CH295822A - Elektronenstrahlgerät mit mindestens einer Blende. - Google Patents

Elektronenstrahlgerät mit mindestens einer Blende.

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CH295822A
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Gmbh Sueddeutsche Laboratorium
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Sueddeutsche Lab Gmbh
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/09—Diaphragms; Shields associated with electron or ion-optical arrangements; Compensation of disturbing fields

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CH295822D 1950-08-02 1951-07-31 Elektronenstrahlgerät mit mindestens einer Blende. CH295822A (de)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116274166A (zh) * 2023-03-03 2023-06-23 首钢智新迁安电磁材料有限公司 一种阳极光阑的清洁方法和扫描电镜

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN116274166A (zh) * 2023-03-03 2023-06-23 首钢智新迁安电磁材料有限公司 一种阳极光阑的清洁方法和扫描电镜

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