CH373486A - Verfahren zum vakuumdichten Verbinden eines Verschlussteils aus Metall mit dem Rand eines Gehäuses mittels Widerstandsschweissung und nach diesem Verfahren hergestelltes, mit dem Verschlussteil versehenes Gehäuse für Halbleitervorrichtun gen - Google Patents

Verfahren zum vakuumdichten Verbinden eines Verschlussteils aus Metall mit dem Rand eines Gehäuses mittels Widerstandsschweissung und nach diesem Verfahren hergestelltes, mit dem Verschlussteil versehenes Gehäuse für Halbleitervorrichtun gen

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CH373486A
CH373486A CH7644859A CH7644859A CH373486A CH 373486 A CH373486 A CH 373486A CH 7644859 A CH7644859 A CH 7644859A CH 7644859 A CH7644859 A CH 7644859A CH 373486 A CH373486 A CH 373486A
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CH
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housing
closure part
vacuum
edge
metal
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CH7644859A
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Faskerty Gabor
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Siemens Ag
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    • H01J5/20—Seals between parts of vessels
    • H01J5/22—Vacuum-tight joints between parts of vessel
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