CH368247A - Vorrichtung zum Schmelzen von elektrisch leitendem Material und Verfahren zum Betrieb der Vorrichtung - Google Patents

Vorrichtung zum Schmelzen von elektrisch leitendem Material und Verfahren zum Betrieb der Vorrichtung

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CH368247A
CH368247A CH5876658A CH5876658A CH368247A CH 368247 A CH368247 A CH 368247A CH 5876658 A CH5876658 A CH 5876658A CH 5876658 A CH5876658 A CH 5876658A CH 368247 A CH368247 A CH 368247A
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    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/305Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for casting, melting, evaporating, or etching

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Description


  Vorrichtung zum Schmelzen von elektrisch leitendem Material und Verfahren zum Betrieb  der Vorrichtung    Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung  zum Schmelzen, von, elektrisch leitendem Material im  Vakuum durch     Bonibardeinent    mit Elektronen.  



  Die     erfindun#gs"-=ässe    Vorrichtung weist eine       evakuierbare    Hülle auf, die einen Behälter für das zu  behandelnde Material enthält, über welchem eine       thermionische    Kathode angeordnet ist, und ist, da  durch gekennzeichnet,     dass    ein wenigstens teilweise  zylindrischer Schirm den, grösseren Teil des Ent  ladungsraumes, zwischen der Kathode und dem er  wähnten Behälter umgibt, wobei der innerhalb des  Schirmes gelegene Raum 'gegenüber dem gesamten  Inhalt der     evakuierbaren    Hülle klein ist und mit     dem-          sel,ben    in Verbindung steht.  



  Die Erfindung bezieht sich ferner auf     ein    Ver  fahren zum     Be-trieb    der Vorrichtung, bei welchem  Elektronen von der     Glühkathodie    emittiert werden  und, auf das als Anode. wirkende Material     auft,    reffen.  



  Das     erfindungsge-mässe    Verfahren ist dadurch ge  kennzeichnet,     dass    innerhalb des im Vakuum angeord  neten Behälters, welcher gekühlt wird, ein     geschinol-          zener    See dies Materials durch     Elektroneniboilubardie-          rung    seiner Oberseite aufrechterhalten wird, während  der Boden dieses Sees gekühlt wird, so     dass    hier eine  kontinuierliche Verfestigung des Materials stattfindet,.  und     dass    das festgewordene Material kontinuierlich  vom Boden des Sees entfernt wird, wobei neues Ma  terial kontinuierlich der Oberseite des Sees     2ugeführt     wird.  



  In der beiliegenden Zeichnung sind zwei beispiels  weise     Ausführungsformen    der Vorrichtung nach der  Erfindung dargestellt, anhand derer diese Vorrich  tungen. sowie     Ausführangsbeispiele    des Verfahrens  nach der Erfindung im einzelnen beschrieben werden,  und zwar zeigt:         Fig.   <B>1</B> einen halbschematischen vertikalen Schnitt  durch die erste     Aiisführungsform    der Vorrichtung  nach der Erfindung, welche mit relativ niedrigen       Bombardierungspotentialen    arbeitet, und       Fig.    2 einen ähnlichen Schnitt einer Vorrichtung,  welche mit höheren Potentialen arbeitet.  



  Die in     Fig.   <B>1</B> dargestellte Vorrichtung ist auf  einem Gestell<B>1</B> in genügender Höhe über dem Boden  angeordnet-, um das Herausziehen der gebildeten Bar  ren oder     Rehilinge.    zu ermöglichen. Eine mit einer  zentralen     öffnung    versehene,     Grundplafte   <B>3</B> wird vom  Gestell<B>1</B> getragen, und     eineevakuierbare    Hülle<B>5</B> ist  auf der     Gruindiplatte   <B>3</B> montiert. Dieser Teil der     Vor-          riellitung    besteht vollständig aus     Meitall        Bund    ist vor  zugsweise geerdet.  



  Die zentrale Öffnung in der Grundplatte<B>3</B> be  sitzt im vorliegenden Ausführungsbeispiel Kreisform.  Ein elektrisch leitender Behälter<B>7</B> ist unmittelbar  über der     öffnung    an der Grundplatte befestigt.  Wegen der hohen     thierinischen    und     elektrisch-en    Leit  fähigkeit     bestelit    der Behälter vorzugsweise aus Kup  fer. Der Behälter hat die Form eines Ringes oder  einer bodenlosen Tasse, und sein     Innendurchmiesser     ist gleich oder etwas kleiner als derjenige der     öff-          nung    in der Grundplatte.

   Eine Kühlschlange<B>9</B> aus       KulAerrohr        unigibt    den Behälter<B>7</B> und ist an ihm  angelötet oder     sonstwie    befestigt, wobei die     Ein-          2,angs#    und Ausgangsanschlüsse,     d#urch,        vakuumdichtie          D   <B>Z></B>  Verbindungen in den Wänden der Hülle<B>5</B> gehen.

    Die Hülle,<B>5</B> ist mit     einerodar    mehreren     öffnun-          .gen    versehen, welche     miteinem        Vakuiumerzeuger   <B>11</B>  über eine Leitung<B>13</B> verbunden sind.     Dile        öffnung     sollte so gross sein und die     Vak-iiumpumpe    so kräftig,       dass    eine rasche anfängliche     Evakulerung    und stän  dige Aufrechterhaltung eines     Hochvak.uums    in, der  Hülle möglich sind.

   Solche     Vakauinsysteme    sind. wohl      bekannt und enthalten normalerweise eine grosse Dif  fusionspumpe, hinter welcher eine oder mehrere  mechanische Pumpen arbeiten. Da solche     Anord,          nungen    gebräuchlich     sindl,    ist das hier verwendete  System nicht im Detail dargestellt. Es sollte jedoch  imstande sein, den, Druck in der Hülle auf einem       Mikron        Quecksilberisäule    oder -tiefer zu halten.  



  Eine elektronenemittierende Kathode<B>15,</B>     vor-          zugsweiseein        Wolframstab    oder     -draht,    ist über dem  Behälter<B>7</B> montiert und ist     gewendelt,    um eine     rela-          ,tiv    grosse emittierende Oberfläche zu besitzen. Der  Kathode wird, über isolierte Leitungen<B>17</B> und<B>171</B>  Heizstrom durch die Wände des Behälters zugeführt.

    Ein Metallschirm<B>19,</B> welcher in der vorliegenden       Ausführuno,sform    die Formeiner umgekehrten Tasse  hat, umgibt die Kathode und einen grossen Teil des  Raumes zwischen der Kathode<B>15</B> und dem Behälter  <B>7,</B> welcher Raum im Betrieb der Vorrichtung die Ent  ladung zwischen der Kathode und dem als Anode  wirkenden Behälter     7,mit    Inhalt beherbergt. Die iso  lierten Kathodenzuführungen durchdringen die     Sei-          tenwändc    des Schirmes, welcher     eleiktrisch    mit der  Kathode verbunden ist, z. B. durch einen Leiter 21.  Wie der Behälter<B>7</B> ist auch der     Schhun    wassergekühlt.

    In diesem Falle wird jedoch das Kupferrohr<B>23,</B> das  die     Kühlschlange    bildet, welche den Schirm umgibt       " & weise    an ihr     festgelöt--t        ist,    durch     Isolier-          und        vorzug          dichtungen   <B>25</B> durch. die Wände der Hülle geführt.  Zwei Leitungen,<B>27</B> und<B>31</B> erstrecken sich durch  die Wände der Hülle<B>5</B> und den Schirm<B>19</B> in den  Entladungsraum hinein. Sie bestehen vorzugsweise  aus einem feuerfesten Isoliermaterial, wie z. B. einem       ,keramischen    Material. Die erste Leitung<B>27</B> ist rela  tiv weit.

   Durch sie können die zu schmelzenden  Materialien, mit einer regulierten Geschwindigkeit  ,kontinuierlich zugeführt werden. Die Ladung kann in  üblicher Weise durch einen Trichter in einer Va  kuumfalle geliefert werden. Da solche Anordnungen  bekannt sind', sind sie nicht dargestellt. Die Leitung  <B>27</B> tritt durch eine Vakuumdichtung<B>29</B> in die Hülle  ein.  



  Die zweite Leitung<B>3 1</B> tritt durch eine Dichtung<B>3 3</B>  in den oberen Teil der Hülle ein. Diese Leitung hat  einen kleinen, Innendurchmesser und dient für die  Zufuhr eines kleinen Stromes von chemisch     in#akbivem     Gas unter geringem Druck in, den Schirm. Das     ver-          wendete        Gas        häng        gt        vom        Material        der        Schmelze        ab.     



  Bei manchen Materialien kann es Stickstoff sein, aber  im allgemeinen wird man eines     der,einatomigen    Gase  verwenden, vorzugsweise Argon. Ein     Venfil,    das bei  <B>35</B> schematisch angedeutet ist, reguliert den     Gas-          ;strom.     



  Ausserhalb der     Hüllc    und unmittelbar unter dem  .Behälter<B>7</B> ist eine Vakuumdichtung<B>37</B> von     der"j--ei-          chen    Art angebracht, wie sie normalerweise für die       Abdichtung    beweglicher Wellen verwendet wird), die  in evakuierte Hüllen eindringen müssen.

   Diese Dich  tung     bat    eine solche Grösse,     dass    sie, eine Welle ab  dichten kann, die denselben Durchmesser hat wie der  Behälter<B>7.</B>    Beim Beginn des     Betriobes    der Vorrichtung wird  ein, Stab oder Stummel<B>39</B> durch die     Dichitung   <B>37</B> ein  geführt, so     dass    er einen Boden für den Behälter<B>7</B>  bildet.

   Dieser Stab kann ein vorher     C'ebildeter    Bar  ren, aus dem zu     schmelzendien    Material sein, oder es  kann einfach ein Stummel aus Stahl     odereineim.    ande  ren Metall sein, der     spä#L2r        vom,gebildIeten    Barren     ab.-          geschnitten,    werden kann, Eine- Ladung Material,  welche den Behälter füllt, wird durch die Leitung<B>27,</B>  wie bei 41 angedeutet, eingeführt, und die Hülle wird  ,ausgepumpt.

   Sobald die Evakuierung im wesentlichen  vollständig ist, wird aus einer geeigneten Quelle 43  ein Strom     duirch,        die    Kathode<B>15</B> geschickt, bis diese       iauf    eine Temperatur erhitzt     ist,        die    genügend hoch  .ist, um eine reichliche Elektronenemission zu ver  ursachen. Dann wird von, einer geeigneten     Gleich-          Z          ,span,nungsquelle,    wie z. B. einem Motorgenerator 45,       C,     eine, Spannung zwischen der Kathode und dem     Bc-          hälter   <B>7</B> angelegt.

   Bei der in     Fig.   <B>1</B> dargestellten     Kon-          .struktion    wird die verwendete Spannung     normaler-          wAsie    in der Nähe von 200 Volt oder weniger     limen,     wobei der Wert von 200 Volt     un-efähr    die Grenze  darstellt zwischen der Verwendung der in     Fig.   <B>1</B> dar  gestellten, Konstruktion und der Verwendung der in       Figg.    2 dargestellten Konstruktion, weiche später     be-          ,schrieben    werden soll.

   Es ist jedoch klar,     dass    dies  kein absoluter Wert ist, sondern.     nur    eine,     Angabo    der  ungefähren     Grössenordinung.     



  Auf dieser Stufe des Betriebes tritt eine gewisse  Entladung zwischen der Kathode und der Anode auf,  .die vom Behälter und dem darin enthaltenen, Material  gebildet wird, aber diese Entladung stellt nur eine  relativ kleine Energie dar. Der Schirm<B>19</B> ist auf  demselben Potential wie das eine Ende der Kathode  und dient<I>dazu,</I> die Kathode weitgehend abzuschir  men. Eine starke     Raumiladung    besteht deshalb im  Inneren des Schirmes. Die bestehende     Entlad:une,    wird  durch das Feld zwischen den Rändern des     Schinnes,     und dem Material im Behälter auf dasselbe fokussiert.  Ein geringer Gasstrom. wird dann durch das Ventil  <B>35</B> und die Leitung<B>31</B> in den Schirm geführt.

   Das so  zugeführte Gas wird sofort ionisiert,     wodu#rch.    zwi  schen der Kathode und der vom Material im Behälter  gebildeten Anode eine     Gilimmentladung    entsteht.  



  Die Art dieser Entladung kann durch die Menge  das eingeführten Gases genau gesteuert werden.  Wenn     zuviel    Gas zugeführt wird, bildet sich ein       Uchtbogen,    wodurch die Entladung auf ein, relativ  kleines Gebiet der Anodenoberfläche beschränkt wird.  Der Gasstrom ist jedoch so klein,     dass    dies verhindert  wird. Wenn der     richtiae    Gasdruck herrscht, ist der  Raum innerhalb des Schirmes von einer     Ionenwolke     ausgefüllt, so     dass        sIch    die Entladung über die ganze  Oberfläche des Materials im Behälter verteilt.

   Die  Art der Entladung kann, ziemlich     aenau    bestimmt  werden durch die Stromstärke, welche von einem  Amperemeter 47     im    Stromkreis angezeigt wird. Die  Entladung beschränkt sich automatisch auf die  Schmelze im Behälter, wobei praktisch kein Strom  auf die Wände des Behälters fliesst. Dies rührt wahr-           scheinlich    von dem etwas höheren Dampfdruck über  dem geschmolzenen Material her, der zur Folge hat,       dass    in diesem Gebiet mehr     ionisierbare    Gasteilchen  vorhanden sind. Es besteht auch ein steiler Druck  gradient     im    Zwischenraum zwischen dem Behälter  und dem Schirm.

   Auf jeden Fall tritt die erwähnte       Beschränkungein.     



  Obwohl innerhalb des Schirmes eine bestimmte       Gasatmo.sphäre    herrscht, ist der Druck darin doch  sehr niedrig. Das Entweichen der Gasmoleküle aus  dem Schirm -in dien Körper der Hülle ist deshalb eher  ein,     Diffugionsvorgang    als ein eigentlicher Gasstrom.

    Nachdem die     Molekülc    aus dem Schirm in den relativ       C,        0,rossen        Körper        der        Hülle        entwichen        sind,        wird        ihre     mittlere freie Weglänge zu gross, um eine     Stossio#nisie-          rung    zu, gestatten, wie sie im Inneren. des Schirmes  auftritt, und deshalb besteht ausserhalb des Schirmes  keine Glimmentladung, wobei die entwichenen Mole  küle durch das     Vakuu#msystDm    mit derselben Ge  schwindigkeit entfernt werden, wie sie eintreten-.

   In  Abwesenheit des Schirmes würde die     Glinmient-          ladung    entweder die ganze Hülle ausfüllen, wobei die  Energie allgemein vernichtet und, nicht auf die       Schineuze    konzentriert würde, oder es würde gar  keine Glimmentladung auftreten. Wenn     zuviel    Gas  zugeführt wird, oder wenn das     Vakuumsysitem    ver  sagt, tritt eine allgemeine     Ionisierung    ein, wobei die       Glinnnentladung    zuerst den Kathodenleitungen folgt  und sich dann von der Aussenseite des     Schirm-es    zu  den Wänden der Hülle erstreckt.  



  Der grössere Teil der Ladungsträger in der Ent  ladung sind     kniner    noch Elektronen, Die positiven  Ionen, welche in der Wolke gebildet werden, sind  viel schwerer als die Elektronen; sie werden, natürlich  sowohl von der Kathode als auch von den Wänden       >emeinen,    weisen sie  des Schirmes     angezogene.    Im     allg     eine gleich grosse, aber mit anderen Vorzeichen ver  sehene Ladung auf     wie    die Elektronen, aber wegen  ihrer viel grösseren Masse werden sie nur relativ       l#angsain    beschleunigt. Wenn, sie den. Schirm treffen,  wird die durch den. Stoss entstehende Wärme vom  Kühlsystem abgeführt. Die, Kathode<B>15</B> wird nicht in  dieser Weise gekühlt.

   Deshalb ist es möglich, nach  dem -sich die gewünschte Entladung     eingestelle    hat,  den von der Quelle 43 gelieferten Strom zu reduzie  ren oder vollständig abzustellen, indem die Emis  sionstemperatur der Kathode durch die Bombardie  rung mit positiven Ionen aufrechterhalten wird. Wenn  im Schirm eine zu starke Entladung herrscht, kann die  Bombardierung durch positive Ionen ausreichen, um  die Kathode zu Überhitzen, so     dass    sie in einer kür  zeren Zeit ausgebrannt ist als in den etwa 2000.  Stunden, die als normale Lebensdauer erwartet wer  den können. Wie schon erwähnt, kann der Ent  ladungsstrom bei einer gegebenen, Spannung zwischen  der Kathode und der Anode, durch Regulieren des  in den     Schirin    eingeführten Gasstromes gesteuert  werden.

   Ein Kriterium für die Stärke der Entladung  ist die     Erwärraung    der Kathode. Im allgemeinen wird       man        auf        jeden,        Fall        ungefähr        10;%        der        gesamten        im       System verbrauchten Leistung für diesen Zweck auf  wenden müssen.

   So werden in einer kleineren,     Ver-          suchsa#nila,o"e    mit einer     6-kW-Entladung    etwa<B>600</B>  Watt für die     Heizuno,    der Kathode benötigt, ob     nun     diese Leistung von der Quelle 43 geliefert werde  oder durch die     lonenbon:lbeidierung.     



  Wenn die Entladung am Anfang die zu schmel  zenden losen Teilchen erreicht, ist die     Wärmelei-tung     zwischen denselben relativ gering, und     die    Teilchen  an der Oberfläche der Charge im Behälter schmelzen  rasch, worauf sie nach unten ad den Boden des  Behälters und nach aussen     gegen,die    Wände fliessen.  Bei der Berührung mit der gekühlten Wand tritt eine  sofortige     Verfestiggung        ein,    und ein     Temperaturgra,-          dientbildet    sich von der Mitte nach aussen gegen die  Ränder.

   Das anfänglich geschmolzene Material     ver-          schiniht        mit    dem Stummel<B>39.</B> Das Material  schrumpft bei der Verfestigung und zieht sich dabei  von den Wänden des Behälters zurück. Im Betrieb  wird der Barren kontinuierlich     zurück.,gezogen,    um  damit Material durch den Boden des Behälters mit  derselben Geschwindigkeit zu entfernen, mit     welch-er     es durch die Leitung<B>27</B> dem oberen Teil zugeführt  wird. Der     Burren    kann beim Austritt von Zeit zu  Zeit abgeschnitten werden, um Stücke der     #erforder-          lichen    Länge zu bilden.  



  Die in     Fig.    2 dargestellte     Ausführungsforin    der  Vorrichtung nach der Erfindung gleicht     im        wosent-          lichen    dar in     Fig.   <B>1</B> dargestellten, was die Hülle     selbist,     den Behälter und das Vakuumsystem angeht.

   Die  Teile, welche dieselben Funktionen ausüben, sind im  allgemeinen mit denselben     überweisungen        be#zeich-          riet;    sie sind durch Striche unterschieden,     Mio    ein  Funktionsunterschied oder ein wesentlicher     Kon,          struktionsunteTschied    besteht.  



  Die, in     Fig.    2     dargesteUte.    Vorrichtung ist dazu  eingerichtet, mit höheren Spannungen. zwischen Ka  thode und Anode und niedrigeren Strömen zu     alibei-          ten.    Der Hauptunterschied zwischen der Konstruk  tion nach     Fig.    2 und     dewjenigen.    nach     Fig.   <B>1</B> liegt im  Schirm<B>191.</B> Wie im Falle, der     Fig.   <B>1</B> ist der Schirm  wassergekühlt, aber dies ist nicht immer nötig, und  der Schirm wird deshalb ausser von, den     Kühlleitun#     ,gen<B>23</B> noch: von Trägem<B>51</B> getragen,.

   Wie     dair-          gestellt,    ist jedoch an einer Stelle die     Wolfranistab-          kathode        mit    dem Schirm     verbunden.,Die    beiden An,       schlüsse    )sind durch Öffnungen in der Wand des  Schirmes     herausge)führt.    Sie sind wie vorher über  isolierte Leitungen<B>17</B> durch die, Wand der Hülle<B>5</B>  angeschlossen.

   In diesem Falle ist der Schirm<B>19'</B>  oben offen, und     des-halb    kann die Leitung<B>27'</B> das  zu schmelzende Material direkt     durcili    diese. Öffnung       in        den,    Behälter fallen lassen. Wie beim ersten Bei  spiel tritt auch hier die Leitung<B>31</B>     du#rch    den oberen  Teil der Hülle ein,     ium    dem     Elektronenstroin    Gas       zuzuführen.     



  <B>.</B> Wegen dem offenen     Aufbaw    des, Schirmes ist der  Druckgradient zwischen ihrem Inneren und dem Kör  per der Hülle viel geringer als     bei    der ersten Aus  führungsform. Der Druck innerhalb des Schirmes      kann jedoch hoch genug gemacht werden, um eine  Glimmentladung aufrechtzuerhalten, aber wegen der  stark verminderten Anzahl von ionischen Ladungs  trägern kann zwischen. der Kathode und der Anode  eine viel höhere Spannung angelegt werden.

   Die in       Fig.    2 dargestellte Ausführungsform der Vorrichtung  nach, der Erfindung ist daher im     Vergleioh    zu der in       Fig.   <B>1</B>     daeggstellten    eine     Hochspannungs-Nieder-          strom-Vorrichtung-.    Jede der beiden Anordnungen hat  gewisse Vorteile. Das     Isolationsproblern.    ist bei der  in,     Fig.   <B>1</B> dargestellten Ausführungsform einfacher.

    Die, in     Fig.    2 dargestellte     Ausführungsfonn    benötigt  dafür eine geringere     Kathodenemission    für dieselbe  Leistung, und deshalb ist der     Gesarntwirkungsgrad     etwas besser. Es ist klar,     dass    in, der Konstruktion  ,ach     Fig.    2 ein Feld zwischen der Kathode<B>15</B> und  der oberen Wand der Hülle<B>5</B> besteht, und man  könnte erwarten"     dass    längs diesem Feld eine Ent  ladung stattfindet.

   Dies ist aus einer Reihe von Grün  den nicht der     Falil;    die Kathode ist in der Form einer  Schlaufe, in der Nähe. der Aussenwand<B>des</B> Schirmes  angeordnet und wird durch den Flansch<B>53</B> teilweise  abgeschirmt, der den oberen Teil des Schirmes teil  weise abschliesst. Die meisten     Felfflinien    vom oberen  Teil der Hülle endigen deshalb auf diesem Flansch,  so     dass    das<B>Feld,</B> welches an die Kathode selbst ge  langt,     nuT    relativ schwach ist.

   Ausserhalb dieses Flan  sches ist der Druck zu gering, um eine     Glimment-          ladung        aufrechtzuerhälten,    wobei der Druck an der       öffnung-    im wesentlichen ebenso niedrig ist wie im  Körper der Hülle. Der höchste Druck im Schirm  herrscht etwas unterhalb der Kathode zwischen, der  Kathode und der Anode.     Indiesern,    Gebiet wird das  Gas     ionisiert,    die Raumladung wird weitgehend     neu-          trallsiert,    und die auftretende Entladung ist gegen  über anderen.

   Wegen zwischen der Kathode und der  Hülle so     niederohmig,        dass    die Entladung längs die  ser Streupfade     vernachlässigbar    ist. Der höchste  Druck herrscht wahrscheinlich. unmittelbar über der  Mitte der Schmelze, wo sich, sowohl     lonisierte    Mole  küle des Dampfes der Schmelze als auch ionisierte  Moleküle des     zugefährten    Gases befinden. Wie im  Falle der     Niederspannungsentladung    entsteht dadurch  eine Art Glasfokussierung, welche die Entladung auf  die Oberfläche der Schmelze beschränkt, wobei prak  tisch, kein Raumstrom auf die Wände des, Behälters  <B>7</B> fliesst.

   Die Entladung unterscheidet sich nur in der  Stärke     vonderjeniggen,        die    in     Verbindungmit        Fig.   <B>1</B>  beschrieben, wurde, und die Arbeitsvorgänge sind mit  denjenigen der     Fig.   <B>1</B> identisch> was die Zufuhr des  Gases, dir, Behandlung der Schmelze und das     Ziu-          rückziehen    des Barrens betrifft.  



  In beiden Fällen ist die Art der     Eiftladung    von  einem Lichtbogen streng zu unterscheiden. Die letz  ter-- Entladungsart ist gekennzeichnet durch einen  begrenzten     Kein    aus ionisiertem und gut leitendem  Gas, und die Entladung endigt in einem kleinen Heck  auf der     Anodenoberfläche    und ähnlich auf der Ka  thode. Es ist bekannt,     dass    ein Bogen eine fallende       Charakt,erlsük    -hat, das heisst,     dass    in einem einmal    begonnenen Bogen der Strom ansteigt und die Span  nung sinkt, 'bis ein, Gleichgewicht erreicht wird durch  eine Begrenzung des Stromes durch, einen Wider  stand     Ün.    Speisekreis ausserhalb des Bogens selbst.

    Dies rührt von der vollständigen Neutralisierung     der     Raumladung durch positive Ionen im     Entladung-          wege    her. Wo     im        Entladüngsweg    genug     ionisierbare     Moleküle vorhanden sind, um diese     Neutrallsierung     zu, bewirken,

   hat eine Änderung des Gasdruckes kei  nen wesentlichen     Einfluss    auf den     Stromfluss.    Die im  vorliegenden System verwendete Entladungsart ist       viel        wenig        ger        dicht.        Im        Bereich        der        Gasdrücke,        in        wel-          chern.    diese Art der Entladung auftritt, ist die Zahl  der Gasmoleküle, welche positive Ionen bilden kön  nen, so beschränkt,     dass    die Raumladung von den  gebildeten Ionen,

   nur     teilWeise    neutralisiert wird. Der  Strom der Entladung ist eine direkte Funktion des  Gasdruckes. Die Charakteristik der Entladung ist  steigend und nicht fallend, und deshalb ist ein Schutz  widerstand ausserhalb     dez    Entladung zur Aufrecht  erhaltung der Stabilität nicht erforderlich. Der Druck,  welcher zur     Alufrechterhaltung    einer Bogenentladung  nötig ist, ist mehrere Grössenordnungen höher als der  in der Konstruktion nach     Fig.   <B>1</B> verwendete, welcher  ,seinerseits     s#cho#n    höher ist als derjenige nach     Fig.    2.  



  Es wäre bei beiden dargestellten Ausführungsfor  men möglich, mit einer reinen Elektronenentladung  zwischen der Kathode und der Schmelze zu arbeiten;  dazu     müsste    nur die Gaszufuhr vollständig abgestellt  werden; dies würde für die Entladung eine viel höhere  Spannung als für den vorliegenden Fall, wo Gas zu  geführt     wirdi,    erfordern. Der Abstand zwischen Ka  thode und, Anode ist in     Fig.    2 geringer, und, die Ka  thode ist weniger wirksam abgeschirmt, so     dass    weni  ger     Feldlinlen    auf dem Schirm endigen und eine ge  ringere     Raurnladung    entsteht.

   Wenn in der Vorrich  tung     der        Fig.    2 die     Gaszufuh#r    allmählich verringert  wird, verschwindet die     Glasfokussierungswirkung     nach und nach, und die Form     des    Schirmes wird  wichtiger, da das Feld im Zwischenraum zwischen  dem Schirm und dem Behälter die Eigenschaften der  Elektronenlinse und das Gebiet bestimmt, in welchem  die Entladung die Schmelze trifft. Die     cinwärts     geneigten Wände im Schirm, wie sie in     Fig.    2 dar  gestellt sind, welche teilweise die Form des Feldes  bestimmen, sind bei geringeren, Drucken notwendiger  als bei höheren. Am Hochdruckende des Bereiches,  an, welchem -eine beträchtliche Gasmenge in den oben  offenen.

   Schirm eingeführt wird, können die Wände  wie bei dem geschlossenen Schirm zylindrisch sein:.  



  Es ist bekannt, Metalle unter     Valkuum    durch eine  Elektronenentladung zu schmelzen. Wie es in der  Literatur beschrieben ist, wurde dir, Entladung<B>je-</B>  doch zur Erhitzung eines     Kohlegefässes    verwendet,  welches das Metall enthielt, und es wurde nicht ver  sucht, die Entladung auf die Oberfläche des Mate  rials zu fokussieren, das in einem relativ kalten Be  hälter enthalten ist. Der hier verwendete Behälter ist  nicht ein Schmelztiegel im üblichen Sinne des, Wortes,  da die Hitze der Schmelze nicht durch ihn     zugefährt         wird, und da das geschmolzene Material nicht mit  ihm in, Berührung bleibt.

   Tatsächlich wird, das ge  schmolzene Material in einem<B>Gefäss</B> aus derselben  Substanz in der festen     Phasegehalten.    Die Schmelze  wird deshalb nicht durch. Material verunreinigt, das  aus der Wand des Behälters aufgenommen, wird. Wei  ter ist es klar,     dass    durch Reduktion der     Kühlmittel-          zirkulation,    in der Schlange<B>9</B> erreicht werden kann,       dass    sich die Schmelze nur in einer Schicht um Um  fang verfestigt, wodurch das Material selbst eine     Aus-          trittsöffnung    'bildet, durch welche es in flüssiger  Form entfernt werden kann,

   -um es in anderer als  der dargestellten     Bairrenform    zu giessen-. Auch bei  dem in Verbindung mit     Fig.   <B>1</B> beschriebenen     Nieder-          span,n#ungsbetrielb    ist der Gasdruck innerhalb des  Schirmes viel' kleiner als bei einer Bogenentladung  und auch viel kleiner als,     die    Dampfdrücke, die     noir-          malerweise    durch das, Freiwerden von gelösten und  eingeschlossenen Gasen entstehen.

   Bei Bogenentla  dungen,     muss    das nicht der Fall sein, so     dass    Verunrei  nigungen durch die den Bogen umgebende, Atmo  sphäre möglich sind, wozu die Störung durch     Kon-          vektionsiströme    kommt, welche die Anwendung von  Bogenentladungen auf das Schmelzen von amorphen  Pulvern     verunmöglicht.    Während also die verwende  ten Drücke zwischen denjenigen liegen, die bisher  üblich waren, ist die verwendete Entladung von      & n     bisherigen. nicht nur in der Stärke, sondern in, der  Art verschieden.  



  Es sind viele Modifikationen der Form der Ka  thode, des Schirmes und des Behälters möglich. Der  Schirm hat den doppelten Zweck, das     Gebiethöhe-          ren        Druck-es    zu, begrenzen und als     Foku:ssierelek-          trode    zu wirken, und seine Form kann deshalb in  weiten Grenzen geändert werden-, um die Grösse,  Form und relative Konzentration der Entladung zu  verändern,. Die dargestellten besonderen     Ausfüh-          rungsfonnen,        soRen    deshalb nicht Begrenzungen der  Grundidee der Erfindung bedeuten.  



  Das beschriebene Verfahren und die     dargestell,-          ten    und beschriebenen Vorrichtungen sind besonders  geeignet zum Schmelzen von Materialien mit hohen  Schmelzpunkten, von chemisch sehr aktiven Mate  rialien     undi    von, Materialien,     dile    am leichtesten in     un-          homogener    Form, z. B. in Form von Schwämmen,  Körnern oder Pulvern erhältlich, sind     und/oder    einen  relativ hohen elektrischen Widerstand haben, so     dass     sie nicht durch     Induk-tions:hei#5u.ntg    werden  können.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRüCHE <B>1.</B> Vorrichtung zum Schmelzen, von elektrisch lei tendem Material im Vakuum durch Bonibardement mit Elektronen, mit einer evakulerlbaren Hülle, die einen Behälter für das zu behandelnde Material ent hält, über welchem eine thexinionische Kathode an geordnet ist, dadurch, gekennzeichnet, dass ein wenig stens teilWeise zylindrischer Schirm den grösseren Teil des Entladungsraumes zwischen der Kathode und dem erwähnten Behälter umgibt, wobei der inner halb des Schirmes gelegene Raum gegenüber dem ge samten Inhalt der evakuierbaren Hülle klein ist und mit demselben in, Verbindung steht.
    II. Verfahren zum Betrieb der Vorrichtung nach Patentanspruch I, bei dean Elektronen von der<B>Glüh-</B> kathode emittiert werden und auf das als Anode wirkende Material, auftreffen, dadurch gekennzeich net, dass innerhalb des im Vakuum angeordneten Be hälters, welcher gekühlt wird, ein geschmolzener See des Materials durch Elektronenbombardierung seiner Oberseite aufrechterhalten wird, wiährend d'er Boden dieses Sees, gekühlt wird, so dass hier eine kontinu ierliche VP-rfestigung des Materials stattfindet,
    und dass das festgewordene Material kontinuierlich vom Boden des Sees entfernt wird, wobei neues Material kontinuierlich der Oberseite des Sees zugeführt wird'. <B>UNTERANSPRÜCHE</B> <B>1.</B> Vorrichtung nach Patentanspruch,<B>1,</B> dadurch gekennzeichnet, dass der Schirm ein elektrisch leiten der Zylinder mit einem geschlosisenen oberen und einem offenen unteren Ende ist, dass das offene untere En & , über dem Behälter liegt und einen Abstand von demselben hat, um einen Durchgang füT gasiförmige Stoffe zu bilden,
    dass die Kathode im Schirm in der Nähe seines oberen Endes angeordnet ist, und dass Verbindungen vorhanden sind, um -den Schirm auf dem gleichen elektrischen Potential zu halten wie die Kathode. 2. Vorrichtung nach Patentanspruch<B>1,</B> dadurch gekennzeichnet, dass der Schirm ein, elektrisch leiten der Zylinder mitöffnungen von kleinezem Durchmes- s-er an beiden Enden ist, dass das offene untere Ende Über dem Behälter liegt und einen Abstand von dem selben -hat, um, vinen Durchgang für gasförmige Stoffe zu bilden,
    dass die Kathode von, einer Drahtschleife gebildet wird, die koaxial im Schirm angeordnet ist, und dass Vedbindungen vorhanden sind, um den Schirm auf dem gleichen elektrischen Potential zu halten wie, die Kathode. <B>3.</B> Vorrichtung nach, Patentangpruch,- I, dadurch gekennzeichnet, dass ein, Mittel vorhanden ist, um das zu behandelnde Material) kontinuierlich durch, das Innere des Schirmes und der Kathode nach unten in den, Behälter zu führen. 4. Vorrichtung nach Patentanspruch<B>1,</B> dadurch gekennzeichnet, dass ein Rohr vorhanden ist, um einen regulierten Gasstrom ins Innere des Schirmes einzuführen.
    <B>5.</B> Vonrichtung nach Patentanspruch<B>1,</B> dadurch gekennzeichnet, dass der Behälter eine ringförmige, flüssigkeitisgekühlte Gussform ist, und dass ein Mittel vorhan,d#n# ist, um ein Gussstück kontinuierlich durch den Boden der Gussform zurückzuziehen, wählrend das Material in der Form erstarrt.
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