées par la matière à pulvériser, soient empêchées de se pulvériser.

L'invention se distingue en outre en ce que l'iso- lateur recouvre complètement le rebord du conducteur élec- trique par rapport à la chambre à vide. L'isolateur comporte avantageusement une rainure dans laquelle la gaine de blin- dage métallique est ajustée à faible distance du conducteur électrique. En outre, l'isolateur peut faire saillie, en partie, dans l'intervalle entre l'alésage de la paroi du / récipient et la gaine de blindage et séparer le manchon de blindage de la paroi du récipient. On peut aussi aven- tageusement donner au manchon de blindage une forme divisée.

L'invention se distingue aussi en ce que le con- ducteur électrique est entouré de plusieurs gaines métalliques concentriques sui sont isolées les unes des autres et du conducteur électrique et qui sont disposées à faible distance les unes des autres et du conducteur. Les gaines métalliques peuvent avantageusement porter des tensions différant d'une gaine à l'autre et différant de celle du conducteur électrique.

Pour régler la répartition de la tension sur les habillages métalliques on aménage avantageusement des condensateurs ou des résistances, ou encore simultanément des condensateurs et des résistances. Pour protéger l'isolateur, les rebords des gaines de blindage peuvent eux aussi être conformés de manière

qu'on puisse les refroidir.

L'invention procure l'avantage qu'en raison de l'échelonnement de tensions entre les divers habillages mé- talliques, on peut introduire dans un récipient à vide, de manière à produire un fonctionnement sûr, des tensions éle- vées combinées à des puissances élevées. Le dispositif pré- sente un avantage spécial pour des amenées de courant intro- duites dans des récipients métalliques où la haute tension est appliquée entre le récipient et le conducteur électrique.

Tant le conducteur électrique que le récipient peuvent porter la tension négative. Même quand le sens du courant change continuellement, comme dans le cas des installations à courant alternatif, la traversée électrique montre les mêmes avantages.

On décrira encore ci-après l'invention appliquée à un porte-cathode pour la pulvérisation cathodique. Cette application de l'invention se distingue en ce que le porte- cathode métallique est entouré à faible distance d'une gaine métallique. Cette gaine métallique, qui entoure le porte- cathode à une distance nécessairement plus faible que celle de la couronne luminescente se formant autour de la cathode à pulvériser, protège contre la pulvérisation le porte-cathode lui-même. Une distance de 1,5 à 3 mm. s'est avérée satisfai- sante en pratique. De cette façon il est possible de monter la matière isolante suffisamment loin de la cathode à pulvériser pour qu'elle ne soit exposée ni à la luminescence, ni au rayonnement thermique de la cathode.

De préférence, on donne au porte-cathode métallique la forme d'un corps creux et on le refroidit, de façon que la chaleur conduite dehors ne puisse s'accumuler dans l'isolateur.

On dispose avantageusement la matière isolante entre la paroi extérieure de la chambre de pulvérisation et le porte-cathode.

Comme garniture d'étanchéité ont notamment donné de bons résultats les métaux, par exemple le plomb ou le cuivre recuit malléable. Lorsque le porte-cathode s'échauffe peu, on peut aussi employer comme garniture d'étanchéité le caoutchouc. Quand on veut disposer la cathode à pulvériser à une distance déterminée de la paroi intérieure de la chambre de pulvérisation, on entoure le porte-cathode d'une gaine métallique qui de préférence porte à son extrémité libre un capuchon percé d'une ouverture livrant passage à la cathode.

La gaine métallique du porte-cathode peut être en contact avec l'enveloppe de la chambre de pulvérisation et conduire la tension de pulvérisation positive. La paroi métallique du récipient peut aussi constituer la gaine métallique du porte-cathode. Pour charger et diriger les particules dis- persées, on dispose un champ magnétique de manière que la cathode soit située à l'intérieur du champ de forces. En em- ployant un porte-cathode ainsi protégé, on peut appliquer eh vue de la pulvérisation cathodique des tensions allant jusque 10.000 volts et une puissance atteignant plusieurs centaines de watts,sans endommager ou détruire les éléments isolants même après un long service.

Les dessins annexés représentent schématiquement plusieurs exemples d'exécution de l'invention. Dans ces dessina
Figs. 1 à 8 montrent diverses formes d'exécution d'une traversée électrique d'un récipient de pulvérisation cathodique, le conducteur étant protégé par une ;gaine métallique,
Fig. 9 est une coupe d'une forme d'exécution d'une traversée électrique;

Fig. 10 est une coupe fragmentaire d'une deuxième forme d'exécution de la traversée électrique,
Fig. 11 est une coupe fragmentaire d'une troisième

forme d'exécution de la traversée électrique,
Fig. 12 est une coupe de la traversée électrique, combinée à un schéma de montage pour les connexions électri- ques des résistances et des condensateurs,
Fig. 13 est une coupe d'un dispositif pour la pulvérisation cathodique, comportant un porte-cathode blindé,et
Fig. 14 montre un autre dispositif pour la pulvé- risation cathodique, comportant un porte-cathode blindé.

Sur la fig.l, qui représente une traversée électrique conduisant dans une chambre à vide à pulvérisation cathodique 1, le chiffre de référence 2 désigne la paroi, par exemple métallique, de la chambre à vide à pulvérisation cathodique dans laquelle est introduit, par une ouverture percée dans la paroi, le conducteur 3 qui est par exemple creux et qui peut être refroidi par un fluide de refroidissement, tel que l'eau, l'huile ou l'air. Le fluide de refroidissement est amené par une conduite 4 et évacué par une conduite 5.

Le conduc- teur 3 est entouré à faible distance par une gaine métallique 6, évasée à son extrémité, qui fait saillie dans la chambre à vide suffisamment loin pour qu'aucune décharge ne puisse se rendre par l'intervalle annulaire entre le conducteur 3 et le manchon 6 à l'isolation et à la garniture d'étanchéité dis- posées à l'extérieur de la chambre à vide. L'isolation est constituée par exemple par une pièce de matière céramique 7 qui est rendue étanche au moyen de deux bagues d'étanchéité 8 et 9, par exemple en plomb, cuivre ou aluminium, par rapport à la paroi 2 du récipient et par rapport au rebord annulaire 10 du conducteur 3.

On serre fermement le rebord 10 du conducteur 3 au moyen de vis 12 agissant sur une bague 11 en matière iso- lante. 13 est une borne pour l'amenée de courant et 14. est une ligne de raccordement connectée au conducteur 3.

La traversée électrique représentée sur la fig. 2

se distingue de celle de la fig. 1 principalement en ce que la gaine métallique 6 porte à son extrémité supérieure un capuchon 15 qui rend plus difficile aux particules chargées et aux particules de vapeur métallique, de gagner l'intervalle annulaire étroit entre le conducteur 3 et la gaine métallique 6. En outre, la cavité 17 constituée entre le manchon métal- lique 6 et le conducteur 3 est prolongée pour allonger en con- formité de la tension appliquée le trajet des décharges grimpant sur l'isolation. 18 et 19 sont deux rondelles d'é- tanchéité, par exemple en caoutchouc. Les vis servant à serrer la bague 11 faite en matière isolante ne sont pas représentées.

La traversée électrique représentée sur la fig.5 se distingue du dispositif de la fig.2 en ce que la ligne connectée au conducteur électrique est pourvue d'un capuchon 20 qui entoure l'extrémité supérieure de la gaine métallique 6. De cette façon, 'les particules chargées et les particules de vapeur métallique sont empêchées d'entrer dans la cavité entre le conducteur et la gaine métallique.

La traversée électrique représentée sur la fig.4 se distingue en ce que le conducteur électrique 21 et le blindage métallique 22 sont conformés en gradins de manière à délimiter un trajet en labyrinthe 23 qui empêche les parti- cules chargées et les particules de vapeur métallique de se rendre à l'isolation 24. Le conducteur 26 est aussi conformé de manière qu'on puisse le refroidir. 25 est une bague d'é- tanchéité métallique qui rend étanche le blindage par rapport à la paroi du récipient. Toutefois, on peut aussi le relier rigidement, par soudure, à la paroi du récipient. D'autre part, lorsque la paroi du récipient est suffisamment épaisse, les cannelures peuvent être ménagées directement dans celle-ci.

26 est la bague de serrage en matière isolante, 27 est une

conduite d'entrée d'eau et 28 est une conduite de sortie d'eau.

La traversée électrique représentée sur la fig.5 se distingue en ce que la gaine de blindage métallique 31 ala forme d'un corps creux refroidi, auquel on peut envoyer le fluide de refroidissement par la conduite 32 et d'ou on évacue le fluide de refroidissement par la conduite 33 34 est l'iso- lateur, 35 est la bague de serrage en matière isolante et 36 est une bague d'étanchéité.

La traversée électrique représentée sur la fig. 6 se distingue en ce que la gaine métallique du conducteur 3 est constituée par un serpentin de refroidissement 37 à conduite d'entrée 38 et conduite de sortie 39 introduites dans le ré- cipient à vide, de manière étanche, par le fond 2 du récipient.

La traversée électrique représentée sur la fig. 7 se distingue en ce que la paroi 2 du récipient à vide est creusée d'un conduit de refroidissement 40 auquel on envoie le fluide de refroidissement par la conduite 41. 42 est la conduite d'évacuation pour le fluide de refroidissement. Dans ce cas, la paroi du récipient à vide sert de blindage métal- lique pour le conducteur 3.

La traversée électrique représentée sur la fig.8 se distingue en ce que la paroi 2 de la chambre comporte un rac- cord cylindrique 44 dont l'intérieur sert de logement à l'iso- lation 45 et à la garniture d'étanchéité 46 en caoutchouc,qu'on serre par l'entremise de la bague de serrage 47, faite en ma- tière isolante, en vissant l'écrou à chapeau 48.49 est l'ame- née de courant et 50 est le raccord allant à une source de fluide de refroidissement. Le conducteur électrique 51 est protégé par la gaine métallique 52 disposée à faible distance et au besoin on peut lui faire traverser le récipient à vide entier et le faire ressortir du récipient à vide à travers un montage analogue de blindage, isolation et garniture d'étan- chéité.

Sur la Fig. 9 montrant une traversée électrique enga- gée dans une chambre de pulvérisation cathodique 1, le chif- fre de référence 2 désigne la paroi, par exemple métallique, de la chambre à vide dans laquelle est introduit par un trou de la paroi un conducteur 3 qui est par exemple creux et peut être refroidi au moyen d'un fluide de refroidissement tel que l'eau, l'huile ou l'air. On introduit le fluide de re- froidissement par la conduite 4 et on l'évacue par la con- duite 5. Le conducteur 3 est entouré à faible distance par une gaine métallique 6 qui fait saillie dans la chambre à vide suffisamment loin pour qu'aucune décharge ne puisse se rendre par l'intervalle annulaire entre le conducteur 3 et la gaine 6 à l'isolation et à la garniture d'étanchéité montées à l'extérieur de la chambre à vide.

Comme isolation on emploie par exemple une pièce de matière céramique 7 ren- due étanche par rapport à la paroi 2 du récipient et par rapport au rebord annulaire 10 du conducteur 3, respective- ment, au moyen de deux bagues d'étanchéité 8 et 9 faites par exemple en plomb, cuivre ou aluminium. On serre le rebord 10 du conducteur 3 au moyen de vis 12 agissant sur la bague 11 en matière isolante. 13 est l'amenée de courant et 14 est un fil de raccordement connecté au conducteur 3. Suivant l'invention, la partie 53 de l'isolateur 7 masque complète- ment par rapport à la chambre à vide le rebord du conducteur, de sorte qu'on évite tout risque qu'il s'établisse une dé- charge luminescente en cet endroit.

Le dispositif représenté sur la Fig. 10 ne se dis- tingue de celui de la Fig. 9 qu'en ce que l'isolateur 7 comporte une rainure 54 dans laquelle est ajustée la gaine de blindage métallique 6 à faible distance du conducteur électrique 3. Ceci assure l'avantage d'éviter une ionisation

sous haute tension produite par l'effet des arêtes vives de la gaine de blindage qui autrement se terminerait librement dans l'isolateur.

Le dispositif représenté sur la fig. 11 se dis- tingue de celui de la fig. 10 en ce que la partie 55 de l'i- solateur fait saillie dans l'intervalle entre l'alésage du récipient et la gaine de blindage et sépare la gaine de la paroi 2 du récipient, de manière à l'isoler. La gaine de blindage peut avantageusement être divisée en plusieurs élé- ments 56, 57, 58 pour interrompre le flux thermique dans la gaine. 59 est la coiffe protectrice qui couvre l'isolateur.

Sur la Fig. 12, qui montre une traversée électrique entrant dans une chambre à vide 1, le chiffre de référence 2 désigne la paroi, par exemple métallique, de la chambre à vide dans laquelle est introduit par un trou de la paroi le conducteur 3 qui est par exemple creux et peut être refroi- di au moyen d'un fluide de refroidissement tel que l'eau, l'huile ou l'air. On introduit le fluide de refroidissement par la conduite 4 et on l'évacue par la conduite 5.

Le con- ducteur 3 est entouré de plusieurs, par exemple quatre, gai- nes métalliques cylindriques 6a, 6b, 6c, 6d portant à une de leurs extrémités un rebord, tandis que leur autre extrémité fait saillie dans la chambre de pulvérisation suffisamment loin pour qu'aucune décharge ou particule métallique ne puisse se rendre par les intervalles étroits entre le conducteur 3 et la gaine 6a et entre les autres gaines aux isolations et garnitures d'étanchéité montées à l'extérieur de la chambre à vide. L'isolation est assurée par les bagues d'étanchéité 7a, 7b, 7c, 7d. On serre fermement le rebord 10 du conducteur 3 au moyen des vis 12 agissant sur la bague 11 en matière isolante. 14 est un fil électrique connecté au conducteur 3.

59, 60, 61, 62 sont des résistances constantes ou réglables.

63, 64, 65, 66 sont des condensateurs constants ou réglables servant à régler les tensions appliquées aux gaines de blin- dage. On peut appliquer à la traversée électrique décrite des tensions allant jusqu'environ 10.000 volts sans endommager l'isolation, même quand des températures élevées règnent dans le récipient à vide.

Sur la fig. 13, le chiffre de référence 2 désigne le fond de la chambre de pulvérisation cathodique, sur le- quel repose de manière étanche aux gaz une partie supérieure amovible 68. L'anode 69 et la cathode 70 sont alimentées par une source de tension de pulvérisation non représentée. 71 est l'objet à exposer à la pulvérisation. 72 est le porte- cathode supportant la cathode 70 qui peut avoir toute forme et grandeur voulues. Le porte-cathode est engagé avec isole- ment, par exemple par l'entremise de la plaque isolante 73 faite en caoutchouc, dans la chambre de pulvérisation, par un trou percé dans le fond de la chambre, et il est fixé au moyen de vis 74 avec interposition de pièces métalliques 75 et 76 et d'isolateurs 77 et 78.

Le porte-cathode 72 est par exemple creux et comporte une conduite d'entrée 79 et une conduite de sortie 80 pour un fluide de refroidissement. 81 est la connexion électrique pour la cathode. Sur le socle ou fond 2 sont aménagés un raccord 82 pour la pompe à vide et une conduite 83 pour l'admission d'un gaz.

Suivant l'invention, on dispose à faible distance du porte-cathode 72 une gaine métallique 84, par exemple un tube en métal, qui porte à son extrémité libre un capuchon perforé amovible 85. La gaine ou tubulure métallique 84 est fixée dans le socle au moyen de l'isolateur 86. Toutefois, l'isolateur 86 peut aussi être omis, si bien que la tubulure

métallique 84 est alors directement fixée dans le socle, par exemple métallique. On peut appliquer à la tubulure mé- tallique 84 une tension positive. On peut aussi, par exemple, connecter à la tension positive le socle portant la tubulure métallique 84 ou le récipient de pulvérisation, lorsque celui- ci est métallique. 87 est la bobine parcourue par le courant créant un champ magnétique pour charger et diriger les parti- cules dispersées.

Sur la Fig. 14, le chiffre de référence 2 désigne le socle métallique du récipient de pulvérisation. 70 est la cathode supportée par le porte-cathode 72. Le socle métal- lique 2 constitue en l'occurence la gaine métallique blin- dant le porte-cathode 72. 88 est un disque isolant, 89 et 90 sont les bagues d'étanchéité faites par exemple en plomb et 91 est une bague isolante faite par exemple en pertinax, qu'on serre au moyen de vis 92. 93 est le tuyau d'entrée pour le refroidissement à l'air comprimé.

On peut introduire dans un récipient de pulvérisa- tion, notamment pour revêtir des objets à grande surface, par exemple des tôles, plusieurs de ces porte-cathode blindés supportant chacun une cathode, et les faire fonctionner sé- parément ou au moyen d'une source de courant commune.

REVENDICATIONS.

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1.- Traversée électrique pour appareils de pulvéri- sation cathodique, caractérisée en ce que le conducteur élec- trique est entouré à faible distance d'une gaine métallique qui de préférence fait saillie dans la chambre de pulvérisa- tion.

Claims

2.- Traversée suivant la revendication 1, caracté- risée en ce que la distance entre l'amenée de courant et la <Desc/Clms Page number 15> gaine métallique est plus petite que la distance d'une couron- ne luminescente se formant autour de l'électrode connectée à l'amenée de courant ou autour d'une connexion allant à des montages électriques et connectée à l'amenée de courant.

3.- Traversée suivant les revendications 1 et .3, caractérisée en ce que la distance de la gaine métallique au conducteur électrique est d'environ 0,1 à 20 mm, de préfé- rence 0,5 à 5 mm, et la gaine a une longueur telle que la lueuret les particules chargées, provenant de l'atmosphère ionisée, ne touchent pas la matière isolante et la garnitu- re d'étanchéité.

4. - Traversée suivant les revendications 1 à 3, ca- ractérisée en ce que l'isolation et la garniture d'étanchéi- té du conducteur électrique sont disposées à l'extérieur de l'appareil de pulvérisation cathodique.

5. - Traversée suivant les revendicatins 1 à 4, caractérisée en ce que le conducteur électrique a la forme d'un corps creux circulaire dont la paroi intérieure peut être refroidie par un fluide de refroidissement.

6. - Traversée suivant les revendications 1 à 5, caractérisée en ce que la gaine métallique et le conducteur électrique sont conformés de manière à délimiter un trajet en labyrinthe.

7. - Traversée suivant les revendications 1 à 6, caractérisée en ce que la gaine de blindage porte à son ex- trémité un capuchon percé d'une ouverture à travers laquelle la ligne électrique passe au-delà de la gaine.

8. - Traversée suivant la revendication 7, carac- térisée en ce que le capuchon est connecté au conducteur et couvre la gaine de blindage.

9. - Traversée suivant les revendications 1 à 8, <Desc/Clms Page number 16> caractérisée en ce que l'isolation est disposée en regard de la chambre de pulvérisation à vide entre l'amenée de courant pourvue d'un rebord et la paroi extérieure du ré- cipient à vide.

10.- Traversée suivant la revendication 9, carac- térisée en ce que l'isolation constitue en même temps la garniture d'étanchéité.

11.- Traversée suivant les revendications 9 et 10, caractérisée en ce que l'isolation est constituée par une matière non-élastique comme le verre, le quartz, la porce- laine, le mica, l'ébonite, le pertinax, les résines artifi- cielles et matières analogues, dont les surfaces de jonction sont rendues étanches par des disques de caoutchouc ou par des disques métalliques en plomb, cuivre, aluminium, etc., qui se laissent facilement déformer sous pression.

12.- Traversée suivant les revendications 9 à 11, caractérisée en ce que la paroi de la chambre est pourvue aussi d'un dispositif de refroidissement à l'endroit où elle porte contre les garnitures d'étanchéité et l'isolation.

13.- Traversée suivant les revendications 1 à 12, caractérisée en ce que la gaine métallique du conducteur est aussi creuse et propre à être refroidie.

14. - Traversée suivant les revendications 1 à 13, caractérisée en ce que l'isolation couvre complètement le rebord du conducteur électrique, notamment du porte-cathode, par rapport à la chambre à vide.

15. - Traversée suivant la revendication 14, carac- térisée en ce que l'isolation est creusée d'une rainure dans laquelle la gaine métallique de blindage est ajustée à faible distance du conducteur électrique.

16. - Traversée suivant les revendications 14 et 15, <Desc/Clms Page number 17> caractérisée en ce que l'isolateur fait saillie en partie dans l'intervalle entre l'alésage de la paroi du récipient et la gaine de blindage et sépare et isole la gaine de blindage de la paroi du récipient.

17.- Traversée suivant les revendications 14 à 16, caractérisée en ce que la gaine de blindage est divisée.

18. - Traversée suivant les revendications 14 à 17, caractérisée en ce que la gaine de blindage est entourée d'une coiffe protectrice.

19. - Traversée suivant les revendications 1 à 18, caractérisée en ce que le conducteur électrique est entouré de plusieurs gaines métalliques concentriques qui sont iso- lées les unes par rapport aux autres et par rapport au con- ducteur électrique et qui sont disposées à faible distance les unes des autres et du conducteur.

20.- Traversée suivant la revendication 19, carac- térisée en ce que les gaines métalliques portent des tensions différant d'une gaine à l'autre et différant de celle du . conducteur électrique.

21.- Traversée suivant les revendications 19 et 20, caractérisée en ce que des condensateurs sont connectés aux gaines métalliques pour régler la répartition des tensions.

22.- Traversée suivant les revendications 19 et 20, caractérisée en ce que des résistances sont connectées aux gaines métalliques pour régler la répartition des tensions.

23.- Traversée suivant les revendications 19 et 20, caractérisée en ce que tant des condensateurs que des résis- tances sont connectés aux gaines métalliques pour régler la répartition des tensions.

24.- Traversée suivant la revendication 1, caracté- risée en ce que le porte-cathode métallique est entouré à faible distance d'une gaine métallique. <Desc/Clms Page number 18>

25. - Traversée suivant la revendication 24, carac- térisée en ce que le porte-cathode a la forme d'un corps creux et est refroidi.

26.- Traversée suivant les revendications 24 et 25, caractérisée en ce que la matière isolante est disposée entre la paroi extérieure de la chambre de pulvérisation et le por- te-cathode.

27. - Traversée suivant les revendications 24 à 26, caractérisée en ce qu'on emploie comme garniture d'étanchéité du métal, par exemple du cuivre.

28. - Traversée suivant les revendications 24 à 27, caractérisée en ce que la gaine métallique est par exemple un manchon métallique qui porte de préférence à son extrémi- té libre un capuchon percé de l'ouverture livrant passage à la cathode.

29. - Traversée suivant les revendications 24 à 28, caractérisée en ce que la gaine métallique du porte-cathode est en contact avec la chambre de pulvérisation.

30.- Traversée suivant les revendications 24 à 29, caractérisée en ce que la paroi métallique du récipient constitue la gaine métallique.

31.- Traversée suivant les revendications 24 à 30, caractérisée en ce qu'il est prévu un champ magnétique ser- vant à charger et à diriger depuis la cathode les particules dispersées par celle-ci.

32.- Traversée électrique pour appareils de pulvé- risation cathodique, en substance telle que décrite ci-dessus avec référence aux dessins annexés.