CA1124829A - Resonateur piezo-electrique a cristal autosuspendu - Google Patents
Resonateur piezo-electrique a cristal autosuspenduInfo
- Publication number
- CA1124829A CA1124829A CA320,386A CA320386A CA1124829A CA 1124829 A CA1124829 A CA 1124829A CA 320386 A CA320386 A CA 320386A CA 1124829 A CA1124829 A CA 1124829A
- Authority
- CA
- Canada
- Prior art keywords
- crystal
- bridges
- central
- intermediate zone
- resonator according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
- H01P7/00—Resonators of the waveguide type
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders or supports
- H03H9/0595—Holders or supports the holder support and resonator being formed in one body
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
- Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
Abstract
L'invention est relative à un résonateur piézo électrique qui conprend un cristal muni d'une partie périphérique externe reliée à une partie centrale par une zone intermédiaire qui présente une faible longueur dans le sens radial, est évidée dans sa majeur et inclus au moins deux ponts de liaison entre les parties externe et centrale. Des électrodes sont disposées en regard de l'une des parties externe et centrale du cristal qui constitue alors la partie vibrante du résonateur. La partie externe non vibrante sert de support au cristal. Les ponts de liaison ne forment aucune discontinuité avec la partie vibrante. Application à la réalisation d'oscillateurs notamment aux très hautes fréquences.
Description
~L24~32~ ~
La présente invention a pour objet un résonateur piézoélectrique à cristal autosuspendu, du type comprenant un cristal muni d'une partie périphérique Eormant bague reliée à une partie centrale par une zone intermediaire qui présente une faible longueur dans le sens radial, est évidée dans sa majeure partie et comprend au moins deux ponts de liaison pour rendre solidaires l'une de l'autre la partie centrale et la partie périphérique, et deux moyens de création d'un champ électrique alternatif excitateur disposés en regard respective-ment de chacune des faces de l'une des parties centrale etpériphérique qui constitue alors la partie active vibrante du résonateur, l'autre partie non soumise au champ électrique constituant une partie de support pour le résonateur.
On connaît déjà des résonateurs piézoélectriques, dans lesquels la partie active du cristal est suspendue ~
l'intérieur d'un boitier par l'intermédiaire d'une partie du cristal de base qui est reliée a la partie active par une zone `
intermédiaire présentant, au moins sur une partie de sa longueur radiale, une épalsseur-rédùite par rapoort à l'épaisseu~
de la partie active et de la partie servant de support a l'intérieur d'un boitier étanche.
L'auto-suspension d'un cristal de résonateur piézo-électrique apporte des avantages importants concernant la facilité de réalisation et les performances du résonateur. La partie active du cristal est en effet reliée à la partie formant support par une zone intermédiaire qui est une partie ~ ~
du cristal de base et ne comporte ainsi aucun élément étranger ;
apporté par exemple par soudure, collage.
Un cristal auto-suspendu du type précité peut être muni d'électrodes disposées sur sa partie active, ou coopérer avec des électrodes indépendantes déposées sur des disques ou plateaux disposés en regard du cristal. De meme, la partie active du cristal peut être constituée par la partie centrale du cristal ou par la partie périphérique, selon l'emplacement des électrodes par rapport a ces parties.
Les résonateurs piézoélectriques à cristal auto-suspendu connus présenten-t toutefois certaines insuffisances du fait que la zone intermédiaire entre partie active et partie formant support doit être soumise à un usinage pour provoquer un amincissement de cette zone. Cette opération augmente le cout de fabrication du résonateur tout en augmentant la fragilité et notamment la sensihilité aux accélérations.
La présente invention vise précisément à remédier aux inconvénients précités et à permettre l'obtention de façon simplifi.ée de résonateurs à hautes performances présentant en outre des qualités mécaniques et électriques améliorées.
Ces buts sont atteints grâce à un résonateur du type mentionné au début, dans lequel, conformément à l'invention, au niveau des ponts de la zone intermédiaire, chaque surface extérieure du cris-tal présente une continuité de plan tangent avec la surface extérieure correspondante au moins de la partie active du cristal.
De préférence, au niveau des ponts de la zone intermédiaire, chaque surface extérieure du cristal présente une continuité de plan tangent avec la surface extérieure correspondante à la fois de la partie active et de la partie de support du cristal.
Ainsi, il est apparu de facon surprenante que les qualités du résonateur peuvent être excellentes même 5i, con-trairement ~ l'enseignement de l'art antérieur, les ponts de liaison entre partie active et partie périphérique du crlstal ne sont pas amincis, c'est-à-dire si la partie intermé-dlaire du cris-tal ne présente pas sur tOIlt son pourtour une épaisseur réduite par rapport à l'épaisseur des parti.es centrale
La présente invention a pour objet un résonateur piézoélectrique à cristal autosuspendu, du type comprenant un cristal muni d'une partie périphérique Eormant bague reliée à une partie centrale par une zone intermediaire qui présente une faible longueur dans le sens radial, est évidée dans sa majeure partie et comprend au moins deux ponts de liaison pour rendre solidaires l'une de l'autre la partie centrale et la partie périphérique, et deux moyens de création d'un champ électrique alternatif excitateur disposés en regard respective-ment de chacune des faces de l'une des parties centrale etpériphérique qui constitue alors la partie active vibrante du résonateur, l'autre partie non soumise au champ électrique constituant une partie de support pour le résonateur.
On connaît déjà des résonateurs piézoélectriques, dans lesquels la partie active du cristal est suspendue ~
l'intérieur d'un boitier par l'intermédiaire d'une partie du cristal de base qui est reliée a la partie active par une zone `
intermédiaire présentant, au moins sur une partie de sa longueur radiale, une épalsseur-rédùite par rapoort à l'épaisseu~
de la partie active et de la partie servant de support a l'intérieur d'un boitier étanche.
L'auto-suspension d'un cristal de résonateur piézo-électrique apporte des avantages importants concernant la facilité de réalisation et les performances du résonateur. La partie active du cristal est en effet reliée à la partie formant support par une zone intermédiaire qui est une partie ~ ~
du cristal de base et ne comporte ainsi aucun élément étranger ;
apporté par exemple par soudure, collage.
Un cristal auto-suspendu du type précité peut être muni d'électrodes disposées sur sa partie active, ou coopérer avec des électrodes indépendantes déposées sur des disques ou plateaux disposés en regard du cristal. De meme, la partie active du cristal peut être constituée par la partie centrale du cristal ou par la partie périphérique, selon l'emplacement des électrodes par rapport a ces parties.
Les résonateurs piézoélectriques à cristal auto-suspendu connus présenten-t toutefois certaines insuffisances du fait que la zone intermédiaire entre partie active et partie formant support doit être soumise à un usinage pour provoquer un amincissement de cette zone. Cette opération augmente le cout de fabrication du résonateur tout en augmentant la fragilité et notamment la sensihilité aux accélérations.
La présente invention vise précisément à remédier aux inconvénients précités et à permettre l'obtention de façon simplifi.ée de résonateurs à hautes performances présentant en outre des qualités mécaniques et électriques améliorées.
Ces buts sont atteints grâce à un résonateur du type mentionné au début, dans lequel, conformément à l'invention, au niveau des ponts de la zone intermédiaire, chaque surface extérieure du cris-tal présente une continuité de plan tangent avec la surface extérieure correspondante au moins de la partie active du cristal.
De préférence, au niveau des ponts de la zone intermédiaire, chaque surface extérieure du cristal présente une continuité de plan tangent avec la surface extérieure correspondante à la fois de la partie active et de la partie de support du cristal.
Ainsi, il est apparu de facon surprenante que les qualités du résonateur peuvent être excellentes même 5i, con-trairement ~ l'enseignement de l'art antérieur, les ponts de liaison entre partie active et partie périphérique du crlstal ne sont pas amincis, c'est-à-dire si la partie intermé-dlaire du cris-tal ne présente pas sur tOIlt son pourtour une épaisseur réduite par rapport à l'épaisseur des parti.es centrale
2~
et périphérique. Selon l'invention, il est su~fisant que la zone intermédiaire du cristal soit éviclée dans sa majeure partie, et les ponts de liaison sont avantageusement réalisés sans former de discontinuité avec les parties centrale et périphérique. Ceci conduit à une amélioration des performances car les ponts non amincis peuvent présenter une largeur réduite La sensibilité du cristal aux accélérations est également réduite, car il suffit de réaliser dans la zone -intermédiaire des évidements par exemple par usinage ultra~
sonore et un rodage de la zone intermédiaire n'est plus nécessaire. Ceci conduit à une simplification de la fabrica-tion tout en réduisant la fragilité du résonateur~
L'invention est naturellement applicable a des cristaux de for~es diverses: biplan, biconvexe, ~lan-convexe.
Selon une caractéristique préférentielle, la largeur de chaque pont représente une fraction de la zone intermédiaire qui est inférieure ou égale à environ ~uatre centièmes de la longueur de la courbe moyenne de la zone intermédiaire.
Plus particulierement, la largeur de chaque pont représente une ~raction de la ~one intermédiaire qui est comprise entre environ trois mill;èmes et un centi~me de la longueur de la courbe moyenne de la zone intermédiaire.
La qualité du résonateur est particulièrement bonne si les ponts de la zone intermédiaire sont disposés selon des directions qui correspondent a un minimum absolu ou relati~
du module d'Young pour le cristal ou si les ponts de la zone intermédiaire sont disposés selon des directions qui corres-pondent à un maximum absolu ou relatif d~ module d'Young pour le cristal.
Selon un mode particulier de réalisation, le cristal %~
comprend dans sa zone intermédiaire -trois ponts de liaison disposés à 120 les uns des autres, l'un des ponts de liaison étant disposé selon l'axe ZZ' du cristal.
Du fait que la zone intermédiaire n'a pas à ê-tre amincie dans toute sa surface, e-t qu'elle peut ne comporter que des évidements séparés par des ponts non amincis, il est aisé de réaliser des contours de la zone intermédiaire qui ne sont pas circulaires, ce qui cc)nduit à une structure avantageuse dans la mesure où les symétries du cristal peuvent être respectées. Dans ce cas, la partie ac.tive vibrante du cristal présen-te du côté de la zone intermédiaire un contour non circulaire tel que l'onde de cisaillement-compression générée par le cisaillement d'épaisseur désiré clu cristal atteigne chaque point dudit contour de la partie active en même temps.
La struc-ture définie dans le cadre de la présente invention est susceptible de.conduire à de nombreuses applica-tions avantageuses. Ainsi, il est possible de réaliser des résonateurs fonctionnant a très haute fréquence et mettant en oeuvre des cristaux présentant une très faible épaisseur pu.i.sque les ponts de liaison p~uvent présenter la meme épaisseur que les autres parties du cristal.
Ainsi, l'invention concerne notamment une application à un résonateur U~F à cristal piézoélectrique, comprenant une cavi-té réentrante constituée par une portion de li~ne coaxiale fermée dont le conducteur central est interrompu à l'une de ses extrémités pour former un espace libre de faible épaisseur entre le conducteur central de la cavité et l'ex-trémité de la ligne qui constituent l'analogue d'armatures créant un champ électrique, et un cristal piézoélectrique de faible épaisseur, lequel cristal es-t interposé entre lesdites armatures de la cavité réentrante, caractérisé en ce que le :
~.~L2~
cristal piézoélectrique es-t muni d'une partie périphérique formant bague reliée à une partie centrale par une zone intermédiaire qui présente une faible longueur dans le sens radial, est évidée dans sa majeure partie et comprend au moins ;~
deux ponts de liaison rendant solidaires :L'une de l'autre ~-les parties centrale et périphérique, et en ce que au niveau des ponts de la zone inter~édiaire chaque surface extérieure du cristal présente une continuité de plan tangent avec la surface extérieure correspondante au moins de celle des parties centrale et périphérique du crlstal qui est située entre les-dites armatures de la cavité réentrante et constitue la partie active vibrante du cristal.
Selon une variante, la cavité réentrante est munie d'un cylindre creux en quartz ou silice, le conducteur central est réalisé par métallisation de la surface interne dudit c~lindre creux et le conducteur extérieur de la cavité réentran- -~te est constitué par métallisation de la surface externe dudit cylindre creux.
D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention apparaitront mieux à la lecture de la description qui fait suite de modes particuliers de réalisation, donnés uniquement à titre d'exemples non limitatifs, en référence aux dessins annexés sur lesquels:
- la figure 1 est une vue de dessus d'un premier .
mode de réalisation de cristal auto suspendu pour un résonateur selon l'invention, - la figure 2 est une vue en coupe du cristal de la figure 1 prise selon la ligne II-II, - la figure 3 est une vue schématique en coupe axiale montrant les éléments principaux d'un exemple de résonateur selon l'lnvention, en vue éclatée.
- les figures 4 à 6 sont des vues de dessus complè-tes _ 5 _ ou partielles de différents modes particuliers de réalisation de cristaux piézoélectriques auto suspendus pour un résonateur selbn l'invention, et - les figures 7 et 8 sont des vues en coupe axiale d'exemples de résonateurs UHF selon la présente invention.
La figure 1 représente un cristal piézoélectrlque 1, par exemple en quartz, qui comprend une partie centrale 11 et une partie périphérique 12 séparées par une zone intermédiaire 13. La zone intermédiaire 13 est constituée par des ponts de liaison 132 séparés par des évidements 131. Les évidements 131 couvrent la majeure partie de la zone intermédiaire 13 et les ponts de liaison 132 sont de faible largeur. Comme on peut le voir sur la figure 2, il y a une continuité du plan tangent pour c~racune des surfaces extérieures 14 et 15 du cristal 1 dans les zones centrale 11 et intermédiaire 13 au niveau des pon-ts 132, c'est-à-dire que les ponts 132 prolongent la partie cen-trale 11 sans discontinuité. Le type de cristal représenté
sur les figures 1 et 2 qui présente une partie périphérique 12 d'épaisseur accrue est adapté pour fonctionner dans un résonateur tel que par exemple celui représenté sur la figure 3, c'est-à-dlre un résonateur dans lequel le champ électrique alternatif excitateur agit sur la partie centra] du cristal pour faire vibrer celle-ci~ Dans le cas où le cris-tal piézoélectrique doit être incorporé dans un résonateur dans lequel le champ électrique exci-tateur est créé au niveau de la partie périphéri-que du cristal, qui constitue alors la partie active vibrante, c'est naturellement cette dernière partie qui doit être reliée aux ponts de liaison sans discontinuité au niveau des surfaces extérieures des parties périphérique et intermédiaire du cristal, tandis que la partie centrale formant moyen de support peut présenter une épaisseur accrue par rapport notamment à l'épais-seur des ponts de lîaison.
fl~9 Un cristal piézoélectrique du résonateur peut de ~açon intéressante avoir deux surfaces extérieures 14,15 qui, au niveau des ponts de liaison 13Z ne présentent aucune dis-continuité. Il y a dans ce cas une continuité de plan tangen-t pour chacune des surfaces 1~ et 15 du cristal entre la partie centrale 11, les ponts 132 de la zone intermédiaire 13 et la ~artie périphérique 12 (figure 3). Dans ce cas, la facilité
de fabrication est particulièrement grande, puisqu'il suffit de former dans le cristal des évidements 131, par exemple par usinage ultrasonore, sans qu'aucun rodage supplémentaire pour amincir l'une des parties centrale 11, intermédiaire 13 ou périphérique 12 ne soit nécessaire.
D'une fa,con générale, l'absence d'amincissement au niveau des ponts de liaison 132 réduit l'usinage nécessaire, donc le coût de résonateur -tout en réduisant les contraintes de type cisaillement engendrees par tout usinage, ce qui conduit à une meilleure insensibilité aux accélérations (par exemple pour un cristal de quartz de coupe AT, la sensibilité aux accélérations peut être inférieure ~ environ 5 10 10/g, sans diminution des autres qualités du résonateur). Outre l'absence de contraintes du -type cisaillement, le fait de conserver au niveau des porlts de liaison toute l'épaisseur du crist.al augmente la robustesse et dans de nornbreux cas le coefficient de surtension Q du résonateur.
Lorsque l'on désire réaliser une partie support, par exemple la partie périphérique 12, ayant une épaisseur renforcée, il suffit selon un procédé facile à mettre en oeuvre, de recou-vrir temporairement cette partie 12 de cire, puis de pratiquer une légare attaque uniforme de la partie centrale active 11 et des ponts de liaison 132, par exemple au bifluorureO On .
obtient ainsi, comme dans le cas des figures 1 et 2, un retrait général uniforme au niveau des parties centrale et intermédiaire du cristal, lequel retrait peut être très faible, et inférieur à quelques microns.
La -figure 3 représente un résonateur à électrodes non adhérentes au cristal qui, conformément à l'invention comprend un cristal 1 auto suspendu à ponts 132 non amincis.
Deux électrodes 4 et 5 sont déposées sur cleux plateaux support 2 et 3 respectivement, sur les faces 20,30 de ces plateaux disposées en regard du cristal 1. Les électrodes ~,5 reliées à des fils d'alimentation 8,9 respectivement, sont disposées essentiellement en regard de la partie cen-trale 11 du cristal qui constitue dans ce cas la partie active vibrante. La partie périphérique 12 du cristal sert de support pour ce dernier entre les deux pla-teaux 1 et 2. De minces couches métalliques 6,7 sont avantageusement déposées sur la périphérie des faces internes 20,30 des plateaux 2,3 pour coopérer avec la partie périphérique 12 du cristal afin de déterminer de faibles espaces libres entre les électrodes 4,5 et les ~aces extérieures des parties centrale et intermédiaire du cristal 1 La structure de cristal auto-suspendu dé~inie dans le cadre de la présente demande est naturellernent applicable à des résonateurs du type à électrodes adhérentes au cristal.
Dans ce cas, les électrodes sont déposées sur les faces externes de la partie du cristal devant vibrer, et le raccorde-ment des électrodes aux fils de connexion peut s'effectuer au niveau de la partie du cristal formant support. Un dépôt métallique constituant un chemin de raccordement entre une électrode et un point de connexion passe par l'un des ponts du cristal, et la réalisation d'un tel dépôt est facilité
puisque, conformément à la présente invention, le pont n'est pas aminci.
Il est particulièrement intéressant que la largeur des ponts 132 d'un cristal piézoélectrique d'un résonateur .
.. . . .. . .
soi-t réduite. De façon préfé.rentielle, la largeur moyenne 1 de chaque pont 132 représen-te une fraction de la zone intermé-diaire 13 du cristal qui est inférieure ou égale à environ quatre centièmes de la longueur de la courbe moyenne C de la ~ ;
zone intermédiaire 13 et plus particulièrement est comprise entre environ trois millièmes et un centième de la longueur de ladite courbe moyenne C de la zone intermédiaire 13.
A titre d'exemple, il a été réallsé des cristaux de résonateur à 5 ~Hz, mode partiel 5 présentant une partie centrale 11 de 15 mm de diamètre, une circonférence moyenne C
de 17 mm ~e diamètre, et une largeur 1 de ponts comprise, pour chaque pont dans une plage allant d'environ 2 dixièmes de mm ~ ;~
à 2 mm.
Les ponts de liaison 132 sont avantageusement s.itués selon des directions qui correspondent à un extremum absolu ou relatif du module d'Young pour le cristal.
La figure 1 représente un cristal a quatre ponts 132 situés selon les axes XX' et ZZ' du cr.istal. Sur la figure ~, on peut voir trois ponts 132 disposés à 120 les uns des autres, l'un des ponts étant situé selon l'axe ~Z' du cristal.
Sur la figure 5, on voit un,cristal suspendu par seulement deux ponts 132 situés selon l'axe ZZ' du cristal. La localisa-tion et le nombre de ponts peuvent être d.ifférents selon les applications envisagées.
La forme même de la partie active vlbrante du cristal reliée à la partie formant support par les ponts de liaison peut être adaptée à la nature du cristal utilisé. Ainsi, sur la figure 6, on voit une partie centrale 11, destinée ~
constituer la partie active du cristal, qui présente du côté
de la zone intermédiaire 13 un contour 110 non cir~ulaire tel que l'onde de cisaillement compression générée par le cisaillement d'épai.sseur désiré du cristal 1 atteigne chaque g L2~
point dudit contour 110 de la partie active 11 en même temps.
Le contour non circulaire 110 respecte ainsi les symétries du cristal et, comme représenté par exemple sur la figure 6, le contour 110 est légèrement étiré selon llaxe ZZ' du cristal.
Du fait que le contour 110 est prévu pour que l'onde de cisaille-ment-compression générée atteigne chaque point de la frontière 110 de la pastille centrale 11 en même temps, l'onde de retour après réflextion, est en phase avec l'onde principale. Dans le cas où la partie active du cristal 1 est constituée par la partie périphérique externe 12, c'est naturellement le contour -~
interne 120 qui peut alors affecter une forme non circulaire.
L'adaptation de la forme du contour de la partie active du cristal conduit à améllorer la pureté du spectre de Eréquences obtenu tout en conservant un même coefficienk de quali-té.
Comme on peut le voir notamment sur les figures 1,4,5 et 6, la forme des ponts peut être variée. Ainsi, la figure 1 montre des ponts radiaux présentant une largeur sensiblement constante. Au contraire, la figure 4 montre des ponts de liaison 132 qui présentent des bords latéraux 133 qui convergent vers la partie active du cristal, constitué selon l'exemple de la figure 4, par la partie centrale 11. Des ponts de liaison tels que représentés sur la figure 4 présentent ainsi une largeur réduite du côté de leur portion 134 de rattachement à la partie active du cristal, tandis que les faces supérieure et inférieure de tels ponts restent dans le prolongement des surfaces supérieure et inférieure de la partie active du cristal. La figure 5 montre un autre type de ponts de liaison 132 qui présen-tent des bords latéraux 135 convexes de manière à produire en largeur un renflement 136 dans la partie centrale du pont. Sur la figure 6, on voit des ponts de liaison 132 dont les bords latéraux 137 ont un profil sensibler~lent sinuso~i-dal. Les diverses Eormes que peuvent adopter les ponts de ~2~
liaison 132, vus de dessus, permetten-t de rnodiEier l'adapta-tion mécanique au niveau des liaisons entre les parties active et non active du cristal. Ces formes de ponk ne modifient pas la caractéristique selon laquelle l'épaisseur des ponts est en continuité avec l'épaisseur au moins de la partie active du cristal. Par ailleurs, il convient de noter que la forme des ponts représentés sur les figures n'est pas liée impérativement à la forme des parties centrale 11 ou périphérique 12 ou au nombre des ponts.
Un cristal piézoélectrique auto-suspendu à ponts non amincis, tel que décrit en référence aux différentes figures est particulièrement adapté pour être incorporé dans un résonateur à très haute fréquence.
On sait que les résonateurs à très haute fréquence sont particulièrement délicats à réaliser. En particulier, des résonateurs de type classique a électrodes adhérentes peuvent fonctionner jusqu1à environ 300 MHz, avec un coefficient de surtension Q d'environ 18000.
Toutefois, du fait que de tels résonateurs sont à
électrodes adhérentes, l'effet du dépat métallique affecte une partie importante de :L'épaisse~r globale du cristal, qui est très faible (de l'ordre de 5 à 20 microns). L'effet de freinage dû au dépôt d'une électrode devient alors prohibitif. Une amélioration au type classique de résonateurs peut être apportée dans la mesure où l'on utilise un résonateur du type à électrodes non adhéren-tes. Toutefois, l'impédance correspon-dant à la capacité statique du résonateur devient tres faible pour des très hautes fr~quences, de sorte que les résonateurs ~ classiques de type à électrodes adhérentes ou non restent limités à des fréquences inférieures à environ 500 ~1z, par suite des difficultés qui apparaissent pour maintenir une différence de po-tentiel aux bornes des électrodes du résonateur.
82~
Les résonateurs à tres hautes fréquences, supérieures à environ 500 MnIz ne mettent ainsi plu9 en oeuvre deux électro-des à des potentiels différents créant un champ électrique réel, mais utilisen-t les propriétés des circuits à constantes ~ -~
réparties et nécessitent la mise en oeuvre d'une cavi-té réentran-te, dans laquelle les armatures espacées créant le champ électrique sont au même potentiel. L'utilisation de cavités réentrantes pour résonateurs à tr~s hautes fréquences a été
décrite en particulier dans un article de Ellen S. S-tewart et James L. Stewart publié dans "The journal of the acoustical Society of America", vol. 35, N 7 de Juillet 1963, pp. 975 ~:
à 981. Une cavité réentrante étant un circuit à constantes réparties, le maintien d'un champ électrique entre les armatures de la cavité entre lesquelles est placé un cristal de quartz est possible même avec des cris-taux de faible épai.sseur.
Toutefois, il s'est avéré que la mise en oeuvre de fines lames de quartz présentant la forme de plaques ou disques sans évidements conduit à des résultats médiocres par suite des :
pertés d'énergie acoustique au voisinage des bords de la lame.
Par ailleurs, la mise en oeuvre des cristaux piézoélectrique .
du type autosuspendus présenta~t une partie centrale et une ~.
partie périphérique séparées par une zone intermédiaire ~.
amincie n'est pas envisageable, car, compte tenu de la faible épaisseur des cristaux utilisés aux très hautes fréquences, la résistance mécanique deviendrait trop ~aible. La présente :
invention permet précisément de réaliser des résonateurs VHF
de très bonne qualité grâce à la mise en oeuvre de cristaux pi.ézoélectriques du type comprenant une partie périphérique 12 formant bague reliée à une partie cen-trale 11 par une zone intermediaire 13 qui presente une faible longueur dans le sens radial, est évidée dans sa majeure partie et comprend au moins deux ponts de ll.ai.son 132 au niveau desquels chaque surface extérieure du cristal présente une continuité de plan tangent :~
avec la surface extérieure correspondante au moins de la partie du cristal qui constitue la partie active vibrante située entre les armatures définissant le champ électrique d'excita-tion. De la sorte, il est possible de réaliser des résonateurs VIIF présentant à la fois une grande robustesse et un coefficient de qua].ité élevé. En effet, la partie active vibrante est : isolée de la partie formant support par la zone intermédiaire 13 comprenant,des ponts de liaison 132, de sorte que les pertes d'énergie acoustique au voisinage des bords de la partie active du cristal sont réduites, sans que la fra~ilité du, dispositif soit augmentée.
Des modes particuliers de réalisation de résonateurs V~-IF selon l'invention sont représentés sur les figures 7 et 8.
Sur la figure 7, on voit un résonateur VH~ comprenant une cavité réentrante 200 constituée par une portion de ligne coaxiale fermée avec un conducteur extérieur 204 et un conduc-teur centrai 205. Ce dernier est interrompu à l'une de ses ~ extrémités pour former une armature 250. La partie supérieure de la cavité qui constitue une extrémité de la ligne coaxiale constitue une deuxième armature 240 qui est reliée électriquement au conducteur extérieur 204. Dans l'espace libre situé entre les armatures 240 et 250 es-t interposé un cristal piézoélectri-que 1, de pré~érence plan-plan, du type autosuspendu à ponts 132 non amincis, et pouvant présenter une ou plusieurs des caractéristiques décrites en référence aux figures 1 à 6.
Dans la partie 202 de la cavité réentrante située ~' entre le conducteur central 205 et le conducteur extérieur 204, le champ électrique est radial, tandis que dans liespace libre compris entre l'armature inférieure 250 et l'extrémité de la ligne 240 ~ormant le couvercle de la cavité réentrante, le champ électrique est normal aux armatures. Le cristal de quartz 1 est ainsi placé dans le champ électrique normal à
l'armature 250. L'espace libre 202 de révolution compris entre les conducteurs extérieur 204 et intérieur 205 est avantageuse-ment rempli par un bloc de quartz ou de sllice, ce qui permet de réduire les dimensions de la cavité 200 par rappor-t ~ une cavité qui comprendrait un espace libre 202 rempli d'air. Le cristal de quartz 1 repose par sa partie périphérique 12 sur le bloc diélectrique 202, mais pourrait également reposer sur des encoches réalisées dans le conducteur extérieur 20~. Un espace libre est ménagé entre l'armature inférieure 250 et la face inférieure des parties centrale 11 et intermédiaire 13 du crista7 1, Cet espace libre peut être réalisé soit du fai-t que l'arrnature 250, ou extrémité du conducteur central 205 est lé~èrement en retrait par rapport ~a la surface supportant la partie périphérique 12 du cristal (figure 7), soi.t du fait que la surface inférieure 15 des parties centrale 11 et intermédi- ;
aire 13 du cristal 1 est elle-même légèremen-t en retrai-t par rapport à la surface inférieure de la partie périphérique 12 du cristal (figure 8). La positi.on du couvercle 2~0 de la cavité 200 est également ajustable au moins dans sa partie cen-trale 2~1, par rappor-t au conducteur externe 204 de manière ~ régler l'espace libre entre la face supérieure 1~ du cristal et le couvercle ou armature supérieure 2~0, et ainsi ajuster la fréquence de la cavité. La position du cristal 1 peut être rendue fixe par exemple par collage ou thermocompression de la face inférieure de la partie non vibrante 12 du cristal sur le support inférieur constitué par le bloc 202 ou une partie du conducteur 20~.
La portion centrale 11 et les ponts 132 de la zone intermédiaire 13 peuvent présenter une épaisseur très réduike, par exemple comprise en-tre environ 5 et 30 microns. La par-tie periphérique peut en revanche présenter, au moins sur une , partie de sa longueur, une épaisseur plus importante (figure 8), de fa~on notamment à être plus maniable. La partie vibrante 11 du crlstal, limitée par les évidements 131 de la zone intermé~
diaire 13 et rattachée à la partie 12 forrnant support par les ponts de liaison 132, de faible largeur, mais d'épaisseur non réduite, est parfaitement délimitée à l'intérieur de l'espace libre situé entre les armatures 204 et 205.
- ' Comme cela apparaît sur les figures 7 et 8, une cavité
réentrante 200 est munie de deux boucles de couplage 208, 209 ayant chacune une extrémité reliée à la masse de la cavité et l'autre extrémité 280, 2~0 respectivement reliée par l'intermé~
diaire dlun conduit isolé à un générateur d'excitation fonction-nent dans la bande de fréquence de la cavité et dont la fréquence est ~odulée. Chaque boucle 208, 209 pénètre dans un évidemen-t ménagé radialement à la 'base du bloc 202.
La cavité réentrante excitée par les boucles de couplage 280, 290 présente une courbe de résonance pour une plage -' de fréquences ajustable par action sur le couvercle 240 ou une ~ partie mobile 241 de celui-ci~ La présenc~ du cristal piézo-électrique 1 dans l'intervalle inter-armatures 2~0,250 provoque une crevasse dans :La courbe de,résonance de la cavité lorsqu'une fr~Squence de résonance d'un mode partiel du cristal est située dans la bande passante dans la cavité. La "crevasse" correspond à l'absorption d'énergie électrique par le cristal nécessaire à l'excitation du partiel considéré. Par l'exploitation d'une telle crevasse d'absorption, il es-t possible de réaliser des oscillateurs très précis à très haute fréquence.
Le coefficient de qualité d'un résonateur piézoélectri-que à très haute fréquence dépend beaucoup de la -température.
~insi, à température ordinaire et aux fréquences supérieures au GHz, llaugmentation du coefficient d 'atténuation ~ du quartz devient en général prohihl-tive.~'est pourquoi un résonateur du type : `
décrit en référence aux figures 7 et 8 doit pouvoir fonctionner à très basse température pour permettre une compensation de ::
l'accroissement du coefficient d'atténuation du quartz.
Le mode de réalisation de résonateur de la figure 8 ~ est particulièrement adapté pour un travail à basses tempéra-: tures. En effet, la cavlté réentrante 200 n'est pas constituée essentiellement en un métal, tel que du laiton, mais comprend comme élément de base une pièce de quartz 202 constituée par une pièce creuse de révolution. La pièce de quartz 202 es-t entière-~o rr.ent métallisé sur ses faces interne 2t externe, ainsi que sur sa face inférieure pour former un conducteur externe 204 et un con-ducteur cen-traL 205. Dans l'espace .interne la pièce 202 on intro- ;
duit un bloc 220 qui est constitué par un cylindre de quartz en-tièrement métallisé sur toutes ses faces,et s'ajuste exactement à
l'orifice central de la pièce 202. Ainsi, la face plane métal- :
lisée supérieure 250 du bloc 220 constitue l'armature inférieure de l'espace libre contenant le cristal 1. Le couvercle 240 de la cavité es-t également constitué par une pièce de quartz entièrement métallisée. Le couvercle 240 présente de préférence :
une par-tie saillante 241 sur sa face interne dans la zone tournée vexs la partie active 1l du cristal 1. L'ajustement par rodage du couvercle 240 permet de régler la fréquence de la cavité. La réalisation d'un résonateur VHF ~ partir d'une cavité réentrante 200 entièrement en quartz, comme dans le mode .~.
de réalisation de la figure 8 permet de diminuer à la fois les dimensions de la cavité et les contraintes thermiques-.
Utilisée en combinaison avec un cristal autosuspendu du type à ponts de liaison non ami.ncis, tel que défini dans la présen-te ~ demande, une cavité réentrante entièrement en quartz est propre à constituer un résonateur UHF de très haute qualité. Avec un résonateur du type décrit en référence à la figure 8, placé
50US vide, avec des dimensions à lGHz, il a été possible d'obtenir a 1 Gllz des coefficients de surtension compris entre environ 50.10 et 100.103. Dans un tel type de résonateur 1 GHz, la pièce de base en quartz métallisé 202 (sauf sur sa face supérieure) a par exemple les dimensions suivantes :
hauteur 6,2 mm, diamètre externe 6,77 mm, diamètre interne 2,6 mm.
Divers essais réalisés avec un intervalle entre armatures 250, 240 de l'ordre de 100 microns ont conduit à
d'excellents résultats, notamment avec des cristaux de quartz de coupe AT ou SC, biplans ou plan convexe ayan-t dans leurs parties active et intermédiaire une épaisseur comprise entre environ 5 et 30 microns.
Bien entendu, diverses modifications et adjonctions peuvent être apportées par l'homrne de l'art aux dispositifs qui ` viennent d'être décrits, uniquement à titre d'exemples non limitatifs, sans sortir du cadre de l'invention.
' ..
;- ..
et périphérique. Selon l'invention, il est su~fisant que la zone intermédiaire du cristal soit éviclée dans sa majeure partie, et les ponts de liaison sont avantageusement réalisés sans former de discontinuité avec les parties centrale et périphérique. Ceci conduit à une amélioration des performances car les ponts non amincis peuvent présenter une largeur réduite La sensibilité du cristal aux accélérations est également réduite, car il suffit de réaliser dans la zone -intermédiaire des évidements par exemple par usinage ultra~
sonore et un rodage de la zone intermédiaire n'est plus nécessaire. Ceci conduit à une simplification de la fabrica-tion tout en réduisant la fragilité du résonateur~
L'invention est naturellement applicable a des cristaux de for~es diverses: biplan, biconvexe, ~lan-convexe.
Selon une caractéristique préférentielle, la largeur de chaque pont représente une fraction de la zone intermédiaire qui est inférieure ou égale à environ ~uatre centièmes de la longueur de la courbe moyenne de la zone intermédiaire.
Plus particulierement, la largeur de chaque pont représente une ~raction de la ~one intermédiaire qui est comprise entre environ trois mill;èmes et un centi~me de la longueur de la courbe moyenne de la zone intermédiaire.
La qualité du résonateur est particulièrement bonne si les ponts de la zone intermédiaire sont disposés selon des directions qui correspondent a un minimum absolu ou relati~
du module d'Young pour le cristal ou si les ponts de la zone intermédiaire sont disposés selon des directions qui corres-pondent à un maximum absolu ou relatif d~ module d'Young pour le cristal.
Selon un mode particulier de réalisation, le cristal %~
comprend dans sa zone intermédiaire -trois ponts de liaison disposés à 120 les uns des autres, l'un des ponts de liaison étant disposé selon l'axe ZZ' du cristal.
Du fait que la zone intermédiaire n'a pas à ê-tre amincie dans toute sa surface, e-t qu'elle peut ne comporter que des évidements séparés par des ponts non amincis, il est aisé de réaliser des contours de la zone intermédiaire qui ne sont pas circulaires, ce qui cc)nduit à une structure avantageuse dans la mesure où les symétries du cristal peuvent être respectées. Dans ce cas, la partie ac.tive vibrante du cristal présen-te du côté de la zone intermédiaire un contour non circulaire tel que l'onde de cisaillement-compression générée par le cisaillement d'épaisseur désiré clu cristal atteigne chaque point dudit contour de la partie active en même temps.
La struc-ture définie dans le cadre de la présente invention est susceptible de.conduire à de nombreuses applica-tions avantageuses. Ainsi, il est possible de réaliser des résonateurs fonctionnant a très haute fréquence et mettant en oeuvre des cristaux présentant une très faible épaisseur pu.i.sque les ponts de liaison p~uvent présenter la meme épaisseur que les autres parties du cristal.
Ainsi, l'invention concerne notamment une application à un résonateur U~F à cristal piézoélectrique, comprenant une cavi-té réentrante constituée par une portion de li~ne coaxiale fermée dont le conducteur central est interrompu à l'une de ses extrémités pour former un espace libre de faible épaisseur entre le conducteur central de la cavité et l'ex-trémité de la ligne qui constituent l'analogue d'armatures créant un champ électrique, et un cristal piézoélectrique de faible épaisseur, lequel cristal es-t interposé entre lesdites armatures de la cavité réentrante, caractérisé en ce que le :
~.~L2~
cristal piézoélectrique es-t muni d'une partie périphérique formant bague reliée à une partie centrale par une zone intermédiaire qui présente une faible longueur dans le sens radial, est évidée dans sa majeure partie et comprend au moins ;~
deux ponts de liaison rendant solidaires :L'une de l'autre ~-les parties centrale et périphérique, et en ce que au niveau des ponts de la zone inter~édiaire chaque surface extérieure du cristal présente une continuité de plan tangent avec la surface extérieure correspondante au moins de celle des parties centrale et périphérique du crlstal qui est située entre les-dites armatures de la cavité réentrante et constitue la partie active vibrante du cristal.
Selon une variante, la cavité réentrante est munie d'un cylindre creux en quartz ou silice, le conducteur central est réalisé par métallisation de la surface interne dudit c~lindre creux et le conducteur extérieur de la cavité réentran- -~te est constitué par métallisation de la surface externe dudit cylindre creux.
D'autres caractéristiques et avantages de la présente invention apparaitront mieux à la lecture de la description qui fait suite de modes particuliers de réalisation, donnés uniquement à titre d'exemples non limitatifs, en référence aux dessins annexés sur lesquels:
- la figure 1 est une vue de dessus d'un premier .
mode de réalisation de cristal auto suspendu pour un résonateur selon l'invention, - la figure 2 est une vue en coupe du cristal de la figure 1 prise selon la ligne II-II, - la figure 3 est une vue schématique en coupe axiale montrant les éléments principaux d'un exemple de résonateur selon l'lnvention, en vue éclatée.
- les figures 4 à 6 sont des vues de dessus complè-tes _ 5 _ ou partielles de différents modes particuliers de réalisation de cristaux piézoélectriques auto suspendus pour un résonateur selbn l'invention, et - les figures 7 et 8 sont des vues en coupe axiale d'exemples de résonateurs UHF selon la présente invention.
La figure 1 représente un cristal piézoélectrlque 1, par exemple en quartz, qui comprend une partie centrale 11 et une partie périphérique 12 séparées par une zone intermédiaire 13. La zone intermédiaire 13 est constituée par des ponts de liaison 132 séparés par des évidements 131. Les évidements 131 couvrent la majeure partie de la zone intermédiaire 13 et les ponts de liaison 132 sont de faible largeur. Comme on peut le voir sur la figure 2, il y a une continuité du plan tangent pour c~racune des surfaces extérieures 14 et 15 du cristal 1 dans les zones centrale 11 et intermédiaire 13 au niveau des pon-ts 132, c'est-à-dire que les ponts 132 prolongent la partie cen-trale 11 sans discontinuité. Le type de cristal représenté
sur les figures 1 et 2 qui présente une partie périphérique 12 d'épaisseur accrue est adapté pour fonctionner dans un résonateur tel que par exemple celui représenté sur la figure 3, c'est-à-dlre un résonateur dans lequel le champ électrique alternatif excitateur agit sur la partie centra] du cristal pour faire vibrer celle-ci~ Dans le cas où le cris-tal piézoélectrique doit être incorporé dans un résonateur dans lequel le champ électrique exci-tateur est créé au niveau de la partie périphéri-que du cristal, qui constitue alors la partie active vibrante, c'est naturellement cette dernière partie qui doit être reliée aux ponts de liaison sans discontinuité au niveau des surfaces extérieures des parties périphérique et intermédiaire du cristal, tandis que la partie centrale formant moyen de support peut présenter une épaisseur accrue par rapport notamment à l'épais-seur des ponts de lîaison.
fl~9 Un cristal piézoélectrique du résonateur peut de ~açon intéressante avoir deux surfaces extérieures 14,15 qui, au niveau des ponts de liaison 13Z ne présentent aucune dis-continuité. Il y a dans ce cas une continuité de plan tangen-t pour chacune des surfaces 1~ et 15 du cristal entre la partie centrale 11, les ponts 132 de la zone intermédiaire 13 et la ~artie périphérique 12 (figure 3). Dans ce cas, la facilité
de fabrication est particulièrement grande, puisqu'il suffit de former dans le cristal des évidements 131, par exemple par usinage ultrasonore, sans qu'aucun rodage supplémentaire pour amincir l'une des parties centrale 11, intermédiaire 13 ou périphérique 12 ne soit nécessaire.
D'une fa,con générale, l'absence d'amincissement au niveau des ponts de liaison 132 réduit l'usinage nécessaire, donc le coût de résonateur -tout en réduisant les contraintes de type cisaillement engendrees par tout usinage, ce qui conduit à une meilleure insensibilité aux accélérations (par exemple pour un cristal de quartz de coupe AT, la sensibilité aux accélérations peut être inférieure ~ environ 5 10 10/g, sans diminution des autres qualités du résonateur). Outre l'absence de contraintes du -type cisaillement, le fait de conserver au niveau des porlts de liaison toute l'épaisseur du crist.al augmente la robustesse et dans de nornbreux cas le coefficient de surtension Q du résonateur.
Lorsque l'on désire réaliser une partie support, par exemple la partie périphérique 12, ayant une épaisseur renforcée, il suffit selon un procédé facile à mettre en oeuvre, de recou-vrir temporairement cette partie 12 de cire, puis de pratiquer une légare attaque uniforme de la partie centrale active 11 et des ponts de liaison 132, par exemple au bifluorureO On .
obtient ainsi, comme dans le cas des figures 1 et 2, un retrait général uniforme au niveau des parties centrale et intermédiaire du cristal, lequel retrait peut être très faible, et inférieur à quelques microns.
La -figure 3 représente un résonateur à électrodes non adhérentes au cristal qui, conformément à l'invention comprend un cristal 1 auto suspendu à ponts 132 non amincis.
Deux électrodes 4 et 5 sont déposées sur cleux plateaux support 2 et 3 respectivement, sur les faces 20,30 de ces plateaux disposées en regard du cristal 1. Les électrodes ~,5 reliées à des fils d'alimentation 8,9 respectivement, sont disposées essentiellement en regard de la partie cen-trale 11 du cristal qui constitue dans ce cas la partie active vibrante. La partie périphérique 12 du cristal sert de support pour ce dernier entre les deux pla-teaux 1 et 2. De minces couches métalliques 6,7 sont avantageusement déposées sur la périphérie des faces internes 20,30 des plateaux 2,3 pour coopérer avec la partie périphérique 12 du cristal afin de déterminer de faibles espaces libres entre les électrodes 4,5 et les ~aces extérieures des parties centrale et intermédiaire du cristal 1 La structure de cristal auto-suspendu dé~inie dans le cadre de la présente demande est naturellernent applicable à des résonateurs du type à électrodes adhérentes au cristal.
Dans ce cas, les électrodes sont déposées sur les faces externes de la partie du cristal devant vibrer, et le raccorde-ment des électrodes aux fils de connexion peut s'effectuer au niveau de la partie du cristal formant support. Un dépôt métallique constituant un chemin de raccordement entre une électrode et un point de connexion passe par l'un des ponts du cristal, et la réalisation d'un tel dépôt est facilité
puisque, conformément à la présente invention, le pont n'est pas aminci.
Il est particulièrement intéressant que la largeur des ponts 132 d'un cristal piézoélectrique d'un résonateur .
.. . . .. . .
soi-t réduite. De façon préfé.rentielle, la largeur moyenne 1 de chaque pont 132 représen-te une fraction de la zone intermé-diaire 13 du cristal qui est inférieure ou égale à environ quatre centièmes de la longueur de la courbe moyenne C de la ~ ;
zone intermédiaire 13 et plus particulièrement est comprise entre environ trois millièmes et un centième de la longueur de ladite courbe moyenne C de la zone intermédiaire 13.
A titre d'exemple, il a été réallsé des cristaux de résonateur à 5 ~Hz, mode partiel 5 présentant une partie centrale 11 de 15 mm de diamètre, une circonférence moyenne C
de 17 mm ~e diamètre, et une largeur 1 de ponts comprise, pour chaque pont dans une plage allant d'environ 2 dixièmes de mm ~ ;~
à 2 mm.
Les ponts de liaison 132 sont avantageusement s.itués selon des directions qui correspondent à un extremum absolu ou relatif du module d'Young pour le cristal.
La figure 1 représente un cristal a quatre ponts 132 situés selon les axes XX' et ZZ' du cr.istal. Sur la figure ~, on peut voir trois ponts 132 disposés à 120 les uns des autres, l'un des ponts étant situé selon l'axe ~Z' du cristal.
Sur la figure 5, on voit un,cristal suspendu par seulement deux ponts 132 situés selon l'axe ZZ' du cristal. La localisa-tion et le nombre de ponts peuvent être d.ifférents selon les applications envisagées.
La forme même de la partie active vlbrante du cristal reliée à la partie formant support par les ponts de liaison peut être adaptée à la nature du cristal utilisé. Ainsi, sur la figure 6, on voit une partie centrale 11, destinée ~
constituer la partie active du cristal, qui présente du côté
de la zone intermédiaire 13 un contour 110 non cir~ulaire tel que l'onde de cisaillement compression générée par le cisaillement d'épai.sseur désiré du cristal 1 atteigne chaque g L2~
point dudit contour 110 de la partie active 11 en même temps.
Le contour non circulaire 110 respecte ainsi les symétries du cristal et, comme représenté par exemple sur la figure 6, le contour 110 est légèrement étiré selon llaxe ZZ' du cristal.
Du fait que le contour 110 est prévu pour que l'onde de cisaille-ment-compression générée atteigne chaque point de la frontière 110 de la pastille centrale 11 en même temps, l'onde de retour après réflextion, est en phase avec l'onde principale. Dans le cas où la partie active du cristal 1 est constituée par la partie périphérique externe 12, c'est naturellement le contour -~
interne 120 qui peut alors affecter une forme non circulaire.
L'adaptation de la forme du contour de la partie active du cristal conduit à améllorer la pureté du spectre de Eréquences obtenu tout en conservant un même coefficienk de quali-té.
Comme on peut le voir notamment sur les figures 1,4,5 et 6, la forme des ponts peut être variée. Ainsi, la figure 1 montre des ponts radiaux présentant une largeur sensiblement constante. Au contraire, la figure 4 montre des ponts de liaison 132 qui présentent des bords latéraux 133 qui convergent vers la partie active du cristal, constitué selon l'exemple de la figure 4, par la partie centrale 11. Des ponts de liaison tels que représentés sur la figure 4 présentent ainsi une largeur réduite du côté de leur portion 134 de rattachement à la partie active du cristal, tandis que les faces supérieure et inférieure de tels ponts restent dans le prolongement des surfaces supérieure et inférieure de la partie active du cristal. La figure 5 montre un autre type de ponts de liaison 132 qui présen-tent des bords latéraux 135 convexes de manière à produire en largeur un renflement 136 dans la partie centrale du pont. Sur la figure 6, on voit des ponts de liaison 132 dont les bords latéraux 137 ont un profil sensibler~lent sinuso~i-dal. Les diverses Eormes que peuvent adopter les ponts de ~2~
liaison 132, vus de dessus, permetten-t de rnodiEier l'adapta-tion mécanique au niveau des liaisons entre les parties active et non active du cristal. Ces formes de ponk ne modifient pas la caractéristique selon laquelle l'épaisseur des ponts est en continuité avec l'épaisseur au moins de la partie active du cristal. Par ailleurs, il convient de noter que la forme des ponts représentés sur les figures n'est pas liée impérativement à la forme des parties centrale 11 ou périphérique 12 ou au nombre des ponts.
Un cristal piézoélectrique auto-suspendu à ponts non amincis, tel que décrit en référence aux différentes figures est particulièrement adapté pour être incorporé dans un résonateur à très haute fréquence.
On sait que les résonateurs à très haute fréquence sont particulièrement délicats à réaliser. En particulier, des résonateurs de type classique a électrodes adhérentes peuvent fonctionner jusqu1à environ 300 MHz, avec un coefficient de surtension Q d'environ 18000.
Toutefois, du fait que de tels résonateurs sont à
électrodes adhérentes, l'effet du dépat métallique affecte une partie importante de :L'épaisse~r globale du cristal, qui est très faible (de l'ordre de 5 à 20 microns). L'effet de freinage dû au dépôt d'une électrode devient alors prohibitif. Une amélioration au type classique de résonateurs peut être apportée dans la mesure où l'on utilise un résonateur du type à électrodes non adhéren-tes. Toutefois, l'impédance correspon-dant à la capacité statique du résonateur devient tres faible pour des très hautes fr~quences, de sorte que les résonateurs ~ classiques de type à électrodes adhérentes ou non restent limités à des fréquences inférieures à environ 500 ~1z, par suite des difficultés qui apparaissent pour maintenir une différence de po-tentiel aux bornes des électrodes du résonateur.
82~
Les résonateurs à tres hautes fréquences, supérieures à environ 500 MnIz ne mettent ainsi plu9 en oeuvre deux électro-des à des potentiels différents créant un champ électrique réel, mais utilisen-t les propriétés des circuits à constantes ~ -~
réparties et nécessitent la mise en oeuvre d'une cavi-té réentran-te, dans laquelle les armatures espacées créant le champ électrique sont au même potentiel. L'utilisation de cavités réentrantes pour résonateurs à tr~s hautes fréquences a été
décrite en particulier dans un article de Ellen S. S-tewart et James L. Stewart publié dans "The journal of the acoustical Society of America", vol. 35, N 7 de Juillet 1963, pp. 975 ~:
à 981. Une cavité réentrante étant un circuit à constantes réparties, le maintien d'un champ électrique entre les armatures de la cavité entre lesquelles est placé un cristal de quartz est possible même avec des cris-taux de faible épai.sseur.
Toutefois, il s'est avéré que la mise en oeuvre de fines lames de quartz présentant la forme de plaques ou disques sans évidements conduit à des résultats médiocres par suite des :
pertés d'énergie acoustique au voisinage des bords de la lame.
Par ailleurs, la mise en oeuvre des cristaux piézoélectrique .
du type autosuspendus présenta~t une partie centrale et une ~.
partie périphérique séparées par une zone intermédiaire ~.
amincie n'est pas envisageable, car, compte tenu de la faible épaisseur des cristaux utilisés aux très hautes fréquences, la résistance mécanique deviendrait trop ~aible. La présente :
invention permet précisément de réaliser des résonateurs VHF
de très bonne qualité grâce à la mise en oeuvre de cristaux pi.ézoélectriques du type comprenant une partie périphérique 12 formant bague reliée à une partie cen-trale 11 par une zone intermediaire 13 qui presente une faible longueur dans le sens radial, est évidée dans sa majeure partie et comprend au moins deux ponts de ll.ai.son 132 au niveau desquels chaque surface extérieure du cristal présente une continuité de plan tangent :~
avec la surface extérieure correspondante au moins de la partie du cristal qui constitue la partie active vibrante située entre les armatures définissant le champ électrique d'excita-tion. De la sorte, il est possible de réaliser des résonateurs VIIF présentant à la fois une grande robustesse et un coefficient de qua].ité élevé. En effet, la partie active vibrante est : isolée de la partie formant support par la zone intermédiaire 13 comprenant,des ponts de liaison 132, de sorte que les pertes d'énergie acoustique au voisinage des bords de la partie active du cristal sont réduites, sans que la fra~ilité du, dispositif soit augmentée.
Des modes particuliers de réalisation de résonateurs V~-IF selon l'invention sont représentés sur les figures 7 et 8.
Sur la figure 7, on voit un résonateur VH~ comprenant une cavité réentrante 200 constituée par une portion de ligne coaxiale fermée avec un conducteur extérieur 204 et un conduc-teur centrai 205. Ce dernier est interrompu à l'une de ses ~ extrémités pour former une armature 250. La partie supérieure de la cavité qui constitue une extrémité de la ligne coaxiale constitue une deuxième armature 240 qui est reliée électriquement au conducteur extérieur 204. Dans l'espace libre situé entre les armatures 240 et 250 es-t interposé un cristal piézoélectri-que 1, de pré~érence plan-plan, du type autosuspendu à ponts 132 non amincis, et pouvant présenter une ou plusieurs des caractéristiques décrites en référence aux figures 1 à 6.
Dans la partie 202 de la cavité réentrante située ~' entre le conducteur central 205 et le conducteur extérieur 204, le champ électrique est radial, tandis que dans liespace libre compris entre l'armature inférieure 250 et l'extrémité de la ligne 240 ~ormant le couvercle de la cavité réentrante, le champ électrique est normal aux armatures. Le cristal de quartz 1 est ainsi placé dans le champ électrique normal à
l'armature 250. L'espace libre 202 de révolution compris entre les conducteurs extérieur 204 et intérieur 205 est avantageuse-ment rempli par un bloc de quartz ou de sllice, ce qui permet de réduire les dimensions de la cavité 200 par rappor-t ~ une cavité qui comprendrait un espace libre 202 rempli d'air. Le cristal de quartz 1 repose par sa partie périphérique 12 sur le bloc diélectrique 202, mais pourrait également reposer sur des encoches réalisées dans le conducteur extérieur 20~. Un espace libre est ménagé entre l'armature inférieure 250 et la face inférieure des parties centrale 11 et intermédiaire 13 du crista7 1, Cet espace libre peut être réalisé soit du fai-t que l'arrnature 250, ou extrémité du conducteur central 205 est lé~èrement en retrait par rapport ~a la surface supportant la partie périphérique 12 du cristal (figure 7), soi.t du fait que la surface inférieure 15 des parties centrale 11 et intermédi- ;
aire 13 du cristal 1 est elle-même légèremen-t en retrai-t par rapport à la surface inférieure de la partie périphérique 12 du cristal (figure 8). La positi.on du couvercle 2~0 de la cavité 200 est également ajustable au moins dans sa partie cen-trale 2~1, par rappor-t au conducteur externe 204 de manière ~ régler l'espace libre entre la face supérieure 1~ du cristal et le couvercle ou armature supérieure 2~0, et ainsi ajuster la fréquence de la cavité. La position du cristal 1 peut être rendue fixe par exemple par collage ou thermocompression de la face inférieure de la partie non vibrante 12 du cristal sur le support inférieur constitué par le bloc 202 ou une partie du conducteur 20~.
La portion centrale 11 et les ponts 132 de la zone intermédiaire 13 peuvent présenter une épaisseur très réduike, par exemple comprise en-tre environ 5 et 30 microns. La par-tie periphérique peut en revanche présenter, au moins sur une , partie de sa longueur, une épaisseur plus importante (figure 8), de fa~on notamment à être plus maniable. La partie vibrante 11 du crlstal, limitée par les évidements 131 de la zone intermé~
diaire 13 et rattachée à la partie 12 forrnant support par les ponts de liaison 132, de faible largeur, mais d'épaisseur non réduite, est parfaitement délimitée à l'intérieur de l'espace libre situé entre les armatures 204 et 205.
- ' Comme cela apparaît sur les figures 7 et 8, une cavité
réentrante 200 est munie de deux boucles de couplage 208, 209 ayant chacune une extrémité reliée à la masse de la cavité et l'autre extrémité 280, 2~0 respectivement reliée par l'intermé~
diaire dlun conduit isolé à un générateur d'excitation fonction-nent dans la bande de fréquence de la cavité et dont la fréquence est ~odulée. Chaque boucle 208, 209 pénètre dans un évidemen-t ménagé radialement à la 'base du bloc 202.
La cavité réentrante excitée par les boucles de couplage 280, 290 présente une courbe de résonance pour une plage -' de fréquences ajustable par action sur le couvercle 240 ou une ~ partie mobile 241 de celui-ci~ La présenc~ du cristal piézo-électrique 1 dans l'intervalle inter-armatures 2~0,250 provoque une crevasse dans :La courbe de,résonance de la cavité lorsqu'une fr~Squence de résonance d'un mode partiel du cristal est située dans la bande passante dans la cavité. La "crevasse" correspond à l'absorption d'énergie électrique par le cristal nécessaire à l'excitation du partiel considéré. Par l'exploitation d'une telle crevasse d'absorption, il es-t possible de réaliser des oscillateurs très précis à très haute fréquence.
Le coefficient de qualité d'un résonateur piézoélectri-que à très haute fréquence dépend beaucoup de la -température.
~insi, à température ordinaire et aux fréquences supérieures au GHz, llaugmentation du coefficient d 'atténuation ~ du quartz devient en général prohihl-tive.~'est pourquoi un résonateur du type : `
décrit en référence aux figures 7 et 8 doit pouvoir fonctionner à très basse température pour permettre une compensation de ::
l'accroissement du coefficient d'atténuation du quartz.
Le mode de réalisation de résonateur de la figure 8 ~ est particulièrement adapté pour un travail à basses tempéra-: tures. En effet, la cavlté réentrante 200 n'est pas constituée essentiellement en un métal, tel que du laiton, mais comprend comme élément de base une pièce de quartz 202 constituée par une pièce creuse de révolution. La pièce de quartz 202 es-t entière-~o rr.ent métallisé sur ses faces interne 2t externe, ainsi que sur sa face inférieure pour former un conducteur externe 204 et un con-ducteur cen-traL 205. Dans l'espace .interne la pièce 202 on intro- ;
duit un bloc 220 qui est constitué par un cylindre de quartz en-tièrement métallisé sur toutes ses faces,et s'ajuste exactement à
l'orifice central de la pièce 202. Ainsi, la face plane métal- :
lisée supérieure 250 du bloc 220 constitue l'armature inférieure de l'espace libre contenant le cristal 1. Le couvercle 240 de la cavité es-t également constitué par une pièce de quartz entièrement métallisée. Le couvercle 240 présente de préférence :
une par-tie saillante 241 sur sa face interne dans la zone tournée vexs la partie active 1l du cristal 1. L'ajustement par rodage du couvercle 240 permet de régler la fréquence de la cavité. La réalisation d'un résonateur VHF ~ partir d'une cavité réentrante 200 entièrement en quartz, comme dans le mode .~.
de réalisation de la figure 8 permet de diminuer à la fois les dimensions de la cavité et les contraintes thermiques-.
Utilisée en combinaison avec un cristal autosuspendu du type à ponts de liaison non ami.ncis, tel que défini dans la présen-te ~ demande, une cavité réentrante entièrement en quartz est propre à constituer un résonateur UHF de très haute qualité. Avec un résonateur du type décrit en référence à la figure 8, placé
50US vide, avec des dimensions à lGHz, il a été possible d'obtenir a 1 Gllz des coefficients de surtension compris entre environ 50.10 et 100.103. Dans un tel type de résonateur 1 GHz, la pièce de base en quartz métallisé 202 (sauf sur sa face supérieure) a par exemple les dimensions suivantes :
hauteur 6,2 mm, diamètre externe 6,77 mm, diamètre interne 2,6 mm.
Divers essais réalisés avec un intervalle entre armatures 250, 240 de l'ordre de 100 microns ont conduit à
d'excellents résultats, notamment avec des cristaux de quartz de coupe AT ou SC, biplans ou plan convexe ayan-t dans leurs parties active et intermédiaire une épaisseur comprise entre environ 5 et 30 microns.
Bien entendu, diverses modifications et adjonctions peuvent être apportées par l'homrne de l'art aux dispositifs qui ` viennent d'être décrits, uniquement à titre d'exemples non limitatifs, sans sortir du cadre de l'invention.
' ..
;- ..
Claims (13)
1. Résonateur piézoélectrique du type comprenant un cristal muni d'une partie périphérique formant bague reliée à une partie centrale par une zone intermédiaire qui présente une faible longueur dans le sens radial, est évidée dans sa majeure partie et comprend au moins deux ponts de liaison pour rendre solidaires l'une de l'autre la partie centrale et la partie périphérique, et deux moyens de création d'un champ électrique alternatif excitateur disposés d'une part en regard respectivement de chacune des faces de l'une des parties centrale et périphérique qui constitue alors la partie active vibrante du résonateur, et d'autre part sans contact avec ces faces, l'autre partie non soumise au champ électrique consti-tuant une partie de support pour le résonateur, caractérisé
en ce qu'au niveau des ponts de la zone intermédiaire, chaque surface extérieure du cristal présente une continuité de plan tangent avec la surface extérieure correspondante au moins de la partie active du cristal, et en ce que la largeur de chaque pont représente une faction de la zone intermédiaire qui est inférieure ou égale à environ quatre centièmes de la longueur de la courbe moyenne de la zone intermédiaire.
en ce qu'au niveau des ponts de la zone intermédiaire, chaque surface extérieure du cristal présente une continuité de plan tangent avec la surface extérieure correspondante au moins de la partie active du cristal, et en ce que la largeur de chaque pont représente une faction de la zone intermédiaire qui est inférieure ou égale à environ quatre centièmes de la longueur de la courbe moyenne de la zone intermédiaire.
2. Résonateur piézoélectrique selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'au niveau des ponts de la zone intermé-diaire, chaque surface extérieure du cristal présente une continuité de plan tangent avec la surface extérieure correspon-dante à la fois de la partie active et de la partie du support du cristal.
3. Résonateur selon la revendication 1 ou 2, caracté-risé en ce que l'une au moins des surfaces extérieures est convexe.
4. Résonateur piézoélectrique selon la revendication 1, caractérisé en ce que la largeur de chaque pont représente une fraction de la zone intermédiaire qui est comprise entre environ trois millièmes et un centième de la longueur de la courbe moyenne de la zone intermédiaire.
5. Résonateur piézoélectrique selon la revendication 1, caractérisé en ce que les ponts de la zone intermédiaire sont disposés selon des directions qui correspondent à un minimum absolu ou relatif du module d'Young pour le cristal.
6. Résonateur piézoélectrique selon la revendication 1, caractérisé en ce que les ponts de la zone intermédiaire sont disposés selon des directions qui correspondent à un maximum absolu ou relatif du module d'Young pour le cristal.
7. Résonateur piézoélectrique selon la revendication 1, caractérisé en ce que le cristal comprend dans sa zone intermédiaire trois ponts de liaison disposés à 120° les uns des autres, l'un des ponts de liaison étant disposé selon l'axe ZZ' du cristal.
8. Résonateur piézoélectrique selon la revendication 1, caractérisé en ce que la partie active vibrante du cristal présente du côté de la zone intermédiaire un contour non circulaire tel que l'onde de cisaillement compression générée par le cisaillement d'épaisseur désiré du cristal atteigne chaque point dudit contour de la partie active en même temps.
9. Résonateur piézoélectrique selon la revendication 1, caractérisé en ce que les ponts de liaison de la zone intermédiaire présentent des bords latéraux qui convergent vers la partie active du cristal.
10. Résonateur piézoélectrique selon la revendication 1, caractérisé en ce que les ponts de liaison de la zone intermédiaire présentent des bords latéraux ayant un profil sensiblement sinusoidal.
11. Résonateur piézoélectrique selon la revendication 1, caractérisé en ce que les ponts de liaison de la zone intermédiaire présentent des bords latéraux convexes de manière à produire un renflement dans la partie centrale du pont.
12. Résonateur UHF à cristal piézoélectrique, comprenant une cavité réentrante constituée par une portion de ligne coaxiale fermée dont le conducteur central est interrompu à
l'une de ses extrémités pour former un espace libre de faible épaisseur entre le conducteur central de la cavité et l'extrémité
de la ligne qui constituent l'analogue d'armatures créant un champ électrique, et un cristal piézoélectrique de faible épaisseur, lequel cristal est interposé entre lesdites armatures de la cavité réentrante, caractérisé en ce que le cristal piézoélectrique est muni d'une partie périphérique formant bague reliée à une partie centrale par une zone intermédiaire qui présente une faible longueur dans le sens radial, est évidée dans sa majeure partie et comprend au moins deux ponts de liaison rendant solidaires l'une de l'autre les parties centrale et périphérique, et en ce que au niveau des ponts de la zone intermédiaire chaque surface extérieure du cristal présente une continuité de plan tangent avec la surface extérieure correspon-dante au moins de celle des parties centrale et périphérique du cristal qui est située entre lesdites armatures de la cavité
réentrante et constitue la partie active vibrante du cristal.
l'une de ses extrémités pour former un espace libre de faible épaisseur entre le conducteur central de la cavité et l'extrémité
de la ligne qui constituent l'analogue d'armatures créant un champ électrique, et un cristal piézoélectrique de faible épaisseur, lequel cristal est interposé entre lesdites armatures de la cavité réentrante, caractérisé en ce que le cristal piézoélectrique est muni d'une partie périphérique formant bague reliée à une partie centrale par une zone intermédiaire qui présente une faible longueur dans le sens radial, est évidée dans sa majeure partie et comprend au moins deux ponts de liaison rendant solidaires l'une de l'autre les parties centrale et périphérique, et en ce que au niveau des ponts de la zone intermédiaire chaque surface extérieure du cristal présente une continuité de plan tangent avec la surface extérieure correspon-dante au moins de celle des parties centrale et périphérique du cristal qui est située entre lesdites armatures de la cavité
réentrante et constitue la partie active vibrante du cristal.
13. Résonateur UHF selon la revendication 12, caractérisé en ce que la cavité réentrante est munie d'un cylindre creux en quartz ou silice, en ce que le conducteur central est réalisé par métallisation de la surface interne dudit cylindre creux et en ce que le conducteur extérieur de la cavité réentrante est constitué par métallisation de la surface externe dudit cylindre creux.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR7802261A FR2415914A1 (fr) | 1978-01-27 | 1978-01-27 | Resonateur piezoelectrique a cristal autosuspendu |
| FR7802261 | 1978-01-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CA1124829A true CA1124829A (fr) | 1982-06-01 |
Family
ID=9203873
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CA320,386A Expired CA1124829A (fr) | 1978-01-27 | 1979-01-26 | Resonateur piezo-electrique a cristal autosuspendu |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4257020A (fr) |
| JP (1) | JPS54116862A (fr) |
| CA (1) | CA1124829A (fr) |
| DE (2) | DE2902695A1 (fr) |
| FR (1) | FR2415914A1 (fr) |
| NL (1) | NL187879C (fr) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58171118A (ja) * | 1982-04-01 | 1983-10-07 | Sekiji Yamagata | ル−ズカップリング水晶振動子 |
| FR2533090B1 (fr) * | 1982-09-10 | 1985-07-05 | Thomson Csf | Resonateur a ondes de surface |
| FR2545668B1 (fr) * | 1983-05-03 | 1985-08-09 | France Etat Armement | Resonateur a thermostat infrarouge integre |
| FR2552953B1 (fr) * | 1983-09-30 | 1988-03-25 | Cepe | Resonateur piezo-electrique pour environnement severe |
| FR2552952B1 (fr) * | 1983-09-30 | 1985-11-08 | Cepe | Resonateur auto-suspendu de haute surtension |
| FR2552950B1 (fr) * | 1983-09-30 | 1985-11-08 | Cepe | Resonateur de faible sensibilite |
| FR2558999A1 (fr) * | 1984-01-27 | 1985-08-02 | Cepe | Procede de fabrication d'un resonateur autosuspendu |
| FR2562352B1 (fr) * | 1984-03-30 | 1989-10-20 | Cepe | Resonateur piezo-electrique |
| JPS6163107A (ja) * | 1984-09-05 | 1986-04-01 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子 |
| JPH0257009A (ja) * | 1988-08-23 | 1990-02-26 | Yokogawa Electric Corp | 圧電共振器 |
| JPH0377526U (fr) * | 1989-11-30 | 1991-08-05 | ||
| JPH03141715A (ja) * | 1990-10-11 | 1991-06-17 | Yokogawa Electric Corp | 圧電共振器 |
| JPH04151973A (ja) * | 1990-10-15 | 1992-05-25 | Canon Inc | 画像記録装置 |
| US5578974A (en) * | 1995-04-28 | 1996-11-26 | Motorola, Inc. | Piezoelectric filter with a curved electrode |
| JPH10150185A (ja) * | 1996-11-20 | 1998-06-02 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR911761A (fr) * | 1945-02-02 | 1946-07-19 | Thomson Houston Comp Francaise | Perfectionnements aux cristaux piézo-électriques |
| US3339091A (en) * | 1964-05-25 | 1967-08-29 | Hewlett Packard Co | Crystal resonators |
| USRE26707E (en) * | 1969-02-11 | 1969-11-04 | Crystal resonators | |
| US3745385A (en) * | 1972-01-31 | 1973-07-10 | Matsushita Electric Industrial Co Ltd | Piezoelectric ceramic resonator |
| CH578803A5 (fr) * | 1974-05-14 | 1976-08-13 | Suisse Horlogerie | |
| JPS5115388A (ja) * | 1974-07-29 | 1976-02-06 | Citizen Watch Co Ltd | Suishoshindoshi |
| CH600423B5 (fr) * | 1975-09-18 | 1978-06-15 | Ebauches Sa | |
| FR2338607A1 (fr) * | 1976-01-16 | 1977-08-12 | France Etat | Resonateur a quartz a electrodes non adherentes au cristal |
-
1978
- 1978-01-27 FR FR7802261A patent/FR2415914A1/fr active Granted
-
1979
- 1979-01-05 NL NLAANVRAGE7900078,A patent/NL187879C/xx not_active IP Right Cessation
- 1979-01-15 US US06/003,907 patent/US4257020A/en not_active Expired - Lifetime
- 1979-01-24 DE DE19792902695 patent/DE2902695A1/de active Granted
- 1979-01-24 DE DE2954629A patent/DE2954629C2/de not_active Expired - Lifetime
- 1979-01-26 CA CA320,386A patent/CA1124829A/fr not_active Expired
- 1979-01-26 JP JP812779A patent/JPS54116862A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2415914A1 (fr) | 1979-08-24 |
| DE2954629C2 (fr) | 1990-06-28 |
| NL187879C (nl) | 1992-02-03 |
| DE2902695C2 (fr) | 1989-02-02 |
| FR2415914B1 (fr) | 1980-06-06 |
| NL7900078A (nl) | 1979-07-31 |
| US4257020A (en) | 1981-03-17 |
| DE2902695A1 (de) | 1979-08-02 |
| NL187879B (nl) | 1991-09-02 |
| JPS54116862A (en) | 1979-09-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA1124829A (fr) | Resonateur piezo-electrique a cristal autosuspendu | |
| EP2203976B1 (fr) | Resonateur a ondes de lamb | |
| EP1499018B1 (fr) | Résonateur acoustique de volume à fréquence de résonance ajustée et procédé de réalisation | |
| EP0010046B1 (fr) | Résonateur piézoélectrique | |
| FR2467487A1 (fr) | Resonateur piezoelectrique | |
| FR2555741A1 (fr) | Transducteur de pression a resonateur | |
| WO2017108994A1 (fr) | Procede de fabrication d'une couche monocristalline, notamment piezoelectrique | |
| FR2785473A1 (fr) | Filtre faibles pertes a ondes acoustiques de surface sur substrat de quartz de coupe optimisee | |
| CH683050A5 (fr) | Résonateur à quartz vibrant selon un mode fondamental de torsion. | |
| CH623690A5 (fr) | ||
| EP2291911B1 (fr) | Résonateur hbar à intégration élevée | |
| EP2306641A2 (fr) | Procédé de fabrication de résonateur BAW à facteur de qualité élevé | |
| EP0086739A1 (fr) | Résonateur piézoélectrique encastrable | |
| EP0505848B1 (fr) | Moteur piézo-électrique, notamment pour pièce d'horlogerie | |
| EP1276126A1 (fr) | Composant microélectromécanique | |
| EP0350443B1 (fr) | Résonateur piézoélectrique | |
| FR2776065A1 (fr) | Capteur de force resonnant a elements piezo-electriques | |
| EP2254243A1 (fr) | Résonateur à ondes acoustiques de volume et son procédé de fabrication | |
| EP1625659B1 (fr) | Resonateurs integres et base de temps incorporant de tels resonateurs | |
| FR2743225A1 (fr) | Resonateur piezoelectrique | |
| WO2013007652A1 (fr) | Résonateur à ondes de volume exploitant l'excitation/détection de la vibration | |
| FR2624326A1 (fr) | Resonateur piezoelectrique | |
| CA2332381C (fr) | Resonateur, notamment pour filtre hyperfrequence, et filtre le comportant | |
| EP0694824A1 (fr) | Pièce d'horlogerie comportant un transducteur électro-acoustique | |
| FR2745667A1 (fr) | Resonateur piezoelectrique a excitation selective |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MKEX | Expiry |