CA3042340C - Capteur de position interferometrique - Google Patents
Capteur de position interferometriqueInfo
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Abstract
L'invention concerne un capteur de position interférométrique destiné à détecter la position d'un objet. Le capteur de position comprend une source de lumière agencée de façon à émettre de la lumière, un diviseur de faisceau et un réseau de détecteurs. Le diviseur de faisceau est agencé de façon à diviser la lumière entre des premier et second trajets optiques, ceux-ci étant conçus de telle sorte que la lumière divisée est recombinée de façon à former un motif d'interférence optique dépendant de la différence entre les longueurs de trajet optique des premier et second trajets optiques. Le réseau de détecteurs est agencé de façon à mesurer l'intensité d'au moins une partie du motif d'interférence optique. La première et/ou la seconde longueur de trajet optique est agencée de façon à être dépendante de la position de l'objet, de telle sorte que des changements dans le motif d'interférence optique peuvent être associés à des changements de la position de l'objet.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB1618796.5A GB2555646A (en) | 2016-11-03 | 2016-11-03 | Interferometric position sensor |
| GB1618796.5 | 2016-11-03 | ||
| PCT/GB2017/053308 WO2018083482A1 (fr) | 2016-11-03 | 2017-11-02 | Capteur de position interférométrique |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CA3042340A1 CA3042340A1 (fr) | 2018-05-11 |
| CA3042340C true CA3042340C (fr) | 2025-09-16 |
Family
ID=
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