CA2184736C - Revetements souples hautement resistants a l'abrasion, pour substrats mous - Google Patents

Abstract

Cette invention se rapporte à un produit présentant un substrat recouvert d'un revêtement résistant à l'usure par abrasion, ce produit étant constitué par un substrat et par un matériau de revêtement résistant à l'usure par abrasion contenant du carbone, de l'hydrogène, de silicium et de l'oxygène. Ce matériau de revêtement résistant à l'usure par abrasion possède les propriétés suivantes: une dureté à la nanopénétration comprise entre environ 2 et environ 5 GPa et une déformation sous un effort de microfissuration supérieure à environ 1 %, ainsi qu'une transparence supérieure à 85 % dans le spectre visible. Les produits recouverts d'un tel revêtement se prêtent à des applications optiques, par exemple comme lentilles ophtalmiques ou comme fenêtres de lecteurs de codes à barres laser. Dans le procédé pour fabriquer de tels produits, le substrat est d'abord nettoyé chimiquement pour éliminer les contaminants. Dans la seconde étape de fabrication de ces produits, le substrat est introduit dans une chambre à vide, par laquelle l'air a été évacué. Dans la troisième étape, la surface de ce substrat est bombardée avec des ions énergétiques et/ou avec des espèces réactives, pour contribuer à l'élimination des hydrocarbures résiduells et des oxydes de surface, et pour activer la surface. Après que la surface de substrat a été attaquée, un revêtement protecteur résistant à l'abrasion est déposé par plasma ou par faisceau d'ions. Un fois qu'on a obtenu l'épaisseur choisie pour le revêtment, le processus de dépôt sur les substrats est achevé, la pression de la chambre à vide est augmentée jusqu'à atteindre la pression atmosphérique et les produits présentant un substrat recouvert d'un tel revêtement, auxquels on a conféré une résistance à l'abrasion accrue, sont retirés de la chambre à vide.