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Application filed by Northrop Grumman Litef GmbHfiledCriticalNorthrop Grumman Litef GmbH
Publication of CA3268706A1publicationCriticalpatent/CA3268706A1/fr
L'invention concerne un procédé de mesurer de tension à l'aide d'un système microélectromécanique, MEMS, comprenant une masse d'échantillon qui est supportée au-dessus d'un substrat au moyen d'éléments à ressort mécaniques de telle sorte qu'elle peut être déplacée par rapport au substrat le long d'une direction de vibration (x), des électrodes de compensation qui sont appropriées pour générer une force électrostatique sur la masse d'échantillon lorsqu'une tension leur est appliquée, la force électrostatique allant à l'encontre d'une force de ressort mécanique générée par les éléments à ressort lorsque la masse d'échantillon est déviée le long de la direction de vibration (x), des électrodes d'entraînement qui sont appropriées pour mettre la masse d'échantillon en mouvement le long de la direction de vibration (x) et des électrodes de lecture qui sont appropriées pour mesurer une fréquence de vibration de la vibration de la masse d'échantillon générée de cette manière comprend : l'application d'une tension à mesurer aux électrodes de compensation; la mesure de la grandeur de la tension à mesurer à partir de la fréquence de vibration mesurée de la masse d'échantillon; et la détection de changements de la tension à mesurer en fonction du changement de la fréquence de vibration mesurée.
CA3268706A2022-10-142023-10-10Procédé et dispositif de mesure de tension
PendingCA3268706A1
(fr)