BRPI0908607A2 - câmara a vácuo do tipo sem contato - Google Patents
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Abstract
câmara a vácuo do tipo sem contato a presente invenção refere-se a urna câmara a vácuo do tipo sem contato que é utilizada para sustentar materiais em um sistema de transporte a vácuo. a câmara a vácuo da presente invenção compreende um corpo principal, uma guia de ar, e uma trilha de descarga formada por meio do corpo principal e da guia. a guia de ar está anexada de tal modo que ela não é projetada da borda do fundo do corpo principal, e ela possui: um nicho de afluência central que se comunica com um orifício de fornecimento; uma ou mais trilhas de fluxos constituídas que atravessam a superfície da parede a partir do nicho de afluência; e um orifício de sucção que se estende da superfície do fundo e conecta-se a(s) trilha(s) de fluxo(s). quando o ar comprimido atravessa a(s) trilha(s) de fluxo(s), o ar externo sob a câmara a vácuo passa pela adjacência da superfície difusa e atravessa o orifício de sucção e é arrastado para o ar comprimido, funde-se a ele e é expelido junto com o ar comprimido. nesse momento, os materiais podem ser sustentados fortemente devido à pressão negativa produzida no espaço entre a câmara a vácuo e o material.
Description
fW "CAMARA A VACUO DO TIPO SEM CONTATO"
DESCRIÇÃO Campo Téeníeo A presente invenção refere-se, eín geral, a urna 5 câmara a vácuo que é utilizada para sustentar um material no sisterna de transporte a vácuo e, mais especificamente, para uma câmara a vácuo do tipo sem contato que é capaz de sustentar um material ein uin estado sem contato.
Técníea Anteríor 10 O sistema de transporte a vácuo é o sistema que cria pressão negativa na câmara a vácuo utilizando o ar comprimido e utiliza a pressão negativa criada para sustentar um material de modo ele possa ser transportado para um local pré-deterrninado.
Costuma-se utilizar, neste sistema, um tipo de câmara a vácuo do 15 tipo contato. Entretanto, a câmara a vácuo do tipo contato é % problernática, pois ela está em contato direto com a superfície do ±" material, de modo que sua superfície torna-se danificada ou contaminada.
Em especial, urn painel ou o semelhante utilizado 20 para urrí display de um produto eletrônico está suscetível a riscos finos ou deformações, ou impurezas, desse modo a câmara do tipo contato é inadequada para o transporte do material. Assirn, recentemente, a demanda por uma cârnara do tipo sem contato está aumentando gradualmente.
25 As câmaras a vácuo do tipo sern contatos convencionais estão ilustradas nas Figuras 1 e 2. As rnesmas referências numéricas são utilizadas nos dois desenhos para designar os mesmos componentes ou componentes semelhantes. Corno f Í *
X 2 ,r/ " demonstrado nos desenhos, cada câmara a vácuo do tipo sem contato inclui um corpo principal 1 que possuí na parte central dele urn orifício de fornecimento de ar comprimido 2, e uma guia 3 que está acoplada a parte inferior do corpo principal 1, guiando, assim, o 5 fluxo de ar na direção lateral.
O ar comprimido, que é introduzido através do orifício de fornecimento 2 do corpo principal 1 na câmara a vácuo, » " é guiado na direção lateral pela guia 3, e atravessa a borda da superfície inferior do corpo principal 1 em alta velocidade para "«' 'W 10 ser expelida para fora. Neste rnomento, de acordo com o efeito Bernoulli, cria-se um vácuo entre a câmara a vácuo e o material P, e a pressão negativa é gerada pela diferença na pressão entre o vácuo e a pressão atmosférica.
A pressão negativa faz corn que o material P 15 aproxime-se e seja sustentado pela câmara a vácuo. Entretanto, um estado de não contato é mantido entre a cârnara a vácuo e o k k " y material P, pois eles estão espaçados distantes um do outro por um " intervalo míniino d entre a pressão de descarga do ar corriprimido.
Por este motivo, ela é denominada de câmara a vácuo do tipo sem 20 contato.
Quando se compara a câmara a vácuo do tipo sem contato com a câmara tipo contato, a cârnara a vácuo tipo sem contato é considerada vantajosa no manuseio do material que precisa ser mantido em urna superfície de precisão. Entretanto, 25 este tipo de câmara a vácuo é problemática, pois há uma limitação com respeito à resistência do vácuo que pode ser atingida, e ela leva um longo período para atingir o máximo da resistência. Assim, não se deve confiar nela para rnanusear um material que seja
0 GP' € - 3 q « e- pesado.
Por exemplo, a câmara a vácuo do tipo sem contato pode obter urna maior resistência de vácuo por meio do fornecimento de um valor muito grande de ar coinprimido a alta velocidade e 5 descarregando o ar cornprimido a uma velocidade muito maior.
Entretanto, neste caso, há um valor excessivarnente grande de energia consumida.
& " Como outra técnica anterior, um pegador do tipo € sem contato como está divulgado no Registro U.M. coreano sob n°
W 10 401259. O pegador inclui urna mangueira a vácuo que atravessa uma cârrtara sern contato correspondente à guia 3 e estende-se para fora.
Contudo, não está explicado lá, coíno a mangueira a vácuo está conectada a urna bomba a vácuo separada.
No pegador, a bomba a vácuo é orientada de modo 15 que o ar presente sob a câmara sem contato é descarregado à força.
Assim, quando comparado à câmara a vácuo do tipo sem contato, o f pegador pode obter mais rapidamente urrí vácuo muito mais forte.
Entretanto, o pegador é problemático pois ele requer um projeto complexo, inclusive a rnangueira a vácuo, sua estrutura de montagern 20 e a bomba a vácuo. Além disso, o pegador é problemático quanto a energia para orientação da bomba a vácuo, berrí como a energia que é necessária para sustentar um material.
Revelação Problema Técníco 25 Portanto, a presente invenção foi elaborada tendo-se em mente os problemas ocorridos acima na técnica anterior, e um propósito da presente invenção é fornecer uma câmara a vácuo que seja capaz de obter um nível confiável de
R r 4
J < pressão negativa e urrí vácuo fortemente confiável quando do manuseio de um material que seja pesado.
Outro propósito da presente invenção é fornecer uma câmara a vácuo do tipo sein contato, que possa inelhorar a 5 eficiência de energia utilizando um projeto simples, sendo assim muito vantajoso do ponto de vista econômico.
SoIução Técníca Com o propósito de realizar os propósitos acima, a presente invenção fornece uma câmara a vácuo do tipo sem 10 contato, inclusive, um corpo principal, uma guia de ar, uina passagem de descarga definida pelo corpo principal e pela guia. O corpo principal possui um orifício de fornecimento de ar comprirnido constituído na parte central deste, e uma superfície larga externamente constituída no final inferior do orifício de 15 fornecimento. Essa construção não é diferente da câmara a vácuo * convencional. . 'r A guia de ar é montada no corpo principal de tal "+E modo que a guia de ar não seja protuberante do fundo da borda do corpo principal, e possui urn nicho de afluência central que se 20 comunica com o orifício de fornecimento, pelo menos uma trilha de fluxo que é constituída a partir do nicho de afluência através da superfície da parede, e um orifício de sucção que se estende da superfície do fundo e está conectado à trilha do fluxo. Além disso, a passagern de descarga é a passagem através da qual o ar 25 coinprimido fornecido para o orifício de fornecimento é descarregado, e estende-se da trilha de fluxo da guia para a superfície larga e a borda do corpo principal.
De preferência, a trilha de fluxo pode compreender uma
·t 5 pluralidade de trilhas de fluxos que seja disposta radialmente ao redor do nicho de afluência. Mais preferivelmente, cada trilha de fluxo pode compreender trilhas de fluxos que sejam dispostas em séries e em estágios múltiplos. O orifício da sucção pode ser 5 constituído entre as trilhas de fluxos adjacentes. O orifício de sucção pode estar no final inferior à superfície larga. Tal construção é útil para sugar suave e rapidamente o ar externo.
Além disso, de preferência, uma superfície inferior de uma parte mediana da guia pode ser posicionada para estar ainda dentro como uma superfície inferior de urna parte exterior da guia. Tal configuração fornece um espaço de vácuo muito amplo quando comparado à configuração caracterizada pelo fato de que a superfície inferior da parte central da guia está no mesmo nível que a superfície inferior da parte externa, alcançando, assirn, um espaço de vácuo muito grande, obtendo, portanto, urn vácuo rnuito forte e uma força de sustentação muito grande.
Efeítos vantajosos De acordo com a presente invenção, uma câmara a vácuo é vantajosa, pois quando o ar comprirnido atravessa a passagem de descarga ern alta velocidade, o ar externo presente sob a cârnara a vácuo é sugado nele e, então, é descarregado corn o ar comprimido, de modo que a resistência do vácuo muito forte seja atingida de modo mais rápido. Assim, a câmara a vácuo é vantajosa pois ela pode ser aplicada com confiança quando se manuseia urn material pesado. Entretanto, com o propósito de acompanhar o efeito, um projeto complexo, uni valor muito grande de energia ou uma fonte de energia adicional não é necessária. Portanto, a câmara a vácuo é muito vantajosa ern termos econômicos e eficiência
X 6
C ¥ de energia.
Descríção dos Desenhos Fig. 1 é uma vista seccional que mostra urría câmara a vácuo do tipo sein contato convencional; 5 Fig. 2 é uma vista seccional que mostra outra câmara a vácuo do tipo sem contato convencional; Fig. 3 é uma vista seccional que mostra uma cârnara a vácuo do tipo sem contato de acordo com a presente invenção; 10 Fig. 4 é uma vista do fundo que mostra uma guia de ar aplicada à Fig. 3; e Fig. 5 é uma vista ilustrativa da operação da câmara a vácuo do tipo sem contato de acordo com a presente invenção.
15 <Descrição dos caracteres de referência das
C partes importantes> ¥
11. corpo principal 12 . guia
13. orifício de fornecirnento 20 14. superfície larga
18. trilha de fluxo
19. orifício de sucção
20. superfície larga Modo para a Invenção 25 As características e efeitos acima ou os demais da presente invenção podein ser mais óbvios com base na descrição da incorporação da presente invenção que está ilustrada abaixo corn referência às Figs. 3 a 5.
f
Referindo-se à Fig. 3, urna câmara a vácuo do tipo sem contato da presente invenção é denotada por referência ao numeral 10. A câmara a vácuo 10 inclui um corpo principal 11, uma guia 12 que é acoplada à parte inferior do corpo principal 11, e 5 uma passagem de descarga de ar comprimido que está disposta entre o corpo principal 11 e a guia 12. Aqui, o corpo principal 11 possui um orifício de fornecimento de ar comprimido 13 que é constituído na parte central do corpo principal, e uma superfície larga externamente 14 que está constituída no final da parte 10 'inferior do orifício de fornecimento 13. A construção não é "diferente daquela da câmara de vácuo convencional. Entretanto, a superfície larga externamente pode ser selecionada a partir de uma superfície inclinada ou uma superfície arredondada.
A guia de ar 12 é montada no corpo principal 11 15 de tal modo que ele não se sobressaia à borda do fundo 15 do corpo principal. De preferência, a guia de ar é montada no corpo principal 11 de tal modo que ela não seja protuberante a partir da = superfície larga externamente 14 constituída sobre o final inferior do orifício de fornecimento 13. Por exemplo, se a guia 12 20 se sobressair, a câmara a vácuo 10 poderá fazer contato com o material 'P' (vide Fig. 5).
A guia de ar 12 inclui um nicho de afluência central 16 que se comunica corn o orifício de fornecirnento 13, pelo menos uma trilha de fluxo 18 que é constituída a partir do nicho 25 de afluência 16 através da superfície da parede 17, e um orifício de sucção 19 que se estende a partir da superfície do fundo e está conectado à trilha de fluxo 18. Contudo, não é apresentado nos desenhos corno um bocal do tipo tubo pode ser montado na trilha de
L r *» 8 b' fluxo 18.
A passagem de descarga é o local através do qual o ar comprimido fornecido para o orifício de fornecimento 13 do corpo principal 11 é descarregado, e se estende a partir da trilha 5 de fluxo 18 da guia 12 para a superfície larga 14 e a borda 15 do corpo principal 11.
Referindo-se à Fig. 4, uma pluralidade de trilhas ' de fluxos 18 é constituída na guia 12 para ser disposta radialmente ao redor do nicho de afluência 16. Se houver rnuitas e 10 trilhas de fluxos 18, a velocidade na qual o ar comprimido é descarregado pode ser reduzida. Com o propósito de resolver o problerna, é necessário verificar qual é o núrnero apropriado de
W trilhas de fluxos. No desenho, o orifício de sucção 19 possui a forma de um anel e se comunica com cada trilha de fluxo 18. Essa 15 construção é útil para sugar suave e rapidarnente o ar externo, a saber, o ar entre a câmara a vácuo 10 e o material 'P' (vide Fig.
G 5). Z$' Cada trilha de fluxo 18 compreende as trilhas de fluxos 18a e 18b que estão dispostas em séries e em estágios 20 múltiplos de tal modo que seus diâmetros estão aurnentando. O orifício de sucção 19 é colocado entre as trilhas de fluxos adjacentes 18a e 18b. O ar comprimido atravessa a trilha de fluxo 18a tendo um diâmetro pequeno a alta velocidade. Portanto, o ar externo é introduzido no ar comprimido através do orifício de 25 sucção 19. Além disso, o ar externo é combinado com o ar cornprimido na trilha de fluxo 18b tendo urri diâmetro amplo e, então, a descarga junto com o ar comprimido. Essa forma da trilha de fluxo 18 é muito eficiente na descarga do ar externo.
K "r - " 9 b"'
W Retornando a Fig. 3, o orifício de sucção 19 está sobre o final inferior dessa superfície larga 20. Tal construção é útil para sugar suave e rapidamente o ar externo sob a câmara a vácuo 10. Entretanto, urna superfície inferior 21 da parte mediana 5 da guia 12 é posicionada para estar ainda dentro da superfície inferior 22 da parte externa desta. Essa configuração fornece urrt espaço de vácuo muito amplo em comparação com a configuração caracterizada pelo fato de que a superfície inferior da parte mediana está no rríesrrio nível que aquela da parte externa. Assim, a 10 câmara a vácuo 10 pode atingir um vácuo muito forte e uma força de sustentação muito grande.
A superfície inferior 22 da parte externa da guia 12 estende-se e se sobressai à esquerda e à direita. Esta guia o ar cornprimido de modo que ele seja descarregado naturalmente com a 15 superfície larga 14 após atravessar a trilha de fluxo 18.
Referindo-se à Fig. 5, o ar comprimido é fornecido ao orifício de fornecimento 13 do corpo principal 11, e flui para dentro do nicho de afluência 16 da guia 12. Então, o ar comprimido, na sequência, atravessa a passagein de descarga, isto 20 é, a trilha de fluxo 18, a superfície larga 14, a borda 15 e, então, é expelido para fora (vide seta 24).
Neste processo, o efeito Bernoulli está agindo.
Ou seja, algo do ar presente entre a câmara a vácuo 10 e o material P é combinado com o ar comprimido na adjacência da 25 superfície larga 14 e é expelido junto com o ar comprimido (vide seta 25). Simultaneamente, o outro ar entre a câmara a vácuo 10 e o material P atravessa o orifício de sucção 19, é introduzido no ar comprimido, e é combinado cont o ar cornprimido na trilha de
W 10 fluxo 18b para ser expelido junto com o ar comprimido (vide seta 26) .
Deste modo, o vácuo e a pressão negativa são gerados entre a câmara a vácuo 10 e o material P, e a pressão 5 negativa gerada faz com que o material P aproxime-se e seja sustentado pela câmara a vácuo 10 {vide seta 27).
A câmara a vácuo 10 mencionada acima é construída de modo que, quando o ar comprirnido atravessa a passagem de descarga, o ar externo existente sob a cârnara a vácuo é 10 introduzido no ar comprimido na adjacência da superfície larga 14 e através do orifício de sucção 19, e é combinado com o ar comprimido para ser expelido junto coin o ar corrtprimido. Portanto, um vácuo muito forte e uma pressão negativa podem ser criados rríuito rapidarnente. Alérn disso, é óbvio que em um projeto complexo, 15 um valor amplo de energia ou uma fonte de energia adicional não são necessários para concluir a rápida criação de urn vácuo forte e uma pressão negativa forte. E.
Claims (7)
1. "CÂMARA A VÁCUO DO TIPO SEM CONTATO" , caraeterízado por compreender: um corpo principal com um orifício de 5 fornecimento de ar comprimido constituído na parte central desse corpo, e uma superfície larga externamente constituída sobre o finaí inferior do orifício de fornecimento; uma guia de ar montada no corpo principal de tal modo que a guia de ar não se sobressaia a partir da borda de baixo do corpo principal, e tenha um nicho de afluência central que se comunica corrt o orifício de fornecimento, pelo menos uma trilha de fluxo que esteja constituída a partir do nicho de afluência através da parede de superfície, e urn orifício de sucção que se estende a partir da superfície do fundo e está conectado à trilha de fluxo; uma passagem de descarga de ar comprimido que se estende da trilha de fluxo da guia para a superfície larga e para a borda do corpo principal, caracterizada pelo fato de que a trilha de fluxo compreende trilhas de fluxos que estão dispostas em séries e em estágios múltiplos tais como os diâmetros das trilhas de fluxos estão aumentando, o orifício de sucção é Bosicionado ente a adjacência das trilhas de fluxos.
2. Câmara a vácuo do tipo sem contato de acordo corrt a reivindicação 1, caraeterízado pelo fato de que a trilha de fluxo compreende uma pluralidade de trilhas de fluxos que são dispostos radialrnente ao redor do nicho de afluência.
- 2
3. Câmara a vácuo do tipo sem contato de acordo com a reivindicação 1, caracterízado pelo fato de que o orifício de sucção possui um forrnato anular.
4. Câmara a vácuo do tipo sern contato de acordo 5 com a reivindicação 1, caracterízado pelo fato de que o orifício de sucção possui no final inferior desse uma superfície larga.
5. Câmara a vácuo do tipo sem contato de acordo com a reivindicação 1, earaeterízado pelo fato de que a superfície inferior de uma parte mediana da guia está posicionada para estar 10 ainda dentro de uma superfície inferior de uma parte externa da gui-a .
6. Câmara a vácuo do tipo serrt contato de acordo com a reivindicação 1, earacterízado pelo fato de que um bocal tipo tubo está montado na trilha de fluxo.
15 7. Câmara a vácuo do tipo sem contato de acordo com a reivindicação 1, caracterízado pelo fato de que a superfície larga externamente do corpo principal está em uma superfície a E j
M inclinada ou em uma superfície redonda.
8. Câmara a vácuo do tipo sem contato de acordo 20 com a reivindicação 1, caracterizado pelo fato de que a superfície inferior da parte externa da guia se estende e se sobressai à esquerda e à direita.
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| JP5875294B2 (ja) * | 2011-08-29 | 2016-03-02 | 日本空圧システム株式会社 | 保持具 |
| JP5422680B2 (ja) * | 2012-01-24 | 2014-02-19 | 株式会社ジェーイーエル | 基板保持装置 |
| JP5934542B2 (ja) * | 2012-03-29 | 2016-06-15 | 株式会社Screenホールディングス | 基板保持装置、および、基板処理装置 |
| SG194239A1 (en) * | 2012-04-09 | 2013-11-29 | Semiconductor Tech & Instr Inc | End handler |
| EP2765218A1 (en) * | 2013-02-07 | 2014-08-13 | Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk Onderzoek TNO | Method and apparatus for depositing atomic layers on a substrate |
| KR101392517B1 (ko) * | 2013-05-02 | 2014-05-08 | (주)대주기계 | 비접촉식 부양장치 |
| CN104385285B (zh) * | 2013-11-13 | 2016-07-20 | 杭州孚亚科技有限公司 | 吸附器 |
| JP6949455B2 (ja) * | 2014-12-24 | 2021-10-13 | 株式会社タンケンシールセーコウ | 非接触搬送装置、および非接触吸着盤 |
| CN105731068B (zh) * | 2014-12-24 | 2019-05-21 | 炭研轴封精工有限公司 | 非接触输送装置和非接触吸附盘 |
| JP5908136B1 (ja) | 2015-03-03 | 2016-04-26 | 株式会社ハーモテック | 吸引装置 |
| AT517101B1 (de) * | 2015-07-14 | 2016-11-15 | Franz Schachner | Vorrichtung zum Bearbeiten einer Werkstückplatte mit einem Werkzeug |
| KR101878914B1 (ko) * | 2016-09-21 | 2018-07-16 | (주)케파 | 마사지 장치 |
| JP6814009B2 (ja) * | 2016-10-04 | 2021-01-13 | 株式会社ディスコ | 搬送パッド及びウエーハの搬送方法 |
| KR20180045666A (ko) | 2016-10-26 | 2018-05-04 | 삼성전자주식회사 | 기판 제조 장치 |
| US11254014B2 (en) * | 2017-07-21 | 2022-02-22 | Electro Scientific Industries, Inc. | Non-contact handler and method of handling workpieces using the same |
| CN112388660A (zh) * | 2019-08-19 | 2021-02-23 | 浙江大学 | 吸附器 |
| JP7219426B2 (ja) * | 2020-02-19 | 2023-02-08 | Smc株式会社 | 非接触搬送装置 |
| CN115319787A (zh) * | 2022-07-29 | 2022-11-11 | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 | 一种非接触式机械手吸附力的调节系统及方法 |
Family Cites Families (33)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3438668A (en) * | 1965-08-26 | 1969-04-15 | Gen Electric | Contactless lifter |
| DE2429421C2 (de) * | 1974-06-19 | 1981-12-10 | Vits-Maschinenbau Gmbh, 4018 Langenfeld | Vorrichtung zum Anheben des oberen Bogens eines Stapels mit Blasluft |
| DE3036829A1 (de) * | 1980-09-30 | 1982-05-13 | Wacker-Chemitronic Gesellschaft für Elektronik-Grundstoffe mbH, 8263 Burghausen | Verfahren zum aufnehmen von kristallscheiben |
| US5067762A (en) * | 1985-06-18 | 1991-11-26 | Hiroshi Akashi | Non-contact conveying device |
| JPS631646A (ja) * | 1986-06-17 | 1988-01-06 | Hiroshi Akashi | 空気保持器 |
| IT1214033B (it) * | 1987-02-03 | 1990-01-05 | Carlomagno Giovanni Maria | Procedimento e dispositivo per esercitare forze su lastre di vetro, in particolare ad elevata temperatura |
| JPH02292195A (ja) * | 1989-02-26 | 1990-12-03 | Myotoku Kk | 物品の懸垂搬送装置 |
| US4969676A (en) * | 1989-06-23 | 1990-11-13 | At&T Bell Laboratories | Air pressure pick-up tool |
| JP2713634B2 (ja) * | 1990-04-20 | 1998-02-16 | エスエムシー株式会社 | 複数のディフューザ部を有する多重エゼクタの製造方法 |
| US5169196A (en) * | 1991-06-17 | 1992-12-08 | Safabakhsh Ali R | Non-contact pick-up head |
| EP0611274B1 (de) * | 1993-02-08 | 1998-12-02 | SEZ Semiconductor-Equipment Zubehör für die Halbleiterfertigung AG | Träger für scheibenförmige Gegenstände |
| US5421595A (en) * | 1994-03-28 | 1995-06-06 | Motorola, Inc. | Vacuum chuck with venturi jet for converting positive pressure to a vacuum |
| WO1997003456A1 (de) * | 1995-07-12 | 1997-01-30 | Sez Semiconductor-Equipment Zubehör Für Die Halbleiterfertigung Gesellschaft Mbh | Träger für scheibenförmige gegenstände, insbesondere siliziumscheiben |
| EP0902966A1 (en) * | 1996-05-31 | 1999-03-24 | IPEC Precision, Inc. | Non-contact holder for wafer-like articles |
| US6467297B1 (en) * | 2000-10-12 | 2002-10-22 | Jetek, Inc. | Wafer holder for rotating and translating wafers |
| JP4669252B2 (ja) * | 2000-06-09 | 2011-04-13 | 株式会社ハーモテック | 旋回流形成体および非接触搬送装置 |
| JP3981241B2 (ja) | 2000-06-09 | 2007-09-26 | 株式会社ハーモテック | 旋回流形成体および非接触搬送装置 |
| US6427991B1 (en) * | 2000-08-04 | 2002-08-06 | Tru-Si Technologies, Inc. | Non-contact workpiece holder using vortex chuck with central gas flow |
| TW500651B (en) * | 2001-02-20 | 2002-09-01 | Harmotec Corp | Non-contact transfer device |
| EP1233442B1 (en) * | 2001-02-20 | 2009-10-14 | Harmotec Corporation | Non-contacting conveyance equipment |
| US6601888B2 (en) * | 2001-03-19 | 2003-08-05 | Creo Inc. | Contactless handling of objects |
| US20020185230A1 (en) * | 2001-06-08 | 2002-12-12 | Sam Kao | Article holders that use gas vortices to hold an article in a desired position |
| JP2003245885A (ja) * | 2002-02-25 | 2003-09-02 | Koganei Corp | 搬送装置 |
| JP4342331B2 (ja) * | 2004-02-09 | 2009-10-14 | 株式会社コガネイ | 非接触搬送装置 |
| JP4437415B2 (ja) * | 2004-03-03 | 2010-03-24 | リンク・パワー株式会社 | 非接触保持装置および非接触保持搬送装置 |
| DE102004045957A1 (de) * | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Singulus Technologies Ag | Vorrichtung zum Halten und Transportieren eines Werkstücks mit einer ebenen Oberfläche |
| JP2006156692A (ja) * | 2004-11-29 | 2006-06-15 | Smc Corp | 非接触搬送装置 |
| JP2006181682A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Nippon Pneumatics Fluidics System Co Ltd | 吸着装置 |
| JP4491340B2 (ja) * | 2004-12-28 | 2010-06-30 | 株式会社コガネイ | 搬送装置 |
| JP4538849B2 (ja) * | 2005-05-31 | 2010-09-08 | 村田機械株式会社 | 非接触保持装置 |
| KR200401259Y1 (ko) | 2005-08-12 | 2005-11-15 | 주식회사 엠앤엘 | 비접촉식 물류이송 유니트의 그립퍼 |
| JP4243766B2 (ja) * | 2006-10-02 | 2009-03-25 | Smc株式会社 | 非接触搬送装置 |
| US8231157B2 (en) * | 2008-08-28 | 2012-07-31 | Corning Incorporated | Non-contact manipulating devices and methods |
-
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