CH326155A - Verfahren zur Herstellung von Siliziumnitrid - Google Patents

Verfahren zur Herstellung von Siliziumnitrid

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CH326155A
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silicon nitride
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Paul Swentzel John
Charles Nicholson Kenneth
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Carborundum Co
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    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
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    • C04B35/591Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride obtained by reaction sintering

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Description


  Verfahren zur Herstellung von     Siliziumnitrid       Die vorliegende Erfindung betrifft ein  Verfahren zur Herstellung von     Silizium-          nitrid    sowie seine Anwendung zur Herstel  lung von technischen Gebrauchsgegenständen.  



  Hitzebeständige Gebrauchsgegenstände wer  den üblicherweise so hergestellt, dass zuerst  das hitzebeständige Material erzeugt wird,  das dann auf die erforderliche     Feinkörnigkeit          pulverisiert    und mit Bindemitteln und ge  nügend Wasser oder     einem    andern     Plastifi-          ziermittel    gemischt wird, um ein Gemisch mit  der gewünschten Formbarkeit zu erhalten,  aus dein ein Körper geformt wird. Dieser       Formkörper    wird dann getrocknet und bei  einer zur Bindung der Partikel geeigneten  Temperatur gebrannt.  



  Formkörper werden anderseits oft auch  so hergestellt, dass man das hitzebeständige  Material der gewünschten Feinheit ohne Zu  satz weiterer im fertigen Körper verbleiben  der Stoffe formt, wobei normalerweise eine  kleine Menge eines     tümporä.ren    Bindemittels       zugegeben    wird. Dann wird der geformte  Körper     gecroeknet    und bei einer Temperatur  gebrannt, die hoch genug ist, um dem Fertig  produkt die gewünschte Festigkeit zu ver  leihen. Dabei werden in gewissen Fällen, z.

   B.,  wenn es sich um     Siliziumkarbidkörper    han  delt, die einzelnen Partikel des hitzebeständi  gen     "@4laterials    zwar nicht, weich, um ein Sin  tern zu erzielen, sondern durch eine     Rekri-          stallisation    miteinander verbunden.    Die Eigenschaften     das        Siliziumnitrids     sind derart, dass es erwünscht scheint, diesen  Stoff vorzugsweise ohne fremde Bindemittel  herzustellen, um so seine Hitzebeständigkeit  und seine Korrosionsfestigkeit nicht herabzu  setzen.

   Es     zeigte    sich jedoch,     da.ss    die zuletzt  genannten Herstellungsverfahren bei     Sili-          ziumnitrid    nicht zum Ziele führen. Produkte,  die durch Formen pulverisierten Silizium  nitrids mit oder ohne Zugabe von temporären  Bindemitteln oder     Plastifizierungsmitteln     hergestellt wurden, hatten bisher verschie  dene nachteilige Eigenschaften; so war z. B.

    auch die     meisterwünschte    Eigenschaft der  hohen Festigkeit nur     ungenügend.    Die so her  gestellten Formkörper waren sehr schwach  und zerbrechlich, zu porös, um gegen Korro  sion oder Erosion widerstandsfähig zu sein,  leicht zu Oxydation neigend und so weich,  dass sie sich sogar speckig anfühlten.  



  Die vorliegende Erfindung betrifft nun  ein Verfahren zur Herstellung von     Silizium-          nitrid    der Formel     Si3N4,        das,den    elektrischen  Widerstand eines Nichtleiters aufweist. Die  ses Verfahren ist dadurch gekennzeichnet,  dass man ein metallisches Silizium enthalten  des Pulver zu einem Körper verdichtet und  diesen in     stickstoffhaltiger,    nicht oxydieren  der Atmosphäre bei einer Temperatur brennt,  die genügend hoch ist, um metallisches Sili  zium in     Siliziumnitrid    überzuführen -und die           Siliziumnitridpart.ikel        miteinander    zu ver  binden.  



  Ferner bezieht sieh die Erfindung auf die  Anwendung dieses Verfahrens zur Herstel  lung von technischen Gebrauchsgegenständen  aus einer mindestens     SiA    aufweisenden       Masse.        .L     Diese Gegenstände können durch irgend  eines der gebräuchlichen Formverfahren, wie       Fress.formen,    Streichformen und dergleichen  geformt werden. Üblicherweise erfolgt das  Brennen des geformten Rohlings in Stick  stoff oder sonst in einer stickstoffhaltigen,  nicht, oxydierenden Atmosphäre und dauert       gewünsehtenfalls    so lange, bis alles Silizium  in     Siliziumnitrid    umgewandelt ist.

   Für ge  wisse Verwendungsgebiete jedoch genügt  schon eine teilweise     Umwandlung    des Sili  ziums in sein     Nitrid.    So hat z. B. ein nur  teilweise     nitridhaltiger    Körper eine beacht  liche elektrische Leitfähigkeit und kann als       elektrisches    Widerstandselement oder der  gleichen verwendet werden.

   Der Umwand  lungsprozess des Siliziums in das     Nitrid    kann       unterbrochen    werden, wenn der     Stickstoff-          gehalt        des        Körpers        20%        oder        mehr        beträgt,     während eine vollständige Umwandlung des       Siliziums    einen Körper mit etwa.     401/o    Stick  stoffgehalt ergibt.

   Die erforderliche Tempe  ratur und Dauer des Brennens zur     Errei-          chung    des gewünschten     Grades    der Silizium  umwandlung, ohne Zerstörung des Form  körpers, kann in einer später beschriebenen  Weise. bestimmt werden.  



  Es zeigte sich,     da.ss    gute Resultate erziel  bar sind, wenn handelsübliches, metallisches  Silizium geeigneter Feinheit. verwendet     wird.     Die Analyse von handelsüblichem Silizium,  das sieh besonders gut eignete, ergab ausser  dem     Siliziumgehalt    folgende Bestandteile:

           Eisen        0,87%     Chrom     0,210/a          Aluminium        0,60%          Kalzium        0,54%       Uni eine befriedigende Umwandlung des  Siliziums in     Siliziumnitrid    innerhalb einer  vernünftigen Zeitspanne     zti    erhalten     \n        1.ss,       wenn handelsübliches     Silizium    verwendet  wird, dieses fein genug sein, um durch ein  Sieb von rund 70     llasehen/em    hindurch  zugehen, zweckmässig aber durch ein Sieb mit  80 Maschen/ein und mehr,

   was einer Körn  ehengrösse von rund 70 bzw. 90     Mikron    ent  spricht. Eine raschere Umwandlung wird er  reicht, wenn das     Siliziuiit    eine Feinheit be  sitzt, die einer     Korngrösse    von     10- _0        Mikron     oder weniger entspricht.

   Eine befriedigende       Umwandlung    des     Siliziums    in sein     Nitrid     wurde auch bei     Vern-endung    von reinem Si  lizium     (99,80/a)    erreicht, obwohl es sieh     gle-          zeigt    hat, dass, wenn reines Silizium verwen  det wird, die Zeit zur Umwandlung des Si  liziums in     Nitrid    bedeutend länger ist,     a1.3     bei Verwendung von handelsüblichem Sili  zium der gleichen Feinheit, wenn die übrigen       Bedingungen    für den     I?mwandlungsprozei')     gleich geblieben sind.

   Die     Umwandlungsdauer     des Siliziums in sein     Nitrid    bei Verwendung  von reinem Silizium kann durch     Verwendung     eines feineren Siliziums herabgesetzt werden.  Es hat sieh auch gezeigt, dass die Umwand  lungsgesehwindigk     eit    von reinem Silizium  durch Hinzufügen eines kleinen Prozentsatzes  von Eisenpulver, z. B. 3 -1 Gewichtsprozent,  was etwa dein     normalerweise    in     ha.ndelsübli-          ehem        Silizium        vorhandenen        Betra;y    an     Eisen     entspricht.,     begünstigt    wird.

   Die leichtere Uni  wandlung des Siliziums in     Siliziumnitrid.    bei       Verwendun-    von     handelsüblichem    Silizium  verglichen mit der Umwandlung bei     Verwerj.-          dung    von reinem Silizium kann somit der An  wesenheit einer kleinen     Menge    Eisen wie sie       irn        handelsüblichen    Silizium gefunden wird,  zugeschrieben werden.  



  Es hat sieh     gezeigt,    dass ein     CTewiehts-          anteil    von     annähernd    3     io/a    Eisen,     bezo-en     auf. das Gewicht des     Siliziums    des     Forndkör-          pers,    besonders gute Resultate erzielen     läf,)t          und    eine vollständige Umwandlung des Sili  ziums in sein     Nitrid    ergibt.

   Dieser Eisen  gehalt kann durch Verwendung von handels  üblichem Silizium erhalten werden, das, wie  die Analyse     zeigt.,    normalerweise einen Eisen  gehalt von     0,87 /a    aufweist. Es können aber  auch andere     Eiseninen,eii        verwendet        wei-clc#11,         z. B. kleinere von rund 12 0/0. Wenn der fer  tige     Formkörper        aus    irgendwelchen     Gründen     nicht, besonders wenig Eisen enthalten soll,  kann     dem        umzuwandelnden    Silizium     natür-          lieh    auch mehr Eisen beigegeben werden.

         Normalerweise    soll jedoch der Eisengehalt.       des    fertigen Körpers 50/0 des     Siliziumgewich-          te@    nicht übersteigen.  



  Ein Vergleich des     Umwandlungsgrad, s     des Siliziums zu,     Siliziumnitrid    einerseits bei  Verwendung von reinem Silizium (99,80/0) in  reinem     Stickstoff    und anderseits bei Ver  wendung von Silizium gleicher Feinheit, aber    mit einem Gehalt von     3/4-10/0    Eisen, unter  sonst gleichen Bedingungen zeigt deutlich  den     günstigen    Einfluss des     Eisens    auf die  Umwandlung des Siliziums in     Siliziumnitrid.     So wurden z.

   B. kleine Stäbe mit den Abmes  sungen 3,8/1,25/1,1 cm bei einem Druck von  331     kg/cm2    aus zwei verschiedenen     Silizium-          pulvern    gepresst, wovon das eine von hoher  Reinheit war und das andere     0,87 /o    Eisen  enthielt.

   Dadurch konnte einwandfrei die ;  Wirkung des Eisens auf die     Umwandlungs-          geschwindigkeit    und die Festigkeit der ge  formten Stäbe gezeigt. werden:  
EMI0003.0025     
  
    Umwandlun <SEP> szeit <SEP> Bruchfestigkeit <SEP> Gewichtsgew<U>inn</U>
<tb>  Stab-Zusammensetzung <SEP> g <SEP> 2 <SEP> o <SEP> in <SEP> % <SEP> zufolge
<tb>  in <SEP> Stunden <SEP> kg/cm <SEP> bei <SEP> 25C <SEP> Stickstoff-Aufnahme
<tb>  1.000/0 <SEP> Siliziumpulver <SEP> 111/4 <SEP> 163 <SEP> 11,50/0
<tb>  (99,8'0/0 <SEP> Si) <SEP> gemahlen <SEP> auf
<tb>  40 <SEP> Mikron <SEP> und <SEP> feiner
<tb>  1000/0 <SEP> Siliziumpulver, <SEP> 8 <SEP> 1416 <SEP> 57,80/0
<tb>  gemahlen <SEP> auf <SEP> 40 <SEP> Mikron
<tb>  und <SEP> feiner, <SEP> etwa <SEP> 0,

  870/a
<tb>  Eisen <SEP> enthaltend       Das Brennen des     Körpers    erfolgt     zweek-          mässigerweise    in einer Stickstoff- oder einer       niehtoxydierenden    Atmosphäre, die einen  hohen Prozentsatz     Stickstoff    enthält. Die  Brenntemperatur liegt vorzugsweise etwas  unter dem Schmelzpunkt des Siliziums, insbe  sondere zwischen 1250 und     1-120     C, vorzugs  weise bei etwa 1350  C. Es ist. immerhin  darauf zu achten, dass die Temperatur von       1-100     C nicht wesentlich überschritten wird.

    und in keinem Fall über     1420     C (Schmelz       punkt    des Siliziums) ansteigt, solange sich       der        Umwandlungsprozess    in seinem ersten  Stadium befindet, da das Silizium sonst zu  sintern oder zu schmelzen beginnt, was eine  weitere Umwandlung des Siliziums in sein       Nitrid    verhindert.

   Nachdem die Umwandlung  so weit. fortgeschritten ist, dass der     gmösste     Teil des ursprünglich vorhandenen Siliziums  in     Siliziumnitrid    umgewandelt wurde, ist es  zweckmässig und manchmal sogar     erwünscht,     die     Brenntemperatur    über     1420     C zu er-    höhen, um den     Umwandlungsprozess-    rascher  zum     Abschluss    zu bringen.

   Es     ist    wichtig,       da.ss    der zu brennende Körper in einer nicht  oxydierenden Atmosphäre von Stickstoff oder       stickstoffhaltigem    Gas, wie handelsüblichem  Stickstoff, einem     Gemisch    aus 920/0     Stick-          stoff        und        7%        Wasserstoff        oder        gasförmigem     Ammoniak gebrannt wird.

       Ebenso    ist es er  wünscht, dass die stickstoffhaltige     Atmo-          sphäre    frei von Stoffen ist, die andere mit  dem Silizium reagierende Elemente als Stich  stoff aufweisen. Solche Stoffe sind z. B.  kohlenstoffhaltige Stoffe, wie Kohlendioxyd,  Kohlenmonoxyd,     Kohlenwasserstoffe,    wie Me  than, oder andere Verbindungen, welche Ele  mente, wie Sauerstoff oder Kohlenstoff, lie  fern können, die sich mit dem .Silizium zu  verbinden suchen.

   Immerhin     ist    die Anwesen  heit     kleiner        Mengen    von kohlenstoffhaltigen  Substanzen als     Verunreinigungen    in der stick  stoffhaltigen Atmosphäre, wenn auch un  erwünscht, so doch     unschädlich.    Beim Um-      wandeln des Siliziums in     Siliziumnitrid    sollte  der Körper nicht eingeschlossen, sondern  möglichst     allseitig    der Gasatmosphäre     aus-          gesetzt    sein, um die Umwandlung des Sili  ziums in sein     Nitrid    in der     kürzesten    Zeit  und möglichst gleichförmig zu .erzielen.

   Die  zur Umwandlung     des    Siliziums erforderliche  Zeit     hängt    weitgehend von der Temperatur  ab, bei welcher sich der Vorgang abspielt,  sowie von der Dicke des behandelten Körpers  und von der Art und dem     Feinheitsgrad    des       Silizi-Luns,    aus welchem der Körper geformt  ist.

   Es ist     zrr    bemerken, dass die durch das  Formen erzielte Grösse des Körpers während  des     Brennens    des letzteren sich trotz des auf  tretenden Gewichtsgewinnes von     beispiels-          weise        60%,        nicht        stark        ändert.     



  Obwohl     SiliziLrmnitridkörper    der vorlie  genden Art normalerweise durch Formen der  Körper aus einer Masse hergestellt werden, die  fast ausschliesslich aus metallischem Silizium  pulver besteht, und die     Formkörper    anschlie  ssend in einer nichtoxydierenden,     annähernd          kohlenstofffreien,        stickstoffhaltigen    Atmo  sphäre während einer Zeitdauer und bei einer  Temperatur, die genügen, um das Silizium in       Siliziumnitrid    umzuwandeln, gebrannt wer  den, kann auch eine andere Arbeitsweise an  gewandt werden, bei der der geformte Körper.

         aus    einer innigen Mischung von pulverförmi  gem, metallischem Silizium     Lind    pulverförmi  gem     Siliziumnitrid    besteht. Es ist dabei wich  tig, eine genügend grosse Menge metallisches  Silizium in der Mischung vorzusehen, um  nach der Umwandlung derselben einen genü  gend festen und widerstandsfähigen     Körper     zu erhalten. Nach dieser Arbeitsweise herge  stellte Körper sind besonders dort geeignet,  wo eine maximale Dichte des Körpers nicht  verlangt wird oder wo der Körper einen ge  wissen Grad von     Porosität    oder lockerer  Struktur aufweisen soll.  



  Zum besseren Verständnis der vorliegen  den Erfindung sind !in folgenden einige       Ausführungsbeispiele    des erfindungsgemässen  Verfahrens erläutert, welche zeigen, wie nach  dieser Erfindung     Siliziumnitridkörper    her  gestellt werden können.

           .Beispiel   <I>I</I>       Linsenschnielzblöcke    mit .einer Fläche von  19     em2        und    mit einer Dicke von     1,2--2        ein,     die eine konvexe Oberfläche aufweisen und  annähernd vollständig aus     Siliziumnitrid    be  stehen, werden wie folgt hergestellt:

    Handelsübliches     Siliziummeta.ll    mit einer  Feinheit von 70-90     1Tikron    wird mit     11/z     /o       Dextrin    als Zwischenbindemittel gemischt,  mit.     ZV        asser    angefeuchtet zur Erzeugung einer  durch     Druck    formbaren Masse, in eine Form  gebracht     und    unter einem Druck von  112     kg/cm2    zum     gewünsehten    Formkörper  gepresst.

   Das verwendete Silizium enthält  gemäss Analyse ausser reinem Silizium fol  gende Verunreinigungen:         Eisen        0,87%          Chrom        0,21%.          Aluminium        0,60%     Kalzium     0,540/0       Die geformten Stücke werden getrocknet  und in einen     Muffelofen    gebracht.

   Die Nor  malatmosphäre im     Muffelofen    wird durch  einen Strom von     handelsübliehem        Stickstoff-          gas        (99,7%        reiner        Stickstoff)        ersetzt.        Dann     wird der Ofen kontinuierlich innerhalb meh  rerer Stunden auf eine     Temperatur'    von       1400     C gebracht und während sieben Stun  den auf dieser Temperatur gehalten.     -#Vä!lr-          rend    dieser ganzen Zeit. wird der Gasstrom  durch den     Muffelofen    aufrechterhalten.

    Dann wird der Ofen     abgekühlt,    während die       Stickstoffatinosphä.re    noch beibehalten wird.  Der fertige     Lin:senschmelzblock,    der an  nähernd vollständig aus     Siliziumnitrid    be  steht, wird nun aus dem Ofen genommen und  ist gebrauchsfertig. Die so hergestellten  Blöcke, welche von dunkelgrauer Farbe,  dicht und von hoher Festigkeit sind, gleichen  keramischen Körpern, wie sie durch Sintern  erhalten werden. Solche Körper zeigen bei  der Prüfung eine     R,ockwell-Härte,    Skala. B,  von rund 30.

           Beispiel.        1I     Laboratoriumsgeräte, wie     Brenntöpfe,     Tiegel und dergleichen, die annähernd ganz      aus     Siliziumnitrid    bestehen, wurden z. B.  wie folgt hergestellt:

    Handelsübliches     Siliziummetallpulver    (wie  gemäss Beispiel I) mit einer Feinheit von 70  bis 90     Mikron    wird mit 2     Gewichtsprozent          Bentonit    gemischt und nach     guter        Durch-          misehung    mit genügend -Wasser     durchnässt,          uni    eine Masse mit     Streiehgusskonsistenz    zu       @:ehaffen.    Die so gebildete     teiga.rtige    Masse  wird in :

  eine Gipsform     eingefüllt,    wie diese       üblicherweise    zum Formen von Tiegeln,  Brenntöpfen und dergleichen benützt wird.  Die geformten     Körper    werden dann aus der  Form genommen und getrocknet., worauf sie  in einen     Muffelofen    gebracht. werden, in wel  ehem die Luft. durch Stickstoffgas ersetzt  wurde.

   Die Temperatur im Ofen wird nun       ini    Verlaufe     von    mehreren Stunden.     allinäh-          lieh    auf     14000C    erhöht und während sieben  Stunden     auf    dieser Höhe gehalten, während  durch den Ofen ein     kontinuierlicher    Strom  von Stickstoffgas geleitet wird.

   Die so her  gestellten Formkörper bestehen ausser dein  kleinen Gehalt an     Bentonit    und an     Verun-          reinigungen    im     Silizium    ausschliesslich     aus          Siliziumnitrid.    Sie sind hart.; Flüssigkeiten  können nur schwer eindringen und sie be  sitzen relativ grosse     'V        iderstandsfähigkeit     gegen Oxydation.  



  Während vorangehend Beispiele beschrie  ben wurden, nach welchen Körper geformt  und dann in ihrer gewünschten Form     ge-          brannt    wurden, sind natürlich     auch    andern  Ausführungsarten möglich. So kann bei  spielsweise die Rohmasse zu Briketts oder  andern     Folmkörpern    geformt werden, wobei  die     Rohmas#:e    z. B. Bleiehe Zusammensetzung       aufweisen    kann, wie bei den vorangehend     be-          sehriebenen    Beispielen. Die so gebildeten  Körper werden     dann,    wie vorangehend be  schrieben, gebrannt.

   Nach ihrem Entfernen       aus        dein    Ofen können sie zu einem Pulver von       gewünschter    Korngrösse zerdrückt werden.  Dieses Pulvermaterial kann dann in dieser  Form z. B. als     hochtempera.turfestes    Isolier  nia.terial verwendet werden; z.

   B. zur     Um-          inantelung    von Strahlrohren in     Gasturbinen-          oder    von     Raketenbrennkammern.    Es    kann auch als     Filtermaterial.    oder als     Kata;          lysator    oder als     Katalysatorträger    in Pulver  form verwendet werden. Ebenso kann dieses  Pulvermaterial mit     Sintermetallen,    Glas- oder  Keramikbindern oder andern Bindemateria  lien zur Herstellung irgendwelcher Ge  brauchsgegenständen verarbeitet werden.  



  Ferner können nach dem beschriebenen  Verfahren Formkörper hergestellt werden,  bei welchen der Rohmasse porenbildende  Stoffe zugegeben     wurden,    um dem fertigen       Körper    eine grössere     Porosität    zu geben. Ein  porenbildender Stoff, wie Kohlenstoff oder  dergleichen, der, um aus dem Körper ent  fernt werden     zli    können, eine Oxydation be  dingt, würde ein     Vorbrennen    des Körpers bei  niederer Temperatur zur     Austreibung    :des  porenbildenden Stoffes erforderlich machen.

    Daraus geht hervor, dass     eher    porenbildende  Stoff zweckmässig ein solcher ist, der durch       Verflüchtigung    während des     Trocknens    oder  Brennens ausgetrieben werden kann, wie z. B.  pulverförmiges oder körniges Naphthalin,  verschiedene organische Harze, wie Phenol  harz oder dergleichen, oder ein     durch    Gas  erzeugung Poren bildender     .Stoff.    Die derart  hergestellten Formkörper, die eine grössere       Porosität        aufweisen    als die vorangehend be  schriebenen ohne Zusatz von Poren bilden  den Stoffe, sind besonders geeignet zur Her  stellung von porösen Filterplatten,

       Kataly-          satorträgern,        Isolierkörpern    und dergleichen.  



  Obwohl     rin        vorbeschriebenen    Beispiel I  zur     Erzeugung,    der     Brennatmosphäre    Stick  stoffgas mit einer Reinheit von 99,7 /o ver  wendet wurde, hat es sich     gezeigt,        da.ss    auch  mit andern     nichtoydierenden    und annähernd       kohlenstofffreien,    stickstoffhaltigen Medien       gute    Resultate erzielbar sind. So kann z. B.

    handelsübliches     Nitriergas,    dessen Analyse  einen Gehalt von     931/o,    Stickstoff und     71/o,     Wasserstoff zeigt, oder     Ammoniakgas    an  Stelle von     Stickstoffgas    verwendet werden.  



       Siliziumnitridkörper,    wie sie z. B. im Bei  spiel I beschrieben wurden, sind chemisch  analysiert worden, um ihre     Zusammensetzung     zu bestimmen. Dies ergab die folgende typi  sche Analyse      Silizium     58,2311/a          S        I        tickstoff        38,2811/a          Aluminiumoxyd     und     hisenoxyd        2,7211/a       Der Eisenoxyd- und Aluminiumoxyd  gehalt stammt vorwiegend aus den Verunrei  nigungen des     verwendeten        liandelsübliehen     Siliziums.  



  Wird die obige Analyse     ziirüekgereehnet     auf eine     eisenoxyd-    und     aluminiumoxydfreie     Basis, so erhält man einen     Siliziumgehalt    von       59,9 /o    und einen Stickstoffgehalt von     39,4 /m.     Dies entspricht. annähernd der Formel     Si3X24,     welche eine theoretische Zusammensetzung  aus     60,0411/o    Silizium und 39,96     1/a    Stickstoff  darstellt.

   Es darf daher angenommen werden,       class    die Herstellung von     Siliziumnitrid    nach  dem     vorbeschriebenen    Verfahren gemäss der  folgenden     chemiseh:en    Reaktion verläuft    3     Si    + 2     N,        --.        Si3N4       Die theoretische Gewichtszunahme bei der  Umwandlung des     Siliziummet.alles    in das     Si-          liziitmnitrid    der Formel     Si3N4    beträgt     66,

  611/o.     Somit sollten die gebrannten Körper bei völli  ger Umwandlung des verwendeten     Siliziums     in     Siliziumnitrid    theoretisch eine Gewichts  zunahme von     66,611/o    des     Siliziummetallgehal-          tes    des ungebrannten Körpers aufweisen.

    Praktische Versuche haben gezeigt, dass die       Siliziumnitridkörper,    die in der genannten       MTeise    hergestellt wurden, einen Gewichts  gewinn von     5511/o    oder mehr des Gewichtes  des     Siliziumgehaltes    des ungebrannten Kör  pers erfahren, und zwar beträgt normaler  weise die Gewichtszunahme rund     601/o    des       Siliziumgehaltes    des ungebrannten Körpers.  Es wird angenommen, dass die totale theore-    tische     Gewiehtsminahnie    deshalb nicht er  reicht wird, weil     ein    gewisser Verlust an Si  lizium durch Verflüchtigung desselben wäh  rend der Umwandlung in das     Nitrid    auftritt.

         Dieser        Verlust        wird        auf        etwa        4%,        geschätzt.     Beim Berechnen der Umwandlung des Sili  ziums in sein     Nitrid    muss auch der Gewichts.       verhist,    der durch     Verflüchtigung    des     Zwi-          sehenbindemittels    während des Brennens ent  steht,     mitberüeksichtigt    werden, wenn ein  solches Mittel     verwendet.    wurde.  



  Durch     Benützitn-    der Gewichtszunahme  als Gradmesser für die Umwandlung des Si  liziums in sein     Nitrid    unter v     ersehiedenen     Bedingungen und bei Verwendung verschie  dener     R,ohmassengemische    konnte gezeigt wer  den, dass bei Verwendung von grobkörnigem       Silizitunmeta.ll    die Umwandlung des Siliziums  nur langsam und unvollständig .erfolgt, und  dass zur     Erreichung    einer genügend vollstän  digen     Umwandlung    des     Siliziummetalles    in       Siliziumnitrid    dieses Silizium     mindestens          ,

  durch    ein Sieb von 70     Masehen/em    und vor  zugsweise durch ein Sieb mit 80     Masehen.lem     hindurchgehen bzw. eine Korngrösse von 70  bis 90     Mikron    bis hinab zu kolloidaler Par  tikelgrösse besitzen sollte. Die besten Resul  tate wurden erzielt, wenn das 70-90     Mikron     feine     Siliziummetall    noch feiner pulverisiert.  wurde, und zwar bis hinab zu Korngrössen  zwischen 20     Mikr    an und kolloidaler Grösse.

    Die nachfolgende Tabelle I zeigt bis zu     einem     gewissen Grad den     Einfluss    der     Partikelgröl;e     des     Siliziummeta.lles    auf den Grad der U     m-          wandlung    des     Siliziums    in sein     Nitrid,    wenn  die Umwandlung in einem     Stiekstoffgasstrom     bei einer Temperatur von. 1300 bis 1400'C  innerhalb sieben. Stunden erfolgt.

    
EMI0006.0087     
  
    <I>Tabelle <SEP> I</I>
<tb>  Gewichtszunahme
<tb>  Feinheit <SEP> des <SEP> % <SEP> Gewichtszunahme <SEP> während <SEP> weiteren <SEP> Totalgewichts  zahme <SEP> in <SEP> 31/z <SEP> Stunden <SEP> 31/z <SEP> Stunden <SEP> zahme <SEP> in <SEP> 7 <SEP> Stunden
<tb>  10 <SEP> Mikron <SEP> und <SEP> feiner <SEP> 58;3 <SEP> - <SEP> 58,3 <SEP> in <SEP> 31/2 <SEP> Stunden
<tb>  70 <SEP> Mikron <SEP> und <SEP> feiner <SEP> 19,1 <SEP> 20,5 <SEP> 39,6
<tb>  90 <SEP> Mikron <SEP> und <SEP> feiner <SEP> 27,3 <SEP> 2,15 <SEP> 29,45
<tb>  von <SEP> 170-90 <SEP> Mikron <SEP> 3,27 <SEP> 0,77 <SEP> 4,04
<tb>  170 <SEP> Mikron <SEP> 2,84 <SEP> - <SEP> 0;

  97 <SEP> 1,87         Der Ausdehnungskoeffizient. der thermi  schen     Expansion    wurde an einer 20 X 1,     25-cni-          Stange    ans     Siliziu,mnitrid    bestimmt, die aus       handelsüblichem        Siliziummetallpul.ver    mit  einer Feinheit von 70     Mikron    und feiner ge  formt und in einer Stickstoffatmosphäre bei  einer     Tempei#atur    von 1300 bis 1400" C ge  brannt.     wurde.    Das Brennen erfolgte während  mehrerer Stunden, um die     Umwandlung     des     Siliziums    in sein.     Nitrid    zu bewirken.

         1)er        Ausdebnun        gskoeffizient    wurde innerhalb  eines Temperaturbereiches von 24 bis 900  C       bestimmt,    wobei folgende Resultate in     mrii     pro     inm        Stablänge    und pro   C erhalten  wurden.:

      240 C __   1.540 C -<B>1,72</B> X     1.0-li     308  C = 2,06 X     10--1     502  C - 2,48 X     10-6     700<B>0</B> C - 2,75 X 10-1  900  C - 2,96 X 10-6    Es     ist    nicht erstaunlich, dass im Hinblick  auf die oben     -enannten    geringen     Aus-          debnungskoeffizienten.    kleine Körper aus     Sili-          ziumnitrid,    die gemäss dem     vorbesehriebenen     Verfahren hergestellt wurden, hohe -Wider  standsfähigkeit regen     Wäj:mesehock    aufwei  sen. So hielten z.

   B. kleine     gepresste    Silizium  nit.ridstangen während 15     Zyklen    einer       Wärmeschockbehandlung    stand ohne zu zer  springen, wobei jeder     Zyklus    darin bestand,  den Stab in einem     Muffelofen    auf eine Tem  peratur von 1050  C zu erhitzen, ihn rasch       aus    dem Ofen     zu,    nehmen und unmittelbar  einem Strom kalter     Druckluft    auszusetzen, bis  die     Temperatur    des Stabes gleich der Raum  temperatur war.  



  Sofern die Umwandlung annähernd voll  ständig     Nitrid    von der     Formel.        Si3N4    ergibt,  sind reine     Siliziumnitridkörper    hergestellt  nach dem beschriebenen     Verfahren    keine  guten elektrischen Leiter und ihr elektrischer  Widerstand entspricht. ungefähr jenem von  Körpern aus     Siliziumdioxy    d.  



       Siliziumnitridkörper    der vorliegenden Art  besitzen grosse mechanische Festigkeit.     Kör-          her,    deren     Siliziamgehalt    annähernd voll-    ständig in     Siliziumnitrid    umgewandelt wurde;  besitzen eine Bruchfestigkeit von 630     kg/cm\r     bis 1500     kg/em"    bei Raumtemperatur.

   Dem  gegenüber sind Körper, die direkt durch For  men von     Siliziumnitridpulver    ohne     Mitver-          wendung    von     Silizitun    hergestellt wurden, so  schwach,     .dass    sie von Hand zerbrochen und  zwischen den Fingern zerrieben werden kön  nen.  



  Die     Siliziumnitridkörper,    hergestellt nach  dem     vorbeschriebenen    Verfahren, erfahren,  wenn sie auf Oxydation geprüft und dabei in  einem     Muffelofen    während 70 Stunden auf  950 bis 1050  C bei freiem Luftzutritt erhitzt  werden, eine Zunahme von nur etwa 4,07 Ge  wichtsprozent. Dagegen gewinnen aus     Sili-          ziumnitridpulver        geformte    Körper, die im.  Vergleich zu den vorerwähnten Körpern sehr  porös und weich sind, schon nach einer Dauer  von 24 Stunden der genannten     Oxydations-          Wärmebehandlung    etwa 8,48 Gewichts  prozent.  



  Die     Siliziumnitridkörper    der vorliegenden  Art sind auch .     ä:iisserst    feuerfest., da das     Si-          liziumnitrid    nicht schmilzt und einer Disso  ziation oder einem Zerfall bis     zu.    Temperatu  ren von     1.900     C widersteht.  



  Die     Siliziumnitridkörper    der vorliegenden  Art besitzen auch eine hohe Widerstands  kraft gegen chemische Angriffe. Sie sind       gegen    die Einwirkungen der meisten Säuren,  vorwiegend der     Fluorwasserstoffsäure,    der  Salz- und der Salpetersäure, und zwar sowohl  in wässeriger Lösung als auch in konzentrier  ter Form, widerstandsfähig. Ebenso sind diese  Körper gegen die wässerigen Lösungen von  starken Basen, wie auch gegen die Einwir  kung geschmolzener Alkalien, widerstands  fähig.  



  Es ist zu bemerken, dass das nach dem  beschriebenen Verfahren hergestellte     Sili-          ziumnitrid    auch auf andern als den bereite  erwähnten Gebieten verwendbar ist. Es kön  nen daraus Körper von beliebiger Form     -her.     gestellt werden. Diese eignen sich nicht     nui     für jene industriellen Zwecke, für welch(  Feuerfestigkeit verlangt wird, wie z.

   B.     äl@         Backsteine, Blöcke, Ziegel, Muffeln,     Ofen-          auskleidungen    und als besondere in Verbin  dung mit Öfen und andern hohe Tempera  turen aufweisenden Einrichtungen verwend  bare Formkörper, sondern sie eignen sich  auch zur Herstellung von     Strahltriebwerk-          Brennkammern,    Auskleidungen von Abgas  düsen,     Raketen-Brennkammern        und    Abgas  düsen, Turbinenschaufeln, Leitschaufeln,     Lin-          senschmelzblöeken,        Zündkerzenkörpern    und  anderes mehr.

       Ferner    eignen sie sich zur Her  stellung von Laboratoriumsgeräten, wie  Brenntöpfe, Tiegel,     Brennerha.lter    und der  gleichen.  



  Die Widerstandsfähigkeit solcher Körper  gegen chemische Angriffe machen sie beson  ders geeignet zur Herstellung von Gegenstän  den zum Aufbewahren, Transportieren und  Behandeln vieler Säuren,     Alkalien    und andern  korrodierend wirkenden Chemikalien. Solche  Gegenstände sind z. B. Behälter und     Behälter-          auskleidungen,    Tiegel, Rohre und Rohrfittings  und anderes mehr.

   Die nach dem     vorbesehrie-          benen    Verfahren hergestellten Körper, beson  ders wenn sie durch Verwendung porenbil  dender Zusätze zur Rohmasse hergestellt wur  den, eignen sich besonders als     Diffusions-    und  Filtermedien, wie Diffusionsrohre und  -platten, Filterrohre und -platten und     Ka.ta-          lysatorträger    und Halter. Aus den Form  körpern können auch Schleifscheiben, Schleif  steine, Schaber und andere Schleif- und Po  lierelemente     hergestellt    werden.

   Die,     dielektri-          schen    Eigenschaften dieser Körper     ermögli-          chen    es auch, aus ihnen     Gegenstände    für die       Elektro-    und Radioindustrie     herzustellen,     z. B. Träger für elektrische Lampen, Radio  röhren, Röntgenröhren und Radarvorrich  tungen, Widerstände und Gitter. Ferner kön  nen solche Körper als Fadenführer, Draht  ziehformen,     Blasdüsen,        Heizelemente    und  anderes mehr verwendet werden.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRUCH I Verfahren zur Herstellung von Silizi-Lun- nitrid der Formel Si3N4, das einen spezifi schen elektrischen Widerstand von mindestens 5 X<B>108</B> Dem aufweist, dadurch gekennzeieh- net, .dass man ein metallisches Silizium enthal tendes Pulver zu einem Körper verdichtet und diesen in stickstoffhaltiger, nicht oxydierender Atmosphäre bei einer Temperatur brennt., die genügend hoch ist, um metallisches Silizium in Siliziumnitrid überzuführen und die Sili- ziumnitridpa.rtikel miteinander zu verbinden. UNTERANSPRÜCHE 1.
    Verfahren nach Patentanspruch I, da durch gekennzeichnet, dass die Verdichtung unter Mitverwendung eines temporären Bindemittels erfolgt.. 2. Verfahren nach Patentanspruch I, da durch gekennzeichnet, dass man metallisches Siliziumpulver verwendet, das bis zu 5 Ge wichtsprozent Eisen enthält. 3. Verfahren nach Patentanspruch I, da durch gekennzeichnet, dass man metallisches Sillziumpulver verwendet, das zwischen 341/o und<B>114</B> Eisen enthält. 4. Verfahren nach Patentanspruch I, da durch gekennzeichnet, da.ss mau Silizium- pu,lver verwendet, das einen porenbildenden Stoff enthält.
    5. Verfahren nach Patentanspruch I, da durch gekennzeichnet, dass man Silizium- pulver verwendet, das pulverförmiges Sili- ziumnitrid enthält. 6. Verfahren nach Patentanspruch I, da durch gekennzeichnet, dass man Silizium- pulver verwendet, dessen Korngrösse höch stens 90 ,u, beträgt. 7. Verfahren nach Patentanspruch I, da durch gekennzeichnet, dass das Brennen bei Temperaturen zwischen 1250 und 1420 C er folgt.
    PATENTANSPRUCI1 II Anwendung des Verfahrens nach Patent anspruch I zur Herstellung von technischen Gebrauchsgegenständen aus einer mindestens Si3N4 aufweisenden Masse. UNTERANSPRÜCHE B. Anwendung nach Patentanspruch II, zur Herstellung von Gegenständen, die bei 25 C eine Bruchfestigkeit von 630 bis 1500 kg/em2 aufweisen. 9. Anwendung nach Patentanspruch II, zu.r Herstellung von.
    Gegenständen, die ausser dem Siliziuinnitrid aueli noch metalliselies Silizium enthalten. 10. Anwendung naeli Patentanspruch 1I des Verfahrens nach Patentanspruch I und Cniteransprnch l.. 11. Anwendung na,eh Patentanspruch Il des Verfahrens nach Patentanspxtieh I und LTnteransprtieh 2. 12.
    Anwendung nach Patentanspruch 1I zur Herstellung von Gegenständen, in wel chen die Siliziumnitrid aufweisende Masse in poröser Form vorliegt.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012084832A1 (en) * 2010-12-22 2012-06-28 Steuler Solar Gmbh Crucibles

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WO2012084832A1 (en) * 2010-12-22 2012-06-28 Steuler Solar Gmbh Crucibles

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