BE598734A - Procédé de préparation de fluorures d'azote - Google Patents
Procédé de préparation de fluorures d'azoteInfo
- Publication number
- BE598734A BE598734A BE598734A BE598734A BE598734A BE 598734 A BE598734 A BE 598734A BE 598734 A BE598734 A BE 598734A BE 598734 A BE598734 A BE 598734A BE 598734 A BE598734 A BE 598734A
- Authority
- BE
- Belgium
- Prior art keywords
- preparing nitrogen
- nitrogen fluorides
- fluorides
- preparing
- nitrogen
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title 1
- GVGCUCJTUSOZKP-UHFFFAOYSA-N nitrogen trifluoride Chemical class FN(F)F GVGCUCJTUSOZKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/082—Compounds containing nitrogen and non-metals and optionally metals
- C01B21/083—Compounds containing nitrogen and non-metals and optionally metals containing one or more halogen atoms
- C01B21/084—Compounds containing nitrogen and non-metals and optionally metals containing one or more halogen atoms containing also one or more oxygen atoms, e.g. nitrosyl halides
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US13487A US3085862A (en) | 1960-03-08 | 1960-03-08 | Process for the production of dinitrogen fluoride and nitrosyl fluoride |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| BE598734A true BE598734A (fr) | 1961-04-14 |
Family
ID=21760209
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| BE598734A BE598734A (fr) | 1960-03-08 | 1960-12-30 | Procédé de préparation de fluorures d'azote |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US3085862A (fr) |
| BE (1) | BE598734A (fr) |
| DE (1) | DE1147204B (fr) |
| GB (1) | GB895943A (fr) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3428540A (en) * | 1962-03-09 | 1969-02-18 | Allied Chem | Process for making trifluoroamine oxide |
| US3185543A (en) * | 1963-01-30 | 1965-05-25 | Allied Chem | Manufacture of metal fluorides |
| US4832931A (en) * | 1988-09-07 | 1989-05-23 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Synthesis of tetrafluorohydrazine |
| US4996035A (en) * | 1989-02-27 | 1991-02-26 | Mallinckrodt, Inc. | Preparation of nitrosyl fluoride |
| US4908270A (en) * | 1989-02-27 | 1990-03-13 | Mallinckrodt, Inc. | Continuous preparation of nitrosyl fluoride |
| RU2255040C1 (ru) * | 2004-07-02 | 2005-06-27 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский научный центр "Прикладная химия" (ФГУП "РНЦ "Прикладная химия") | Способ получения трифторида азота |
| US20080236483A1 (en) * | 2007-03-27 | 2008-10-02 | Jun Sonobe | Method for low temperature thermal cleaning |
| US20080236482A1 (en) * | 2007-03-27 | 2008-10-02 | Jun Sonobe | Method for low temperature thermal cleaning |
| US8308871B2 (en) * | 2008-11-26 | 2012-11-13 | L'air Liquide Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Thermal cleaning gas production and supply system |
| JP5995724B2 (ja) * | 2009-11-20 | 2016-09-21 | ゲノ エルエルシー | 一酸化窒素送達システム |
| JP5715717B2 (ja) * | 2014-02-03 | 2015-05-13 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法、クリーニング方法および基板処理装置 |
-
1960
- 1960-03-08 US US13487A patent/US3085862A/en not_active Expired - Lifetime
- 1960-11-23 GB GB40272/60A patent/GB895943A/en not_active Expired
- 1960-12-30 BE BE598734A patent/BE598734A/fr unknown
-
1961
- 1961-03-08 DE DEP26722A patent/DE1147204B/de active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB895943A (en) | 1962-05-09 |
| US3085862A (en) | 1963-04-16 |
| DE1147204B (de) | 1963-04-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CH394216A (fr) | Procédé de préparation d'orotate de lysine | |
| FR1270749A (fr) | Procédé de préparation d'alcénylphénols | |
| FR1210511A (fr) | Procédé de préparation de trifluorure d'azote | |
| BE610728A (fr) | Procédé de préparation d'indium-trialkyles | |
| BE611909A (fr) | Procédé de préparation d'omega-lactames | |
| FR1261496A (fr) | Procédé de préparation de n-arylurées substituées en n' | |
| FR1298331A (fr) | Procédé de préparation d'alpha-cétoaldéhydes | |
| FR1265511A (fr) | Procédé de préparation d'arylakylpolysiloxanes | |
| FR1266109A (fr) | Procédé de préparation d'hexa-alcoyl-distannoxanes | |
| FR1266275A (fr) | Procédé de préparation d'alkylborines | |
| FR1265476A (fr) | Procédé de préparation d'hexa-organo-distannoxanes | |
| FR1294044A (fr) | Procédé de préparation d'aminourées | |
| BE605778A (fr) | Procédé de préparation d'alcanolamides | |
| FR1277471A (fr) | Procédé de fabrication des fluorures d'azote | |
| FR1185648A (fr) | Procédé de préparation de l'azote | |
| FR1241399A (fr) | Procédé de préparation de tétrahydrofurfurylamines substituées sur l'atome d'azote | |
| FR1279640A (fr) | Procédé de préparation de l'alpha-amino-epsilon-caprolactame | |
| FR1260918A (fr) | Procédé de préparation de l'adipo-dinitrile | |
| CH390919A (fr) | Procédé de préparation d'oxazolines | |
| FR1294134A (fr) | Procédé de préparation d'alpha-lipoamides | |
| FR83353E (fr) | Procédé de préparation de nu-chloraryl-nu'-alcoxy-nu'-alcoyl-urées | |
| FR1540251A (fr) | Procédé de préparation de n-phénylacétyl-n'-acétylurée | |
| FR1253628A (fr) | Procédé de préparation de n-arylsulfonyl-n'-alkyl-urées | |
| FR1261103A (fr) | Procédé de préparation d'esters alpha-cyano-beta-alcoyl-beta-phénylacryliques | |
| FR1251675A (fr) | Procédé de préparation du nitrohumate d'ammonium |