BE779581A - Dispositif et procede pour mettre en couche une composition liquide - Google Patents

Dispositif et procede pour mettre en couche une composition liquide

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BE779581A
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laying
liquid composition
composition
liquid
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BE779581A
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English (en)
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F A Wessells
J P Conrey
Original Assignee
Grace W R & Co
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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor

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  • Physics & Mathematics (AREA)
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  • Coating Apparatus (AREA)
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GB1327734A (en) 1973-08-22
FR2127652A5 (fr) 1972-10-13
IT947712B (it) 1973-05-30
NL7202154A (fr) 1972-08-25
US3782327A (en) 1974-01-01
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