CH343039A - Anordnung zur Halterung und Heizung eines in einem Elektronenemissions-Mikroskop zu untersuchenden Objektes - Google Patents

Anordnung zur Halterung und Heizung eines in einem Elektronenemissions-Mikroskop zu untersuchenden Objektes

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CH343039A
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    • H01J3/00Details of electron-optical or ion-optical arrangements common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J3/02Electron guns
    • H01J3/024Electron guns using thermionic emission of cathode heated by electron or ion bombardment or by irradiation by other energetic beams, e.g. by laser
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    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/285Emission microscopes, e.g. field-emission microscopes

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