CH234534A - Molekularpumpe. - Google Patents

Description

  Molekular pumpe.    Das Hauptpatent bezieht sich auf eine       Molekularpumpe,    bei der sowohl die     Aussen-          als    auch die Innenwand des hohlen Rotors  als Pumpenflächen dienen, die bezüglich der  schraubenförmig, in axialer Richtung erfol  genden Strömung hintereinander geschaltet  sind.  



  Bei rotierenden     Hochvakuum-Molekular-          pumpen    dieser Art ist bekanntlich die Ein  haltung eines möglichst kleinen Luftspaltes  zwischen Rotor (umlaufendem Zylinder) und       Stator    (Pumpengehäuse     bezw.    feststehendem  innerem Zylinder) sehr wichtig, um eine grosse  Förderleistung bei gutem Vakuum erzielen  zu können. Diese Luftspalte sollten einige  Hundertstel Millimeter nicht überschreiten.  Die Einhaltung solcher kleiner Werte bereitet  aber praktisch grosse Schwierigkeiten, da  Temperaturschwankungen erhebliche Ände  rungen des Luftspaltes verursachen können.

    Wenn Rotor und     Stator    nicht aus dem glei  chen Material hergestellt sind, hängt der  Luftspalt von der Betriebstemperatur ab; auch  bei gleichem Material beider Teile kann sich    der Luftspalt vorübergehend ändern, wenn  bei zunehmender oder abnehmender Raum  temperatur Wärmeunterschiede zwischen Rotor  und     Stator    auftreten.  



  Zweck der Erfindung ist es nun, die Ein  haltung der gewünschten Luftspalte bei rotie  renden     Hochvakuum-Molekularpumpen    dieser  Art auf äusserst einfache Weise zu ermöglichen.  Dies wird erfindungsgemäss dadurch erreicht,  dass mindestens die eine Wand des umlaufen  den Rotors sowie die benachbarte Wand des  feststehenden     Stators    konisch gestaltet wird,  wobei durch axiale     Verschiebung    des Rotors  relativ zum     Stator    der Luftspalt zwischen  beiden verändert werden kann.  



  Bei vertikalachsigen Pumpen dieser Art  können dann die Innen- und Aussenwand des  Rotors sowie     die    entsprechende Wand des  äusseren     Gehäuseteils    und die     Aussenwand     des feststehenden innern     Zylinders    mit po  sitiver     bezw.    negativer     Steigung    ausgebildet  werden. Unter Umständen dürfte es aber ge  nügen, wenn nur einer der zwei Luftspalte zwi  schen Rotor und     Stator    einstellbar gemacht wird.      Der jeweilige Luftspalt zwischen Rotor  und     Stator    der Pumpe kann sehr leicht kon  trolliert werden.

   Beispielsweise kann diese  Kontrolle durch eine     Messung    der Kapazität  zwischen Rotor und     Stator    oder zwischen dem  Rotor und einer Kapazitätssonde erreicht.  werden, wobei die gemessene Grösse zur Be  tätigung eines Anzeigeinstrumentes dient. Diese  Kontrolleinrichtung kann dann noch zur Be  tätigung einer akustischen Signaleinrichtung  verwendet werden, so dass beim     Überschreiten     eines bestimmten     minimalen    Luftspaltes auto  matisch     Alarm    ausgelöst wird.  



  Die Kontrolle des Luftspaltes kann auch  mittels der     veränderlichen        Induktivität        einer     Spule erfolgen, in deren magnetischem Kreis  der veränderliche Luftspalt liegt, so dass jede  Veränderung des letzteren eine entsprechende  Veränderung der     Induktivität    verursacht, die  ebenfalls auf elektrischem Wege angezeigt  werden kann. Schliesslich ist es auch ohne  weiteres möglich, durch Überwachung der       Überschlagsspannung    zwischen Rotor und     Sta-          tor    oder zwischen Rotor und einer     statorfesten     Elektrode eine Kontrolle über die jeweilige  Grösse des Luftspaltes zu erhalten.  



  Die erwähnten Kontrolleinrichtungen kön  nen auch so ausgebildet sein, dass sie eine  selbsttätige Längsverschiebung des Rotors ein  leiten, sobald eine unzulässige     Luftspaltunter-          schreitung    eintritt, oder bei einer Abweichung  des Luftspaltes von einem vorgeschriebenen  Wert.

Claims (1)

1. <B>PATENTANSPRUCH:</B> llolekularpumpe, bei welcher sowohl die Aussen- als auch die Innenwand des hohlen Rotors als Pumpenflächen dienen, die bezüglich der schraubenfömig, in axialer Richtung er folgenden Strömung hintereinander geschaltet sind, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens die eine ZVand des umlaufenden Rotors sowie die ben:iclibarte "and des feststehenden Stators koniseh gestaltet sind, so dass durch axiale Verschiebung des Rotors relativ zum Stator der Luftspalt zwischen beiden verändert wer den kann.

   UN TERAN SPRC CHE 1. lloleli:ul;irpiimpe nach Patentanspruch, dadurch gekennzeichnet, da-ss die Luftspalt veränderung eine entsprechende Veränderung einer elektrischen Grösse bewirkt, die gemes sen wird und zur Betätigung eines Anzeige instrumentes dient.

   @'. 'lolekularpumpe nach Unteranspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass- die durch die Veränderung des Luftspaltes verursachte Ver änderung der Kapazität zwischen Rotor und Stator als Mass zur Kontrolle der jeweiligen Grösse des Luftspaltes verwendet wird. 3. Uolekularpunipe nach Unteranspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass im Stator eine Kapazitätssonde eingebaut ist, die an einem Messkreis angeschlossen ist.

   4. llolekularpumpe nach Unteranspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die gemessene elektrische Grösse die veränderliche Indukti- vität einer Spule ist, in deren magnetischem Kreis der veränderliche Luftspalt zwischen Rotor und Statur liegt. 5. 1lolekularpumpe nach Unteranspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die gemessene elektrische Grösse die L\berschlagsspannung zwischen Rotor und Statur ist.

   6. llolekularpumpe nach Patentansprueh, dadurch gekennzeichnet, dass selbsttätig in Abhängigkeit der Luftspaltveränderung wir kende 'Mittel vorgesehen sind, die eine Längs verschiebung des Rotors einleiten, sobald der Luftspalt von einem bestimmtenWertabweicht.