CH371867A - Procédé pour l'attaque de verres siliceux et application de ce procédé - Google Patents

Procédé pour l'attaque de verres siliceux et application de ce procédé

Info

Publication number
CH371867A
CH371867A CH5597958A CH5597958A CH371867A CH 371867 A CH371867 A CH 371867A CH 5597958 A CH5597958 A CH 5597958A CH 5597958 A CH5597958 A CH 5597958A CH 371867 A CH371867 A CH 371867A
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
glass
attack
solution
etching
hydrofluoric acid
Prior art date
Application number
CH5597958A
Other languages
English (en)
Inventor
Edward Allen Richard
Rothermel Daphne Land
Original Assignee
Corning Glass Works
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Corning Glass Works filed Critical Corning Glass Works
Publication of CH371867A publication Critical patent/CH371867A/fr

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C15/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by etching

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)

Description


  Procédé pour l'attaque de verres     siliceux    et     application    de ce procédé    On connaît un procédé d'attaque sélective du  verre usiné ou sculpté par voie chimique, décrit dans  le brevet suisse No 306004 du 30 août 1952.  



  Ce procédé     consiste    à former à     l'intérieur    d'un  objet en verre un     dessin    comprenant des     aristallites          choisies    dans le groupe     silicate    de     lithium,        bi-sihcate     de baryum ou un     fluorure    de métal     alcalin,    tout en  laissant     inaltéré    le     reste    de l'objet en verre,

   puis en       traitant    ensuite le verre à l'aide d'une solution       aqueuse    diluée     d'acide    fluorhydrique pour     dissoudre     d'une     manière    préférentielle une partie du     verre.     Dans les     objets    en verre contenant des     cristallites        dis-          posées        suivant    un dessin,

   la portion du verre     conte-          nant    les     cristallites    est attaquée ou dissoute par  l'acide fluorhydrique à une vitesse     différente    de celle  de la partie     restante    du verre. Le rapport entre     ces     vitesses     d'attaque        différentes    peut atteindre 50 : 1 et  dépend des facteurs     tels    que composition et     tempéra-          ture    de la solution acide d'attaque.

   En général, les       rapports        optima        d'attaque    sont obtenus pour les  verres     contenant    du lithium     comprenant    des     cris-          tallites    du type     silicate    de     lithium.     



  Le     procédé    peut être largement utilisé     dans    la  production d'objets en     verre    de     forme        compliquée     et/ou d'objets munis de     dessins    précis tels que     des     panneaux pour circuits     imprimés,    plaques     d7rnpres-          sion,    écrans,

   panneaux     d'instruments    et     similaires.     Il est aussi     extrâmement        utile    pour la     production     d'objets en verre perforés avec     précision        tels    que les  masques     perforés    en verre pour tubes récepteurs de  télévision en     couleur.    De tels masques sont     faits     d'une     feuille    de verre mince portant des centaines de  trous de     dimensions        précises    et régulièrement     espacés     par     

  cm2    de surface de verre.  



  On s'est     aperçu,        toutefois,    que dans un grand  nombre de ces     applications    la réussite de ces opéra  tions dépend, en     définitive,    de     1a        possibilité    d7em-         ployer    un procédé     continu        standardisé,

          dans    lequel  on     utilise    une     solution        acide    d'attaque pendant une       certaine    période de temps pour graver     successivement     des objets de verre     similaires,    suivant des     données          déterminées.    Les expériences faites dans     ce    but ont,       toutefois,

      montré que les taux d'attaque du verre et  que le     rapport    de la vitesse d'attaque dans la     partie          alaire    et     dans    la partie     contenant    les     cristallites,

          va-          rient    dans une grande     mesure    avec la composition et  la     concentration    de la     solution    d'acide     fluorhydrique          d'attaque.    Un procédé standardisé exige donc des  moyens pour     maintenir    la solution d'attaque à une       concentration    et à une composition constantes.  



  L'expédient le plus     facile        consistant    à     .utiliser    une       solution    fraîche est impraticable aussi bien en     raison     du     facteur        prix    que du problème de l'évacuation de       l'acide    usé. II est donc très désirable de trouver des  moyens efficaces de     régénération    de la     solution.     



  On avait tout d'abord pensé     qu'un    bain     acide     d'attaque pouvait être     régénéré        simplement    en lui  ajoutant     suffisamment    d'acide fluorhydrique, pour  compenser     celui    utilisé lors de l'attaque,     c'est-à-dire          ayant    réagi .avec     les        constituants    oxydes du     verre    et  les     cristallites        qui    y sont contenues pour     former    des       fluorures    correspondants.

   Cependant, les tentatives       d'utilisation    d'un bain régénéré de cette façon ont  montré que la vitesse d'attaque de la partie du verre  contenant les     cristallites        diminuait        continuellement,     même quand la     concentration        acide    apparente du       bain    était     maintenue        :

  constante.    On     sait    que du       H2SiFs    se     forme        pendant    la     dissolution    de     SiO2,    qui  est     un    des     constituants        principaux    du     verre,    et qu'une       partie    importante de     l'acide        fluorhydrique    apparem  ment présent devient donc     inefficace    pour l'attaque.

    On a     établi        qu'il        était        nécessaire    de     .maintenir        une     concentration     constante    de HF     libre,    c'est     à-dire    exis-      tant en plus du HF présent sous     forme    de     H.SiF6,          afin    de maintenir une vitesse     d'attaque    constante.  



  Ceci, cependant, s'est montré n'être qu'une solu  tion partielle du problème, car il s'est avéré que la       différence    des vitesses d'attaque décroissait     pour    un       basin    âgé,     régénéré    et réutilisé de -cette     manière    ;

   cela       signifie    que les parties de verre     clair    et celles conte  nant des     cristallites    ont, dans un tel bain,     tendance    à  être     attaquées    à des vitesses plus rapprochées, même  si la vitesse d'attaque des     parties    contenant des     cris-          tallites    demeure constante.

   On a alors     constaté    que  ce     changement    de la     différence    des vitesses d'attaque,  inattendu et indésirable, était dû en grande     partie,    si  non entièrement, à     l'accumulation    de     H.SiFE,    dans  le bain d'attaque.

   Bien qu'aucune     explication    satis  faisante puisse     être    donnée pour     cette        différence    im  prévisible du     comportement    du verre contenant des       cristallites    et du verre n'en contenant pas, l'impor  tance de la     concentration    de     H,,SiF6    aussi bien que  de     celle    de HF     dans    les     solutions    d'attaque régéné  rées, apparaît     clairement.     



  Un remède évident     consiste    à remplacer     périodi-          quement    une quantité suffisante de l'acide usé par un  mélange     approprié    d'acide frais et d'eau pour     main-          tenir    le     H25iFE    à une faible concentration et la     con-          centration    de     l'acide        fluorhydrique        libre    à la valeur       initiale    désirée.

   Bien que ce procédé soit efficace,  il est     d'-un    emploi     limité    et très coûteux, puisque de  grosses     quantités        croissantes    d'acide     fluorhydrique          utilisables        d'auire    part sont     éliminées    à chaque ins  tant.

       Il    est évident qu'il est     nécessaire    de     mettre    au       point    une méthode de     contrôle    de la     solution    de dé  capage en     neutralisant    le     H25iF6    sans     affecter    la solu  tion     d',acide        fluorhydrique    et la     présente    invention se  propose de     procurer    une telle méthode.

   Elle a     pour     objet un procédé pour l'attaque de verres     siliceux     au moyen d'une solution contenant de l'acide     fluorhy-          drique.    Ce procédé est caractérisé en ce que, pour  régénérer     cette        solution,

      on     élimine    par précipitation  une partie au moins de l'acide     fluosilicique        résultant     de l'attaque et on ajoute une quantité d'acide fluor  hydrique     suffisante    pour     répablir    la     concentration        ini-          tiale    d'acide fluorhydrique libre dans la     solution.     



  Tout sel     soluble,    dont l'ion métal forme un     silico-          fluorure        relativement        insoluble    et un     fluorure    soluble  peut être     utilisé    pour la     précipitation.    On ,a, toutefois,  constaté que les     sels    de potassium sont     particulière-          ment        efficaces    dans ce but.

   Il faut prendre garde, en       choisissant    le     sel    à     employer,    à ne pas     introduire          dans    le     bain    union qui     interférera        avec    l'attaque ulté  rieure ou aura une influence néfaste sur l'équipement       utilisé.    Les ions de nitrate ou de     sulfate,    par exemple,

    doivent     être    évités     dans    le cas où l'acide correspon  dant     formé    par ces     ions        peut    avoir un     effet        corrosif.     Le     fluorure    de potassium peut être     utilisé        conformé-          ment    à la     réaction    ci-après  
EMI0002.0119     
  
     et n'introduit que des     ions    de     fluorure        existant    déjà  dans le     bain.        

  Toutefois,    l'utilisation de ce sel est assez    onéreuse et oblige à tenir compte de la quantité  d'acide qu'il apporte au bain. Pour ces raisons, il est  souvent préférable d'utiliser du     carbonate    de     potas-          sium    soit     anhydre,    soit hydraté, puisque conformé  ment à la réaction     ci-après     
EMI0002.0130     
  
     l'ion carbonate se     décompose    et peut donc être né  gligé     tant    qu'il s'agit de l'effet ultérieur soit sur le       procédé,    soit sur l'équipement.  



  On peut utiliser une solution acide passant     con-          tinueldement    à travers un filtre avec     addition    de quan  tités mesurées de la solution de précipitation, dont la  quantité exacte est contrôlée -par un     dispositif    sensi  ble à la     concentration    de l'acide     fluosilicique    dans  la solution.

   Le     silico-fluorure    formé peut être enlevé  lorsque la matière est pompée à travers le filtre et,  tandis que le liquide filtré est ramené au bain d'atta  que, des quantités mesurées d'acide     fluorhydrique     sont ajoutées, les quantités exactes d'acide     étant    à  nouveau contrôlées par un dispositif sensible à la  concentration de l'acide     fluorhydrique.        Dans    la plu  part des cas     d'emploi,    cependant,

   un     dispositif        com-          pliqué    de ce genre et le contrôle précis     qu'il        permet     ne sont pas nécessaires. En général,     il    est     suffisant     d'ajouter     périodiquement    au     bain    d'attaque une quan  tité prédéterminée et mesurée d'agents de précipita  tion et de     faire    circuler la     totalité    du bain à travers  un filtre, en     employant    une couche de décantation in  termédiaire, si on le désire.

   Pour plus de     facilité,        an     prévoit un     bain        double,    de sorte que l'un des bains  peut être utilisé pendant que l'autre est en     cours    de  régénération.  



  On a, de     plus,        constaté    que, pour     différentes        rai-          sons,        il    est en général, inutile et indésirable d'enlever  complètement le     H@SiF6    présent dans le bain     d'atta-          que.    Ainsi, quand     cet    acide est complètement     préci-          pité,

      l'attaque du bain régénéré est fréquemment tout  à fait     variable.    La raison de ce qui     précède    n'a     pas     été complètement     établie.    Il est présumable     cepen-          dant    qu'il se forme en quelque sorte une solution sur  saturée et     que    des sels capables de bloquer l'attaque  sont     par    la suite déposés sur tous     les        verres        introduits          dans    le bain régénéré.

   Suivant une théorie, des ions  potassium     restent    dans la     solution    régénérée et ten  dent à se rassembler sur une     nouvelle        surface    de  verre pour     interférer    avec l'attaque.

   Une     seconde     théorie suggère que la solubilité de certains     fluorures          métalliques        formés    pendant l'attaque, le     fluorure    de  lithium par exemple,

   est     liée    à la     présence    de     H2SiF6     et que la     solubilité    de ces sels est altérée dans une       telle    mesure par l'enlèvement     complet    de     cette    ma  tière qu'il se     forme    une solution     sursaturée.        Quelle     que soit     l'explication,    cependant, nos     recherches        ont     indiqué qu'il est ban de maintenir en     tous    temps au  moins unefaible concentration de     H,SiFE,

      dans un  bain d'attaque régénéré.           Dans        les    procédés     d'attaque,    et     particulièrement     dans la     perforation    du verre, il est souvent désirable  de     donner    à la perforation une certaine     conicité    con  trôlée.

   Par exemple, le     fonctionnement        satisfaisant     de certaines     ouvertures    ou de     certains    masques. per  forés dans les tubes à     rayons        cathodiques,        dépend    de  1a     conicité    contrôlée des     ouvertures        ou        perforations,

       afin que les     électrons    soient convenablement     transmis     et non     perturbés    ou absorbés     lorsqu'ils    atteignent les       perforations    du masque sous un petit     angle.        Attendu     que le     rapport    des vitesses d'attaque peut être modi  fié en faisant varier la concentration du     H2SiF.    ,

   il est  possible     d'établir    une relation entre la concentration  de l'acide et la vitesse d'attaque et     d'assurer        ainsi    le  degré de     conicité    voulu aux perforations obtenues  par attaque chimique.

   Ainsi, en produisant des, mas  ques     perforés    en attaquant un verre ayant un rapport  de     vitesses    d'attaque de 35 à 1 dans de     l'acide        fluor-          hydrique    à 10 %, il a été établi qu'il était     pratique    de       travailler    avec des solutions d'attaque dans lesquelles  la concentration de     H.SiFG    exprimée en     SiO2        est          maintenue    dans une gamme de concentration équiva  lente à 2-5 %     SiO2.    En général,

   des     concentrations          plus        fortes    de     H.SiFG    produisent une conicité trop       grande,    tendent à abaisser trop fortement la vitesse  d'attaque et à produire sur le verre attaqué une sur  face non unie, alors que des concentrations plus fai  bles ne     permettent    :pas d'obtenir la     conicité    conve  nable.  



  On a     également    constaté     qu'afin        d'obtenir    les ré  sultats     optima    en     utilisant    un bain régénéré, il était  bon     d'agiter        le    bain     pendant    l'attaque     et    de le mainte  nir à une température de 250 ou plus.

   Avec des tem  pératures plus basses et/ou un bain non agité, le     rap-          port    d'attaque a tendance à varier     irrégulièrement,     probablement en raison de la     conservation        partielle     sur le     verre    de     produits    de décapage insolubles.

   L'agi  tation du bain     peut        être    réalisée d'une façon     satisfai-          sante,    soit en le     remuant        mécaniquement    pendant  l'attaque, soit en     appliquant    avec force     l'acide    à la       surface    à attaquer, comme par pulvérisation.  



  A titre d'exemple le procédé de régénération d'un  bain d'attaque utilisé pour la     production    de masques       perforés    en     verre    est décrit     ci-après.        Des    feuilles min  ces de verre     ayant    approximativement la     composition     ci-après: 79,5 %     SiO2;    10 %     Li2O;    5 % K20;

    4 %     A1203    ; 1 %     ZnO    et de     petites    quantités       d'agents    d'affinage et     photosensibilisants    ont été sou  mises à un traitement     photothermique    tel que     celui          décrit    dans le brevet No 306004 déjà     cité,        afin    de  produire dans le verre le dessin voulu de     cristallites     en vue de     l'attaque    sélective.

   Les     feuilles    de verre  ainsi traitées     .avaient    un rapport des vitesses     d'attaque     de 35 à 1. Elles     ont    été alors     successivement    suspen  dues     au-dessus    d'un     bain    d'attaque     contenant    envi  ron 246,

  51 d'une     solution    d'HF à 10 % et     attaquées          pendant    un temps     prédéterminé        en        projetait    de       l'acide    vers le haut     sur    la     surface        tournée    vers le bas  des feuilles de verre, à     Faide    d'un     dispositif    à pa  lettes     rotatives    convenable,

       afin    de produire     les    orifi-    ces     coniques        voulus        dans    les     feuilles.        Pendant        1.'afa-          que,    il se     forme        des        fluorures        métalliques        tels    que       L1F,        KF,        A1F3    et     ZnF,    ou leurs     combinaisons,

      et le       SiO2    attaqué est converti en     H2SiF6.        Dès    que le     bain     a     atteint    une     concentration    de     cet    acide     équivalente    à  5 %     SiO2,        l'attaque    a été     arrêtée    et 18, 16 kg envi  ron de     2K2C03,    3H20 ont été ajoutés au bain     d'at-          ta-que.    La suspension     résultante,

      contenant du     fluosi-          licate    de     potassium        précipité,    a été     filtrée    à     travers     un     filtre    en     .tissu    et reversée     dans        d'appareil    d'attaque  avec une quantité suffisante     d'acide    fluorhydrique à  60 % d'eau     pour        maintenir    le     bain    à un volume       relativement    constant et     lia    concentration en     

  HF        libre     à environ 10 %.  



  Le précipité enlevé par     filtrage    a été     neutralisé     et     éliminé.    En     variante,    le précipité     peut    être     séché     et     .récupéré    comme     sous-produit.     



  Le     présent        procédé    a une valeur     particulière    dans  la production de masques     perforés,        puisqu'il    n'y a  virtuellement     aucune        limite    au nombre de fois où le       bain    peut     être        régénéré.    En outre,     comme        indiqué        ci-          dessus,

      le bain est     maintenu        constamment        entre    les       limites        désirées    de     concentration    de     H2SiFE    pour la       production    de     perforations        possédant    la     conicité    dési  rée.

Claims (1)

  1. REVENDICATION I Procédé pour l'attaque de verres siliceux au moyen d'une solution contenant de l'acide fluorhydri- que, caractérisé en ce que, pour régénérer cette solu tion,
    on élimine par précipitation une partie nu moins de l'acide fluosilicique résultant de l'attaque et on ajoute une quantité d'acide fluorhydrique suffisante pour rétablir la concentration initiale d'acide fluor- hydrique libre dans -la solution. SOUS-REVENDICATIONS 1.
    Procédé selon la revendication I, caractérisé en ce que, pour précipiter l'acide fluosilicique, on ajoute un sel de potassium à laRTI ID="0003.0227" WI="12" HE="4" LX="1477" LY="1795"> solution d'attaque.
    2. Procédé selon la revendication I, caractérisé en ce que l'or maintient la solution d'attaque à une température d'au moins 251) C pendant l'attaque. 3.
    Procédé selon la revendication I, caractérisé en ce que l'on projette la solution d'attaque contre une surface du verre. 4.
    Procédé selon la sous-revendication 3, carac térisé en ce que l'on projette la solution d'attaque vers le haut, ladite surface du verre étant tournée vers le bas. 5. Procédé selon la revendication I, caractérisé en ce que l'on agite la solution d'attaque afin de créer une action de lavage sur une surface du verre.
    REVENDICATION II Application du procédé selon la revendication 1, à l'attaque d'un verre siliceux quia été traité photo- thermiquement pour rendre une partie du verre plus soluble dans la solution d'acide fluorhydrique que la partie restante. SOUS-REVENDICATIONS 6.
    Application selon la revendication II, à l'atta que d'un verre au silicate de lithium. 7. Application selon la revendication II,
    caracté risée en ce que l'on régénère la solution d'attaque de façon à maintenir le rapport de la vitesse d'attaque de ladite partie plus soluble à celle de la partie res- tante pratiquement constant pendant toute la durée de l'attaque. 8. Application selon la revendication II, à l'exé cution de perforations coniques dans une paroi de verre.
    9. Application selon lia sous-revendication 8, ca ractérisée en ce que le rapport de :la vitesse d'atta que de la partie à perforer à celle de la partie restante du verre est de 35 à 1 dans de l'acide fluorhydrique à 10 % frais, et en ce que l'on maintient la concen- tration de l'acide fluosilicique à une valeur, exprimée en SiO, ,
    comprise entre 2 et 5 %.
CH5597958A 1957-02-18 1958-02-17 Procédé pour l'attaque de verres siliceux et application de ce procédé CH371867A (fr)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US640568A US2989384A (en) 1957-02-18 1957-02-18 Method of regenerating a glass etching bath

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CH371867A true CH371867A (fr) 1963-09-15

Family

ID=24568781

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CH5597958A CH371867A (fr) 1957-02-18 1958-02-17 Procédé pour l'attaque de verres siliceux et application de ce procédé

Country Status (2)

Country Link
US (1) US2989384A (fr)
CH (1) CH371867A (fr)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3121037A (en) * 1958-05-19 1964-02-11 Detrolt Gravure Corp Process and apparatus for preparing rotogravure plates
US3097064A (en) * 1961-03-13 1963-07-09 Lloyd Donald W Recovery of values from pickling liquor
US3284181A (en) * 1964-07-29 1966-11-08 Pittsburgh Plate Glass Co Process for finishing float glass
US3370948A (en) * 1966-04-13 1968-02-27 Bausch & Lomb Method for selective etching of alkali glass
US4944986A (en) * 1988-09-23 1990-07-31 Zuel Company Anti-reflective glass surface
US5120605A (en) * 1988-09-23 1992-06-09 Zuel Company, Inc. Anti-reflective glass surface
KR940007790A (ko) * 1992-09-02 1994-04-28 미야베 요시카즈 자기 디스크용 기판, 그의 제조방법 및 상기 기판을 포함하는 자기 디스크의 제조방법
US6929861B2 (en) 2002-03-05 2005-08-16 Zuel Company, Inc. Anti-reflective glass surface with improved cleanability
FR2909664B1 (fr) * 2006-12-12 2009-02-13 Seppic Sa Procede de satinage d'un objet en verre regule en concentrations

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2235658A (en) * 1938-02-23 1941-03-18 Aerovox Corp Art of reclaiming reagent
US2278257A (en) * 1938-11-22 1942-03-31 Daniel P Gallagher Process of frosting glass
US2428464A (en) * 1945-02-09 1947-10-07 Westinghouse Electric Corp Method and composition for etching metal
USB490662I5 (fr) * 1946-09-21
US2493984A (en) * 1947-11-13 1950-01-10 Mckay Chemical Company Inc Etching compound
US2628160A (en) * 1951-08-30 1953-02-10 Corning Glass Works Sculpturing glass
US2669048A (en) * 1952-11-20 1954-02-16 Dow Chemical Co Etching machine

Also Published As

Publication number Publication date
US2989384A (en) 1961-06-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0565544B1 (fr) Gravure alcaline d'aluminium a finition mate et faible pourcentage de dechets
CN102586780B (zh) 一种酸性蚀刻液及其制备方法和应用
WO2015113890A2 (fr) Procédé de production de textures ou de polissages sur la surface de tranches de silicium monocristallin
CN101399196B (zh) 晶圆背面粗糙化处理方法
US2989384A (en) Method of regenerating a glass etching bath
US1565869A (en) Etching
US4144090A (en) Non-oxidative removal of gold films
JP5910841B1 (ja) ガラス用研磨装置の洗浄液および洗浄方法
WO2013176110A1 (fr) Procédé et appareil pour récupérer de l'oxyde de cuivre à partir de résidus liquides acides contenant du cuivre
US1859736A (en) Method of cleaning metal articles
SU44229A1 (ru) Способ получени водорода
JPS6365620B2 (fr)
US1964161A (en) Method of treating brine containing soluble silica
JPS6252635B2 (fr)
JPH01240684A (ja) 回収硫酸銅の再生方法
SU1191876A1 (ru) Способ регенерации триацетатной основы кинофотопленки
JPS6252634B2 (fr)
JP2006019381A (ja) Izo膜のウエットエッチング方法
JP4140158B2 (ja) 二酸化珪素被膜の形成方法
JPH0416505A (ja) 二酸化珪素被膜の製造方法
CN107287595A (zh) 一种用于tft‑lcd铜蚀刻液的生成处理方法
CN115369412A (zh) 一种去除纯钛工件表面氧化层的方法
CN117279484A (zh) 湿法刻蚀基于金属膜的超导量子比特芯片的方法
JP3005720B2 (ja) リン酸塩皮膜化成処理方法
JPH04371589A (ja) 印刷版用アルミニウム支持体の表面処理方法