CH327741A - Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenveredelung von Metallen, insbesondere Eisen und Stahl, durch Diffusionsbehandlung - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Oberflächenveredelung von Metallen, insbesondere Eisen und Stahl, durch Diffusionsbehandlung

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CH327741A
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Rudolf Dipl Ing Nowak
Ernst Dipl Ing Hasse
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Rudolf Dipl Ing Nowak
Ernst Dipl Ing Hasse
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    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C10/00—Solid state diffusion of only metal elements or silicon into metallic material surfaces
    • C23C10/06—Solid state diffusion of only metal elements or silicon into metallic material surfaces using gases

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Description


  Verfahren und Vorrichtung     zur    Oberflächenveredelung von Metallen,       insbesondere    Eisen und Stahl, durch Diffusionsbehandlung    Verfahren zur     Oberflä.ehenveredelung    me  tallischer     Werkstücke    in der Gasphase sind  bekannt.  



  Bei den nachfolgenden Ausführungen wird  als  Grundmetall  das Metall des     Werk-          ,.tiiekes    bezeichnet, dessen     Oberfläelie    veredelt       ;verden    soll, und als      Diffusionselement     jenes       31etall    oder     Metalloid,    das für die     Oberflächen-          veredelung    verwendet wird.  



  Es gibt     Oberfläehenv        eredelungsverfahren.     bei denen durch thermische     Zersetzun-    leicht  spaltbarer Verbindungen, z: B. von     Karbo-          nyien,        Jodiden    und     Aluminiummonofluorid          Kehutzstoffe    an der     Oberflä.ehe    der zu ver  edelnden Werkstücke niedergeschlagen wer  den, die je nach ihrer Legierungsaffinität  zum     Grundmetall    mehr oder weniger schnell  e     indil'fundieren.     



  Eine andere, weit grössere Gruppe von  Verfahren     beruht    nicht auf der     themisehen     Zersetzung leicht spaltbarer Verbindungen,  sondern auf heterogenen     ehemischen        Platz.-          @veehselreaktionen,    bei denen das Diffusions  element an die Oberfläche des zu veredelnden       Werksdickes    in Form einer gasförmigen ehe  miehen Verbindung bei höherer Temperatur       Herangebracht    wird, die sich dann mit dem       (*rundmetall    auf dem Wege einer     chemischen          Austausehreaktion    umsetzt.

   Hierbei diffun-         diert    das Diffusionselement in die     Werkstück-          oberflä.ehe    ein, während ein äquivalenter Teil  des     Grundmetalles    die     Werkstückoberfläche    in  Form einer chemischen Verbindung gasförmig  v     erlässt    und weggeführt wird.  



  Nach. den meisten dieser Verfahren wird  in     nichtoxydierender    Atmosphäre gearbeitet,  wobei fast ausschliesslich Halogenverbindun  gen, meist Chloride, der betreffenden Schutz  elemente angewandt werden.  



  Bei andern Verfahren werden den gasför  migen: Verbindungen des Diffusionselementes  Wasserstoff oder     inerte    Trägergase und  Wasserstoff zugesetzt, wobei es zu einer Ab  scheidung des Diffusionselementes auf dem       Grundmetall    aus der Gasphase kommt, bei  gleichzeitigem oder nachträglichem mehr oder       weniger    starken     Eindiffundieren    des Diffu  sionselementes mit oder ohne Zusatz von Kata  lysatoren, wie z. B.     FeCl3,        AIC13    und     MgCl".     



  Bei all diesen angeführten Diffusionsver  fahren können entweder fertige gasförmige       Halogenide    der Diffusionselemente verwendet  oder durch Einwirkung von Halogen- oder  irgendwelchen     Halogeniddämpfen    auf metal  lische oder     metalloidische    Ausgangsstoffe die ;  gewünschten     Halogenide    der Diffusionsele  mente hergestellt und unmittelbar oder mittel  bar     auf    die     Werkstückoberfläehe    zur Einwir-           kung    gebracht werden.

   Das heisst, die Werk  stücke können .entweder in den metallischen  oder     metalloidischen    Ausgangsstoff einge  packt werden, worauf gasförmiges Halogen  oder die Dämpfe von Halogeniden zur Ein  wirkung gelangen, oder das gewünschte Halo  genid des Diffusionselementes wird in einem  besonderen Raum hergestellt und anschliessend  in einem zweiten Raum, in dem sich das Werk  stück befindet, für die Diffusion verwendet.  



  Bei diesen     Platzwechselreaktionen    entsteht.  stets in gasförmiger     Form    als Abfallprodukt  das     Halogenid    des     Grundmetalles.    Dieses uner  wünschte     Reaktionsprodukt    wird in manchen  Fällen,     beispielsweise    durch Kondensation,  laufend aus den im Kreislauf geführten Reak  tionsgasen entfernt, und die verbrauchte  Menge des     Halogenids    des Diffusionselementes  von aussen her in den Kreislauf hinein er  gänzt.  



  Eine chemische Regenerierung der Abgase  findet hierbei nicht statt.  



  Bei den vorstehend angeführten Verfahren  bewegen sich die für die Erzielung brauch  barer veredelter Oberflächen nötigen Reak  tionszeiten in der Grössenordnung mehrerer  Stunden. Diese relativ lange Zeitdauer hat zur  Folge, dass diese Verfahren noch keine gross  technische Anwendung gefunden haben und  dass man bisher noch kein     wirtschaftlich    arbei  tendes     Durchlaufverfahren    bei gleichzeitiger  kontinuierlicher Regenerierung der Abgase im  Kreislauf entwickeln konnte.  



  Es wurde auch bereits     vorgeschlagen,    eine  Oberflächenveredelung in der Gasphase mit       Halogeniddämpfen    der entsprechenden Diffu  sionselemente in Mischung mit einem genau  dosierten Zusatz freien Halogens durchzufüh  ren. Bei diesem Verfahren ist zwar die Her  stellung gut veredelter Oberflächen in relativ  kurzen Zeiträumen möglich, aber - wie fest  gestellt wurde - nur, wenn die Strömungs  geschwindigkeit des Reaktionsgasgemisches  sehr klein gehalten wird.  



  Bei     unprofilierten    Oberflächen spielt die  geringe Strömungsgeschwindigkeit. des Reak  tionsgasgemisches keine entscheidende Rolle.  Bei Werkstücken mit profilierter     Oberfläche       dagegen, wie z. B. bei Schrauben, sind jedoch  zur Erzielung eines genügend raschen Gas  austausches in den Vertiefungen der Ober  fläche höhere Gasgeschwindigkeiten erforder  lich.  



  Es     wurde    nun festgestellt,     da.ss    sich     geit     veredelte Oberflächen von Metallen, insbeson  dere von Eisen und Stahl, in sehr kurzer Zeit  auch bei Anwendung hoher     Reaktionsgasge-          schwindigkeiten    erzielen lassen, wenn man als  Reaktionsgase bei der     Diffusionsbehandlung     erfindungsgemäss solche     Subhalogenide    in die  zu veredelnde Metalloberfläche diffundieren  lässt, die mit der Metalloberfläche in Form  einer heterogenen chemischen     Platzweehsel-          reaktion    reagieren.  



  Unter einem     Subhalogenid    ist eine Halo  genverbindung des Diffusionselementes     zii     verstehen, die weniger Halogenatome besitzt,  als der niedrigsten Wertigkeit des Diffusions  elementes dem Halogen gegenüber entspricht.  wie beispielsweise     SiCl,        SiCI"        AICl,        TiF.    ;       ZnBr,        SbCl,        CCh,        SnCl,        BF,        CrCl.     



  Wie bekannt, bilden sich     Subhalogenide     bei der Einwirkung von     Halo-,-renen    oder Halo  geniddämpfen auf das überschüssige Metall  bzw.     Metalloid.     



  Erfindungsgemäss wird nun weder ein  Halogen noch ein beliebiger     Halogeniddampf,     sondern das durch die heterogene chemische       Platzwechselreaktion    entstehende     Halogenid     des     Grundmetalles    mit dem Diffusionselement  oder einem das Diffusionselement enthalten  den Ausgangsstoff zur Erzeugung der     Sub-          halogenide    des Diffusionselementes zur Reak  tion gebracht.. Durch diese Massnahme wird  eine kontinuierliche chemische     Regenerierung     der bei der Reaktion entstehenden Abgase im  Kreislauf ermöglicht.

   Die Reaktionsgase wer  den daher - nachdem sie das zu behandelnde       -\Verkstüek    verlassen haben - mit dem von  aussen zugeführten Diffusionselement in Be  rührung gebracht und hierauf wieder für die  Diffusion und Reaktion mit dem Grundmetall  verwendet.  



  Wie bereits oben erwähnt, wird durch diese  Arbeitsweise die Anwendung einer     beliebi,-          hohen        Reaktionsgasgeschwindigkeit    bei über-           raschend    kurzen Behandlungszeiten ermög  licht.  



  Es werden einwandfrei     veredelte        Oberflä-          ehen,    auch bei profilierten Werkstücken.  erzielt und zwar - im Gegensatz zu allen  bisherigen Verfahren dieser Art - innerhalb  weniger Minuten.  



  Es wurde zwar bereits beobachtet, dass bei  der Einwirkung von AlF auf Stahl eine alumi  niumhaltige Schutzschicht entstand,     jedoeli     beruhte deren Bildung lediglich auf einer Zer  setzung des AlF am Eisenkontakt, wobei unter  Bildung von     AIF3    an der Stahloberfläche  Aluminium niedergeschlagen     wurde;    eine     hete-          ro-ene    chemische     Platzwechselreaktion    im  Sinne der Erfindung fand jedoch zwischen  dem gasförmigen     Subhalogenid    AlF und dem  Stahl nicht statt.  



  Bei der Durchführung des Verfahrens nach       der        Erfindung    hat es sich ferner als zweck  mässig erwiesen, den Reaktionsgasen Kataly  satoren     zuzusetzen,    die die     Reaktionsgeschwin-          di-keiten    erhöhen.

   Derartige Stoffe sind bei  spielsweise Eisenchlorid     (FeC13),        Eisenchlorür          lFeCl@),    die Chloride des Zinns     (SnC12    und       SnC14),    Aluminiumchlorid     (AIC13),        Alumi-          niumbromid        (A1Br3),        Borfluorid        (BF3),    Bor  ehlorid     (BCl3),    Kupferchlorid     (CuC12)    und       Magnesiumchlorid        (MgCl,)

  .    Zweckmässig wer  den hierzu Verbindungen des     Grundmet.alles     nicht verwendet.    Sollen mehrere     Diffusionselemente        gemein-          ",am        eindiffundieren,    müssen die Reaktionsgase  bei der Regenerierung mit einem Gemenge  oder mit chemischen Verbindungen der     Diffn-.          sionselemente    zur Reaktion gebracht werden.  



  Um die Geschwindigkeit der der Diffusion       züi    Grunde     liecenden    heterogenen chemischen       Platzweehselreaktion    zu erhöhen und um eine       Gleichmässigkeit    der herzustellenden Diffu  sionszone über die ganze Oberfläche des     Werk-          stückes    hin zu erreichen, hat es sieh     ferner     als     zweckmässig    erwiesen, die zu behandelnde  Oberfläche vor der Diffusionsbehandlung in  an sieh bekannter Weise durch Oxydation  und anschliessende Reduktion chemisch zu  aktivieren.    In der Zeichnung ist eine Ausführungs  form der Vorrichtung zur Durchführung des  Verfahrens schematisch dargestellt.  



  Die zu behandelnden Werkstücke wandern  hintereinander durch die verschiedenen Be  handlungsräume, und zwar zunächst durch  den     Aufheizraum    1, hierauf durch den Oxy  dationsraum 2, anschliessend durch den Re  duktionsraum 3, hierauf durch den Diffusions  raum 4 und schliesslich durch. den     Abkühl-          raum    5. Zwecks Trennung der verschiedenen  Behandlungsgase in den verschiedenen     R.äu-          men    sind zwischen diesen, und ebenfalls an  den Enden der     Durcblaufapparatur,    Gassper  ren 6 angeordnet. Jeder Behandlungsraum be  sitzt ausserdem Rohrleitungen 7 für die Zu  und Ableitung der Behandlungsgase.  



  Der     Diffusionsraum    4 steht durch Rohr  leitungen 8 und 9 und einem darin einge  bauten Umlaufgebläse 7.0 mit dem     Regenerier-          raum    11 in Verbindung. Für die Zuleitung  des     Diffusionsstoffes    in den     Regenerierraum     11 ist die     Zuführleitung    1.2 vorgesehen und  für die Abführung der Abfallprodukte der  Regenerierung die Rohrleitung 13.  



  An den Umlaufleitungen 8 und 9 befinden  sich ferner     Anschlussleitungen    14 und 15 für  den Zusatz von Katalysatoren bzw. zur Fül  lung und Entleerung der Anlage.  



  Die einzelnen Behandlungsräume sind heiz  bar ausgebildet, so dass die gewünschten Tem  peraturen in den einzelnen Räumen unab  hängig voneinander eingestellt werden kön  nen. Ebenso können die Rohrleitungen regel  bar beheizt werden. Die zu behandelnden       jVerkstiieke    wandern in Pfeilrichtung durch  die einzelnen Behandlungsräume 1 bis 5 hin  durch. Im Raum 1 werden sie auf Reaktions  temperatur aufgeheizt, im Raum 2 wird die       Oberfläche,    beispielsweise mit Luft, oxydiert,  in Raum 3, beispielsweise mittels Wasserstoff,  reduziert und aktiviert, im Raum 4 treffen  die Werkstücke auf die Reaktionsgase, wobei  die Diffusion stattfindet, und im Raum 5 wer  den sie schliesslich auf eine gewünschte Tem  peratur abgekühlt.  



  Die Reaktionsgase werden durch das Um  laufgebläse 10 im Kreislauf vom Diffusions-           raum    4 durch die Umlaufleitung 8 in den       Regenerierraum    11 und weiterhin durch die  Umlaufleitung 9 in den Diffusionsraum 4 ge  fördert. Während des     Hindurchstreichens     durch den     Regenerierraum    11 werden sie mit  dem durch die Zuführungsleitung 12 in den       Regenerierraum    11 eingeführten Diffusions  stoff zur Reaktion gebracht, wobei die im       Regenerierraum    11 anfallenden Abfallpro  dukte der Regenerierung durch die Rohrlei  tung 13 abgeführt werden.  



  Die Bauausführung der Anlage kann auf  die verschiedensten Arten erfolgen. Die Durch  laufapparatur 1-5 und der     Regenerierraum     11 können beispielsweise horizontal, vertikal  oder schräg angeordnet sein, sie können die  Form von     Drehrohröfen,    Muffeln,     Türuren     usw. haben, das     Hindurchwandern,    Hindurch  rollen oder -kollern der Werkstücke kann im  Gleichstrom, Gegenstrom oder abwechselnd  im Gleich- und im Gegenstrom zu den Reak  tionsgasen kontinuierlich oder diskontinuier  lich     erfolgen.    Diese Einzelheiten werden stets  von der Art der zu behandelnden Werkstücke,  von der Grösse der Anlage und andern Fak  toren bestimmt.  



       Ausführungsbeispiel   <I>1</I>  Es sollen Platinen aus Stahlblech, wie sie  für die Herstellung von     Radiatorgliedern    ver  wendet werden, zum Schutz gegen Korrosion       silitiert    werden.  



  Zu diesem Zweck lässt man die Werkstücke  hintereinander die verschiedenen Behandlungs  räume passieren und heizt sie dabei im Raum 1  auf die Reaktionstemperatur von etwa 950  C  auf. Die     Durchlaufgeschwindigkeit    der Werk  stücke wird so gehalten, dass die Durchlauf  zeit im Diffusionsraum 4 etwa 3 Minuten be  trägt. Die Temperaturen der Rohrleitungen  und des     Regenerierraumes    betragen ebenfalls  etwa 950  C.  



  Als Diffusionsstoff wird dem     Regenerier--          raum.        technisches        Silizium        oder        75        %iges          Ferrosilizium    in Pulverform zugeführt. Bei       Ingangsetzung    der Anlage wird ein Gemenge       von        95%        Siliziumtetraehlorid-und        5'%        Alumi-          niumchloriddampf    durch die Rohrleitung 14    dem Kreislaufsystem zugeführt.

   Dieses Dampf  gemenge wird mittels des Gebläses 10 im  Kreislauf bewegt, während durch Rohrleitung       15        dauernd    3     %        Aluminiumehloriddampf        zu-          geführt    wird. Durch die Reaktion des     Sili-          ziumtetraehlorids    mit dem Silizium bzw.       Ferrosilizium    im     Regenerierraum    11 entstehen  verschiedene Subchloride des Siliziums.

   Diese  reagieren im     Diffusionsraum    4 mit der Ober  fläche der     hindurchwandernden        Stahlblechpla-          tinen,wobei    das Silizium in die Oberfläche der  Platinen diffundiert und     Ferrochloriddampf     als gasförmiges Reaktionsprodukt entsteht.

   Der       Ferroehloriddampf    und die     tinv        erbrauehten     Chloride des Siliziums gelangen aus dem Dif  fusionsraum 4 durch die     Rohrleitung    8 in den       Regenerierraum   <B>11,</B> in dem. das     Ferroehlorid     mit dem hier befindlichen Silizium bzw.     Ferro-          silizium    wieder zu den Subchloriden des Sili  ziums regeneriert wird. Hierbei wird Eisen in  Pulverform abgeschieden, das durch die Rohr  leitung 13 abgeführt wird.  



  Die     silitierten    Platinen     gelangen    nun aus  dem Diffusionsraum 4 in den     Abkühlraum    5  und anschliessend nach aussen.    <I>Ausführungsbeispiel 2</I>  Rotstäbe aus Eisen oder Stahl sollen durch  eine Diffusionsbehandlung mittels     Aluminium     und Silizium     verzunderun-sfest    gemacht wer  den.  



  Zu diesem Zweck lässt man die Roststäbe  hintereinander die verschiedenen Behandlungs  räume passieren und erhitzt sie dabei im     j     Raum 1. auf die Reaktionstemperatur von  etwa. 1000  C auf. Die     Durehla.ufgeschwindig-          keit    der Roststäbe wird so gehalten, dass die       Durehlaufzeit    im Diffusionsraum 4 etwa  5 Min. beträgt. Die Temperaturen der Rohr  leitung und des     Remenerierraumes        betragen.     ebenfalls etwa     1.000     C.  



  Als Diffusionsstoff wird     dein        Regenerier-          rauin    ein     Gemenge    voll     70 /o        teehn.        Silizitun          und        30%        techn.        Ahtminitim        in        Pulverform          zugeführt.    Bei     In;

  angsetzung,    der Anlage wird       Silizitimtetraebloriddampf    durch die Rohrlei  tung 14 dem     Kreislaufsystem        zugeführt..    Dieses  Dampfgemenge wird mittels des Gebläses 10      im Kreislauf     bewegt.    Durch die Reaktion des       Siliziumtetrachlorids    mit dem     Silizium-Alumi-          nium-I'ulvergeiniseli    im     Regenerierraum    11  entstehen die     Subchloride    des     Siliziums    und  des Aluminiums.

   Diese reagieren im Diffu  sionsraum 4 mit der Oberfläche der hindurch  wandernden Roststäbe, wobei Silizium und       Aluminium    in die     Staboberfläehe    diffundiert  und     Ferrochloriddampf    als gasförmiges Reak  tionsprodukt entsteht.  



  Die Abgase gelangen aus dem     Diffusions-          raum    4     durch    die Rohrleitung 8 in den Rege  nerierraum 11, in dem     Ferroehlorid    mit dem  hier befindlichen Silizium und Aluminium  wieder zu den     Subchloriden    des Siliziums und  Aluminiums regeneriert wird. Hierbei wird  Eisen in Pulverform abgeschieden, das durch       die    Rohrleitung 13 abgeführt wird. Die     sili-          tierten    Roststäbe gelangen nun aus dem Diffu  sionsraum     4-    in den     Abkühlraum    5 und weiter  hin     naeb.    aussen.  



  <I>Ausführungsbeispiel 3</I>       Elektriselier    Heizdraht aus     Molybdä.n    soll       verminderungsfest    gemacht werden.  



  Zu     diesem    Zweck zieht man den     Molvb-          dä        ndralit    durch die verschiedenen     Behand-          Itin,-,sräume    hindurch und heizt ihn hierbei im       Raum    1 auf die Reaktionstemperatur von etwa  <B>1250'</B> C auf. Die     Durchlaufgeschwindigkeit    des  Drahtes wird so gehalten,     d.ass    die     Durehlauf-          zeit:        ini    Diffusionsraum 4 je nach der ge  wünschten Stärke der Schutzzone etwa 3 bis  7 Min. beträgt.

   Die Temperatur der Rohr  leitung und des     Regenerierraumes    wird eben  falls auf etwa 1250  C gehalten.  



  Als     Diffusionsstoff    wird dem     Regenerier-          raum        techn.    Titan oder hochprozentiges     Ferro-          titan    in Pulverform     zugeführt.    Bei     Ingang-          setzung    der Anlage wird ein Gemenge von.

         !l6        %        Titantetrafluorid        Lind    4     %        Borfluorid          durch    die Rohrleitung 14 dem Kreislaufsystem       zug-eführt.    Dieses Dampfgemenge wird mittels  des Gebläses 10 im Kreislauf bewegt, während       durch        die        Rohrleitung        15        dauernd        etwa    2     %          Borfluoriddampf    zugeführt wird.

   Durch die  Reaktion des     Titantetrafluorids    mit dem Titan  bzw.     Ferro-Titan    im     Regenerierraum    11 ent-    stehen     Subfluoride    des Titans. Diese reagieren  im Diffusionsraum 4 mit der Oberfläche des  hindurchwandernden     Molybdändrahtes,    wobei  das Titan in die. Oberfläche des Drahtes dif  fundiert und     l@Iolybdänfluoride    als gasförmige  Reaktionsprodukte entstehen.  



  Das Abgas gelangt aus dem Diffusions  raum 4 durch die Rohrleitung 8 in den       Regenerierraum    11, in dem die     Molybdän-          fluoride    mit dem hier befindlichen Titan bzw.       Ferrotitan    wieder zu     Subfluoriden    des Titans  regeneriert werden. Hierbei wird     Molybdän-          ptilver    abgeschieden, das durch die Rohrlei  tung 13     abgeführt    wird. Der     titanierte        Molyb-          dändraht    gelangt durch den     Abkühlraum    5  nach aussen.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRUCH I I. Verfahren zur Oberflächenveredelung von Metallen, insbesondere Eisen und Stahl, durch Diffusion, dadurch gekennzeichnet, dass die zu behandelnden Werkstücke bei Diffu sionstemperatur der Einwirkung solcher gas förmiger Subhalogenide eines oder mehrerer Elemente unterworfen werden, die mit der zu veredelnden Metalloberfläche in Form einer heterogenen chemischen Platzwechselreaktion reagieren,
    wobei die bei der Behandlung ent stehenden gasförmigen Halogenide des Me tallen kontinuierlich im Kreislauf durch Reak tion mit dem oder den auf die -1/Ietallober- flä.che aufzubringenden Elementen zu den Subhalogeniden dieses oder dieser Elemente umgesetzt werden. UNTERANSPRÜCHE 1. Verfahren nach Patentanspruch I, da durch gekennzeichnet, dass die bei der Behand- lung entstehenden Abgase kontinuierlich im Kreislauf mit einem reinen, unvermischten Element zur Reaktion gebracht werden. 2.
    Verfahren nach Patentanspruch T, da durch gekennzeichnet, dass die bei der Behand lung entstehenden Abgase kontinuierlich im Kreislauf mit einem das auf die Metallober fläche aufzubringende Element enthaltenden Ausgangsstoff zur Reaktion gebracht werden. 3. Verfahren nach Patentanspruch I, da durch gekennzeichnet, dass den Reaktionsgasen Katalysatoren zugesetzt werden. 4. Verfahren nach Patentanspruch I und Unteranspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass den Reaktionsgasen als Katalysatoren Chloride des Zinns zugesetzt werden. 5.
    Verfahren nach Patentanspruch I und Unteranspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass den Reaktionsgasen als Katalysator Alumi- niumehlorid zugesetzt wird. 6. Verfahren nach Patentanspruch I und Unteranspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass den Reaktionsgasen als Katalysator Alumi- niumbromid zugesetzt wird. 7. Verfahren nach Patentanspruch I und Unteransprueh 3, dadurch gekennzeichnet; dass den Reaktionsgasen als Katalysator Bor- fluorid zugesetzt wird. B.
    Verfahren nach Patentanspruch I und Unteranspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass den Reaktionsgasen als Katalysator Kupfer chlorid zugesetzt wird. 9.' Verfahren nach Patentanspruch I und Unteranspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Subhalogenide mehrerer Elemente verwen det werden. 10. Verfahren nach Patentanspruch I und Unteransprüchen 3 und 9, dadurch gekenn- zeichnet, dass die zu behandelnde Oberfläche vor der Behandlung durch Oxydation und an schliessende Reduktion chemisch - aktiviert. wird.
    PATENTANSPRUCH II Vorrichtung zur Durchführung des Ver fahrens nach Patentanspruch I und Unter ansprüchen 3, 9 und 10, gekennzeichnet durch einen Aufheizraum (1), einen Oxydations raum (2), einen Reduktionsraum (3), einen Diffusionsraum (4) und einen Abkühlraum (5), die nach aussen bzw. von einander durch Gassperren (6) getrennt und mit Zu- und Ab leitungen (7) für die jeweiligen Behandlungs gase versehen sind, einen Regenerierraum (11), der durch Rohrleitungen (8 und 9) und Umlaufgebläse (10) mit dem Diffusionsraum (4) in Verbindung steht, die ihrerseits wieder mit Zuleitungen (14 und 15) für den Zusatz von Katalysatoren bzw.
    zur Füllung und Ent leerung der Anlage versehen sind, und An schlüssen (12 und 13) am Regenerierraum (11) für die Zuführung des Difftisionsele- mentes bzw. für die Abführung der Abfall produkte der Regenerierung.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3338852A1 (de) * 1982-12-11 1984-06-14 Maschf Augsburg Nuernberg Ag Verfahren und vorrichtung zur beschichtung von werkstuecken mittels chemischer, heterogener gasphasenreaktion

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE3338852A1 (de) * 1982-12-11 1984-06-14 Maschf Augsburg Nuernberg Ag Verfahren und vorrichtung zur beschichtung von werkstuecken mittels chemischer, heterogener gasphasenreaktion

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