CA3169146C - Procede de fabrication d'un composant horloger en silicium - Google Patents
Procede de fabrication d'un composant horloger en siliciumInfo
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Abstract
Le procédé de fabrication d'un composant horloger selon l'invention comprend les étapes suivantes : a) se munir d'une plaque comprenant une première couche de silicium, une deuxième couche de silicium et, entre les deux, une couche intermédiaire d'oxyde de silicium (9); b) graver la première couche de silicium pour y former une première partie (1a) du composant horloger et la deuxième couche de silicium pour y former une deuxième partie (1b) du composant horloger; c) éliminer la couche intermédiaire d'oxyde de silicium (9) entre un élément (4) de la première partie (1a) et un élément (5) de la deuxième partie (1b); d) oxyder thermiquement les éléments (4, 5) sans que ceux-ci en viennent à se toucher, puis désoxyder les éléments (4, 5); e) répéter l'étape d) une ou plusieurs fois jusqu'à obtenir une distance prédéterminée entre les éléments (4, 5).
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP20164299.8 | 2020-03-19 | ||
| EP20164299.8A EP3882714A1 (fr) | 2020-03-19 | 2020-03-19 | Procédé de fabrication d'un composant horloger en silicium |
| PCT/IB2021/052156 WO2021186333A1 (fr) | 2020-03-19 | 2021-03-16 | Procede de fabrication d'un composant horloger en silicium |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CA3169146A1 CA3169146A1 (fr) | 2021-09-23 |
| CA3169146C true CA3169146C (fr) | 2026-03-17 |
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