BRPI0708345A2 - aparelho de célula de combustìvel micro integrada - Google Patents
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Abstract
APARELHO DE CéLULA DE COMBUSTìVEL MICRO INTEGRADA Uma micro-célula de combustível e método para sua formação inclui o depósito de múltiplas camadas (22) de metais alternados sobre um substrato (12); a causticação de pelo menos um metal das múltiplas camadas (22) criando um hiato entre as camadas restantes; a formação de uma pluralidade de pedestais (28) nas múltiplas camadas (22), cada pedestal (28) tendo uma parte de anodo central (29) e uma parte de catodo concêntrico (31) separadas por uma cavidade concêntrica (31); o preenchimento da cavidade concêntrica (31) com um eletrólito; e a cobertura da parte de anodo central (29) e a cavidade concêntrica (31)
Description
APARELHO DE CÉLULA DE COMBUSTÍVEL MICRO INTEGRADA
CAMPO DA INVENÇÃO
A presente invenção relaciona-se genericamente amicro-células de combustível e, mais particularmente, a umaparelho de células de combustível micro integradas emsilicone.
HISTÓRICO DA INVENÇÃO
Baterias recarregáveis são a fonte de energia primáriapara telefones celulares e vários outros dispositivoseletrônicos portáteis. A energia armazenada nas baterias élimitada. Ela é determinada pela densidade de energia(Wh/L) do material de armazenamento, sua química, e ovolume da bateria. Por exemplo, para uma bateria paratelefone de célula de íon de Li com uma densidade deenergia de 250 Wh/L, uma bateria de 10 cm3 armazenaria 2,5Wh de energia. Ela poderia durar por umas poucas horas apoucos dias dependendo de sua utilização. O recarregamentosempre requer uma instalação elétrica. A quantidadelimitada de energia armazenada e o recarregamento freqüentesão i8nconveniências de vulto com as baterias. Há umanecessidade de uma solução de duração mais longa, derecarga fácil para fontes de energia para telefonescelulares. Uma abordagem para preencher esta necessidade éter uma fonte de energia híbrida com uma bateriarecarregável e um método para recarregar a bateria porgotejamento. Considerações importantes para um dispositivode conversão de energia para recarregar a bateria incluem apotência de energia, a densidade de energia, a dimensão e aeficiência da conversão de energia.
Métodos de colheita de energia como células solares,geradores termoelétricos que utilizam flutuações natemperatura ambiente, e geradores piezelétricos queutilizam vibrações naturais são fontes de energia muitoatraentes para carregar uma bateria por gotejamento.Entretanto, a energia gerada por esses métodos é pequena,normalmente apenas uns poucos miliwatts, e ela requer umgrande volume para gerar energia suficiente na centena demiliwatts necessários, tornando-os desinteressantes paraaplicações do tipo telefone celular.
Uma abordagem alternativa é portar um combustível dealta densidade de energia e converter esta energia decombustível em energia elétrica com alta eficiência pararecarregar a bateria. Combustíveis isótopos radioativos comalta densidade de energia estão sendo investigados parafontes de energia portátil. N entanto, as densidades deenergia são baixas com esta abordagem, e também hápreocupações de segurança com os materiais radioativos.Esta é uma fonte de energia atraente para aplicações dotipo sensores remotos, mas não para fontes de energia detelefones celulares. Entre as várias outras tecnologias deconversão de energia, a mais atraente é a tecnologia decélula de combustível dada sua alta eficiência de conversãode energia e a viabilidade demonstrada de miniaturizar comalta eficiência.
Células de combustível com sistemas de controle ativose células de combustível de temperatura operacional elevadacomo metanol de controle direto ativo ou células decombustível de ácido fórmico (DMFC ou DFAFC), células decombustível de hidrogênio reformado (RHFC) e células decombustível de óxido sólido (SOFC) são sistemas complexos emuito difíceis de miniaturizar para o volume de 2 a 5 cmnecessário para aplicação em telefones celulares. Célulasde combustível de hidrogênio de respiração a ar passiva,DMFC ou DFAFC passivos, e células de biocombustíveis sãosistemas atraentes para esta aplicação. Entretanto, alémdas questões de miniaturização, outras preocupações incluemo suprimento de hidrogênio para as células de combustívelde hidrogênio, vida útil e densidade de energia para DFMC eDFAFC passivos, e vida útil, densidade de energia edensidade de potência com células de biocombustíveis.
Projetos DFMFC e DFAFC convencionais compreendemcamadas planar empilhadas para cada célula. Célulasindividuais poderão então ser empilhadas para energia maisalta, redundância, e confiabilidade. As camadas tipicamentecompreendem compostos de grafite, de carbono ou de carbono,materiais poliméricos, metal como o titânio e açoinoxidável, e cerâmica. A área funcional das camadasempilhadas é limitada, normalmente no perímetro, por viaspara fixar a estrutura junta e passagem de combustível e umoxidante ao longo de e entre as células. Adicionalmente, ascélulas empilhadas, planares derivam energia apenas de umintercâmbio de combustível/oxidante em uma área transversal(coordenadas χ e y).
Para projetar uma fonte de célula de combustível/fontede energia híbrida célula de combustível/bateria no mesmovolume que a bateria de telefone celular atual (100 cm3 -2,5 Wh), uma bateria menor e uma célula de combustível comalta densidade de energia e eficiência seriam necessáriaspara atingir uma densidade de energia geral mais elevada doque aquela da bateria sozinha. Por exemplo, para umabateria de 4 a 5 cm3 (1 a 1,25 Wh) satisfazer as demandasde pico do telefone, a célula de combustível precisariacaber em 1 a 2 cm3, com o combustível tomando o resto dovolume. A produção de energia da célula de combustívelprecisa ser de 0,5W ou mais alta para ser capaz derecarregar a bateria em um tempo razoável. A maioria dasatividades de desenvolvimento em células de combustívelpequenas são tentativas de miniaturizar os projetos decélulas de combustível tradicionais em uma escala pequena,e os sistemas resultantes ainda são grandes demais para aaplicação em telefones celulares. Umas poucas atividades dedesenvolvimento foram reveladas que utilizam os métodos deprocessamento de silicone tradicionais em configurações decélulas de combustível planares, e em alguns poucos casosutilizando silicone poroso (para aumentar a áreasuperficial e as densidades de energia). Ver, por exemplo,Patente /Pedido de Patente dos Estados Unidos números2004/0185323, 2004/0058226, 6.541.149, e 2003/0003347. Noentanto, as densidades de energia das células decombustível de hidrogênio planar de respiração a ar sãotipicamente na faixa de 50 a 100 mW/cm2. Para produzir 500mW, seria necessário 5 cm2 ou mais de área ativa. Avoltagem operacional de uma única célula de combustívelestá na faixa de 0,5 a 0,7 V. Pelo menos quatro ou cincocélulas precisam estar conectadas em série para trazer avoltagem operacional da célula de combustível até 2 a 3 Vpara a conversão DC-DC eficiente para 4 V a fim de carregara bateria de íon de Li. Portanto, a abordagem de célula decombustível planar tradicional não será capaz de satisfazeros requisitos em um volume de 1 a 2 cm3 para uma célula decombustível na fonte de energia híbrida célula decombustível/bateria para utilização em telefones celulares.
Assim, é desejável fornecer um aparelho de célula decombustível micro integrado em silicone, vidro, cerâmica ousubstratos poliméricos que derivam energia de umintercâmbio combustível/oxidante tridimensional. Ademais,outros recursos e características desejáveis da presenteinvenção tornar-se-ão aparentes da descrição detalhadasubseqüente da invenção e das reivindicações apensas,tomados em conjunto com os desenhos acompanhantes e estesegundo plano da invenção.
SÍNTESE CONCISA DA INVENÇÃO
Uma micro-célula de combustível e método para suaformação inclui o depósito de múltiplas camadas de metaisalternados sobre um substrato; a causticação de pelo menosum metal das múltiplas camadas criando um hiato entre ascamadas restantes; a formação de uma pluralidade depedestais nas múltiplas camadas, cada pedestal tendo umaparte de anodo central e uma parte de catodo concêntricoseparadas por uma cavidade concêntrica; o preenchimento dacavidade concêntrica com um eletrólito; e a cobertura daparte de anodo central e a cavidade concêntrica.
DESCRIÇÃO SUCINTA DOS DESENHOS
A presente invenção será descrita doravante emconjunto com as seguintes Figuras de desenhos, em quenúmeros iguais denotam elementos iguais, e
As Figuras 1 a 9 são visões transversais parciais quemostram as camadas conforme fabricadas de acordo com umaversão exemplar da presente invenção. E
A Figura 10 é uma visão superior transversal parcialda Figura 9.
DESCRIÇÃO DETALHADA DA INVENÇÃO
A descrição detalhada seguinte da invenção é meramentede natureza exemplar e não pretende limitar a invenção ou aaplicação e usos da invenção. Ainda, não há a intenção deser limitado por qualquer teoria apresentada no históricoprecedente da invenção ou na descrição detalhada seguinteda invenção.
Os principais componentes de um dispositivo de célulade combustível micro são um eletrólito condutor de prótonsque separa os gases reagentes nas regiões do anodo e docatodo, um eletro-catalisador que ajuda na oxidação e naredução das espécies de gás nas regiões de anodo e decatodo da célula de combustível, e um coletor de correntepara a coleta eficiente dos elétrons e o transporte deles auma carga conectada através da célula de combustível. Nafabricação das estruturas da célula de combustível micro,camadas de metal poroso condutor podem ser utilizadas paraa difusão de gás bem como para a coleta da corrente. É aquidescrito um processo para tornar essas camadas de metalporoso adequadas para a célula de combustível micro e oprocessamento de uma estrutura de célula de combustívelmicro utilizando essas camadas de metal poroso.
A fabricação de células de combustível microindividuais dentro de poros micro de proporção de aspectoelevado fornece uma alta área superficial para ointercâmbio de prótons entre um combustível (anodo) e umoxidante (catodo). Nessas dimensões diminutas, oalinhamento preciso do anodo, do catodo, do eletrólito edos coletores de corrente é necessário para impedir umcurto nas células. Este alinhamento poderá ser efetuado pormétodos de processamento de semicondutores utilizados noprocessamento de circuitos integrados. Células funcionaistambém poderão ser fabricadas em substratos de cerâmica,vidro ou polímeros.
A fabricação de circuitos integrados, dispositivosmicroeletrônicos, dispositivos eletromecânicos micro,dispositivos micro-fluídicos, e dispositivos fotônicos,envolve a criação de várias camadas de materiais queinteragem de alguma forma. Uma ou mais dessas camadaspoderá ser padronizada de modo que várias regiões da camadapossuem diferentes características elétricas ou outras, quepoderão ser interconectadas dentro da camada ou a outrascamadas para criar componentes e circuitos elétricos. Essasregiões poderão ser criadas pela introdução seletiva ouremoção de vários materiais. Os padrões que definem essasregiões são muitas vezes criados por processoslitográficos. Uma camada de material foto-resistente éaplicada sobre uma camada que se sobrepõe a um substratolaminar. Uma foto-máscara (contendo áreas claras e opacas)é utilizada para expor seletivamente este material foto-resis tente por uma forma de radiação, como a luzultravioleta, elétrons, ou raios-x. Quer o material foto-resistente exposto à radiação, ou aquele não exposto àradiação, é removido pela aplicação de um revelador. Umacausticação poderá então ser aplicada à camada nãoprotegida pela resistência restante, e quando a resistênciafor removida, a camada sobreposta ao substrato épadronizada. Alternativamente, um processo aditivo tambémpoderia ser utilizado, por exemplo, construir uma estruturautilizando a foto-resistência como um gabarito.
Células de combustível micro paralelas em trêsdimensões fabricadas utilizando processos de litografiaóptica são tipicamente utilizados no processamento decircuitos integrados semicondutores que compreende célulasde combustível com a densidade de energia necessária em umpequeno volume. As células poderão ser conectadas emparalelo ou em série para fornecer a voltagem de saídanecessária. Células de combustível micro funcionais sãofabricadas em micro-malhas (fabricadas como pedestais) nosubstrato. 0 intercâmbio iônico anodo/catodo ocorre em trêsdimensões com as áreas de anodo e de catodo separadas porum isolante. Múltiplos condutores metálicos são utilizadoscomo o anodo e como o catodo para a difusão gasosa e tambémpara a coleta de corrente. Um eletro-catalisador édepositado nas paredes das múltiplas camadas que estão emcontato com o eletrólito. Um eletrólito condutor de prótonsestá contido dentro das cavidades. A essas dimensõesdiminutas, a tensão superficial mantém o eletrólito líquidono interior das cavidades; no entanto, ela pode ser tampadaem sua parte superior.
No projeto tridimensional de células de combustívelmicro, da versão exemplar, com milhares de células decombustível micro conectadas em paralelo, a correnteportada por cada célula é pequena. No caso de falha em umacélula, ela causará apenas um pequeno aumento incrementaina corrente portada pelas outras células na pilha paralelasem afetar seu desempenho de modo prejudicial.
As Figuras 1 a 9 ilustram um processo exemplar parafabricar células de combustível com um processosemicondutor em silicone, vidro o um substrato cerâmico.Com referência à Figura 1, uma camada fina 14 de titânio édepositada em um substrato 12 para fornecer adesão àscamadas de metalização subseqüentes e também poderá ser umplano de fundo elétrico (para conexões 1/0, traços decorrente). A camada 14 poderá ter uma espessura na faixa de10 a 1000 Ã, mas preferivelmente é de 100 Á. Metais que nãoo titânio poderão ser utilizados, por exemplo, tântalo,molibdênio, tungstênio, cromo. Uma primeira camada de metal16, por exemplo, ouro, é depositada na camada 14 para boacondução e também como é um metal nobre mais adequado nasatmosferas de redução de oxidação observadas durante aoperação da célula de combustível.
Com referência à Figura 2, a camada de ouro 16 é entãopadronizada e causticada para fornecer contatos aoselementos descritos doravante (alternativamente, umprocesso de levantamento poderia ser utilizado), e umacamada de óxido 18 é nela depositada. Uma segunda camada demetal, por exemplo, o ouro, é depositada na camada 18 epadronizada e causticada para fornecer contatos aoselementos descritos doravante. A camada 16 poderá ter umaespessura na faixa de 100 À/l μτη, mas pref erivelmente é de1000 Â. Metais para a primeira e a segunda camadasmetálicas que não o ouro, poderão incluir, por exemplo, aplatina, a prata, o paládio, o rutênio, o níquel, o cobre.Uma via 15 é então criada e enchida com metal para trazer ocontato elétrico da camada de ouro 16 para a superfície 19da camada dielétrica 18.
Com referência à Figura 3, múltiplas camadas 22 quecompreendem alternar uma camada de material condutor, porexemplo, metais como prata/ouro, cobre/prata, níquel/cobre,cobre/cobalto, níquel/zinco, e níquel/ferro, e ter umaespessura na faixa de 100 a 500 μπι, mas preferivelmente de200 μτη (com cada camada tendo uma espessura de 0,1 a 10microns, por exemplo, mas pref erivelmente de 0,1 a 1,0mícrons), são depositados na camada metálica 20 e umacamada semente (não mostrada) acima da camada de óxido 18.
Uma camada dielétrica 24 é depositada nas múltiplas camadas22 e uma camada de resistência 26 é padronizada ecausticada na camada dielétrica 24.
Com referência às Figuras 4 e 5, utilizando umacausticação química, a camada dielétrica 24 não protegidapela camada de resistência 26, é removida. Então, após acamada de resistência 26 ser removida, as múltiplas camadas22, não protegidas pela camada dielétrica 24, são removidaspara formar um pedestal 28 que compreende um anodo central29 (seção interior) e um catodo concêntrico 3 0 (seçãoexterior) circundando, e separada por uma cavidade 31, doanodo 29. 0 pedestal 28 tem preferivelmente um diâmetro de10 a 100 mícrons. A distância entre cada pedestal 28 seriade 10 a 100 mícrons, for exemplo. Alternativamente, o anodo29 e o catodo 30 poderão ser formados simultaneamente porprocessos gabaritados. Neste processo, os pilares serãofabricados utilizando uma foto-resistência ou outroprocesso de gabarito seguido pela deposição de metalmulticamada ao redor dos pilares, formando a estruturamostrada na Figura 5. Concêntrico, conforme aqui utilizadosignifica ter uma estrutura com um centro comum, mas oanodo, a cavidade, e as paredes do catodo poderão assumirqualquer forma e não são limitadas a círculos. Por exemplo,os pedestais 2 8 poderão alternativamente ser formados pelacausticação de trincheiras ortogonais.
As camadas múltiplas 22 dé metais alternados são entãocausticadas úmidas para remover um dos metais, deixando portrás camadas dos outros metais tendo um hiato entre cadacamada (Figura 6). Quando da remoção das camadas metálicasalternadas, é preciso ter cuidado para impedir o colapsodas camadas restantes. Isto poderá ser efetuado, com oprojeto apropriado, pela causticação de modo que algumaspartes metálicas não dissolvidas das camadas permanecem.Isto poderá ser efetuado pela utilização de ligas que sãoricas no metal que está sendo removido de modo que acausticação não remove a camada inteira. Alternativamente,isto também poderá ser efetuado por uma padronização dascamadas a serem removidas de modo que parcelas permanecementre cada camada restante. Qualquer um desses processospermitem o intercâmbio de reagentes gasosos através dasmúltiplas camadas. O metal remanescente/removidopreferivelmente compreende ouro/prata, mas também poderácompreender, por exemplo, níquel/ferro ou cobre/níquel.
As paredes laterais são então revestidas com umeletro-catalisador para reações de célula de combustível deanodo e catódica pela capa de lavagem ou algum outro métodode deposição como CVD, PDV, ou métodos eletro-químicos(Figura 7). Então, as camadas 14 e 16 são causticadas até osubstrato 12 e um material eletrólitico 34 é colocado nacavidade 31 antes de uma camada de capeamento 3 6 serformada (Figura 8) e padronizada (Figura 9) acima domaterial eletrolítico 34. Alternativamente, o materialeletrolítico 34 poderá compreender, por exemplo, ácidoperflurosulfônico (Nafion®), ácido fosfórico, ou eletrólitolíquido iônico. O ácido perflurosulfônico tem umacondutividade iônica muito boa (0,lS/cm) em temperaturaambiente quando umidifiçado. O material eletrolítico tambémpode ser líquidos iônicos condutores de próton como umamistura de fulfonil bustriflurometano e imidazole,etilamonionitrato, metilamônionitrato dedimetillamonionitrato, uma mistura de etilamonionitrato eimidazole, uma mistura de eltilamoniohidrogêniosulfato eimidazole, ácido flurosulfônico e ácido sulfônicotriflurometano. No caso de eletrólito líquido, a cavidadeprecisa ser tampada para proteger o eletrólito devazamento.
Uma via, ou cavidade, 3 8 é formada (Figura 8) nosubstrato 12 por métodos de causticação química (úmida ouseca). Então, utilizando métodos químicos ou a causticaçãofísica, a via 38 é estendida através da camada 14 e 16 atéas camadas múltiplas alternadas 22.
A Figura 10 ilustra uma visão superior de células decombustível adjacentes fabricadas da maneira descrição comreferência às Figuras 1 a 9. 0 substrato de silicone 12, ouo substrato contendo as células de combustível micro, éposicionado em uma estrutura 4 0 para transportar hidrogênioaté as cavidades 38. A estrutura 4 0 poderá compreender umacavidade ou uma série de cavidades (por exemplo, tubos oupassagens) formados em um material cerâmico, por exemplo. 0hidrogênio então entraria nas seções de hidrogênio 42 dascamadas múltiplas alternadas 22 acima das cavidades 38.Como as seções 42 são tampadas com a camada dielétrica 20,o hidrogênio permaneceria dentro das seções 42. Seçõesoxidantes 44 são abertas ao ar ambiente, permitindo que oar (incluindo o oxigênio) entre nas seções oxidantes 44.
Após encher a cavidade 34 com o material eletrolítico,ela formará uma barreira física entre as regiões do anodo(alimentação de hidrogênio) e do catodo (respiração de ar).
Distribuidores de gás estão construídos dentro do substratode pacote inferior para alimentar o gás hidrogênio paratodas as regiões dé anodo. Como ele é tampado em cima 36,será como uma cela combustível de configuração dealimentação de anodo sem saída.
Embora pelo menos uma versão exemplar tenha sidoapresentada na descrição detalhada anterior da invenção,deve ser apreciado que existe um vasto número de variações.
Também deve ser apreciado que a versão exemplar ou asversões exemplares são apenas exemplos, e não se pretendelimitar o escopo, a aplicabilidade, ou a configuração dainvenção de qualquer forma. Ao contrário, a descriçãodetalhada anterior dotará aqueles habilitados na tecnologiacom um mapa rodoviário conveniente para implementar umaversão exemplar da invenção, sendo compreendido que váriasmudanças poderão ser feitas na função e na disposição doselementos descritos em uma versão exemplar sem desviar doescopo da invenção conforme estabelecida nas reivindicaçõesapensas.
Claims (20)
1. Célula de combustível, caracterizada porcompreender:um substrato; euma pluralidade de pedestais formados no substrato,cada pedestal compreendendo:uma seção exterior que compreende uma primeirapluralidade de camadas condutoras tendo um hiato entre cadauma das camadas;uma seção interior que compreende uma segundapluralidade de camadas condutoras tendo um hiato entre cadauma das camadas; eum eletrólito posicionado entre a seção exteriore a seção interior.
2. Célula de combustível, de acordo com areivindicação 1, caracterizada pelo fato dos pedestaisporosos serem definidos por trincheiras.
3. Célula de combustível, de acordo com areivindicação 1, caracterizada pelo fato das seçõesexterior e interior compreenderem círculos concêntricos.
4. Célula de combustível, de acordo com areivindicação 3, caracterizada pelo fato da seção interiorcompreender um anodo e da seção exterior compreender umcatodo que circunda o anodo.
5. Célula de combustível, de acordo com areivindicação 1, caracterizada por compreender ainda umainterconexão metálica formada entre o substrato e as seçõesinteriores para interconectar as seções interiores, e entreo substrato e os catodos para interconectar os catodos.
6. Célula de combustível, de acordo com areivindicação 1, caracterizada pelo fato do eletrólitocompreender um dentre um líquido iônico condutor de prótonse ácido perflurosulfônico.
7. Célula de combustível, de acordo com areivindicação 1, caracterizada pelo fato da áreasuperficial entre o catodo e o eletrólito ser maior que aárea superficial entre o anodo e o eletrólito.
8. Célula de combustível, de acordo com areivindicação 1, caracterizada pelo fato do hiato ser de umtamanho que permite a passagem de reagentes gasososfornecidos ao anodo ou ao catodo, mas inibe a passagem doeletrólito.
9. Célula de combustível, de acordo com areivindicação 1, caracterizada pelo fato do hiatocompreender uma espessura entre 0,1 a 10 mícrons.
10. Célula de combustível, de acordo com areivindicação 1, caracterizada pelo fato do hiatocompreender uma espessura entre 0,1 a 1 mícron.
11. Método para fabricar uma célula de combustível,caracterizado por compreender:depositar camadas múltiplas de metais alternados sobreum substrato;formar uma pluralidade de pedestais nas camadasmúltiplas, cada pedestal tendo uma parte de anodo central euma parte de catodo concêntrico, separadas por uma cavidadeconcêntrica;causticar pelo menos um dos metais alternados, criandoum hiato entre as camadas restantes;encher a cavidade concêntrica com um eletrólito; ecobrir a parte de anodo central e a cavidadeconcêntrica.
12. Método, de acordo com a reivindicação 11,caracterizado pelo fato da etapa de formar uma pluralidadede pedestais compreender definir o anodo e o catodo aocausticar as camadas múltiplas para formar uma pluralidadede pedestais.
13. Método, de acordo com a reivindicação 11,caracterizado pelo fato da etapa de formar uma pluralidadede pedestais compreender definir o anodo e o catodo aoaplicar um foto-resistente padronizado antes de formar ascamadas múltiplas.
14. Método, de acordo com a reivindicação 11,caracterizado pelo fato da etapa de causticar incluirdeixar uma parcela de um metal entre as camadas restantes.
15. Método, de acordo com a reivindicação 11,caracterizado pelo fato da etapa de causticar compreenderpadronizar uma foto-resistência antes de causticar de modoque uma parcela das camadas restantes se estende à camadaadjacente.
16. Método, de acordo com a reivindicação 11,caracterizado pelo fato da etapa de encher a cavidadeconcêntrica compreender encher a cavidade concêntrica comum eletrólito compreender um de líquido iônico condutor eácido perflurosulfônico.
17. Método para fabricar uma célula de combustível,caracterizado por compreender:padronizar uma primeira camada metálica sobre umsubstrato;formar uma primeira camada dielétrica sobre a primeiracamada metálica;padronizar uma segunda camada metálica sobre aprimeira dielétrica;formar vias dentro da primeira camada dielétrica paraa primeira camada metálica;formar camadas múltiplas de metais alternados sobre asegunda camada metálica e o substrato para formar umapluralidade de pedestais;definir um anodo e um catodo separados por um canal,em que o anodo entra em contato com um da via ou da segundacamada metálica, e o catodo entra em contato com o outro davia ou da segunda camada metálica;causticar pelo menos um dos metais alternados, criandoum hiato entre as camadas restantes;revestir o anodo e o catodo dentro do canal com umeletro-catalisador;encher os canais com um eletrólito;cobrir os canais com um isolante; ecausticar o substrato para fornecer uma pluralidade devias para fornecer um combustível para a pluralidade deanodos.
18. Método, de acordo com a reivindicação 17,caracterizado pelo fato da etapa de formar camadasmúltiplas compreender definir o anodo e o catodo aocausticar as camadas múltiplas para formar uma pluralidadede pedestais.
19. Método, de acordo com a reivindicação 17,caracterizado pelo fato da etapa de formar camadasmúltiplas compreender definir o anodo e o catodo ao aplicaruma foto-resistência padronizada antes de formar as camadasmúltiplas.
20. Método, de acordo com a reivindicação 17,caracterizado pelo fato da etapa de encher os canaiscompreender encher os canais com um eletrólitocompreendendo um de um líquido iônico condutor de prótons eácido perflurosulfônico .
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Owner name: MOTOROLA SOLUTIONS, INC. (US) Free format text: NOME ALTERADO DE: MOTOROLA, INC. |
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| B08F | Application dismissed because of non-payment of annual fees [chapter 8.6 patent gazette] |
Free format text: REFERENTE 6A. ANUIDADE(S). |
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| B08K | Patent lapsed as no evidence of payment of the annual fee has been furnished to inpi [chapter 8.11 patent gazette] |
Free format text: REFERENTE AO DESPACHO 8.6 PUBLICADO NA RPI 2224 DE 20/08/2013. |