CH391107A - Verfahren zur Dotierung von Halbleitermaterial - Google Patents

Verfahren zur Dotierung von Halbleitermaterial

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CH391107A
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CH
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doping semiconductor
doping
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CH105861A
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Inventor
Wolfgang Dr Keller
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Siemens Ag
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C30CRYSTAL GROWTH
    • C30BSINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B13/00Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting
    • C30B13/08Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting adding crystallising materials or reactants forming it in situ to the molten zone
    • C30B13/10Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting adding crystallising materials or reactants forming it in situ to the molten zone with addition of doping materials
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    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10PGENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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DES67834A DE1132663B (de) 1958-06-14 1960-03-31 Verfahren zur p- bzw. n-Dotierung von Silizium fuer Halbleiteranordnungen

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL99619C (de) * 1955-06-28
DE1029939B (de) * 1955-06-27 1958-05-14 Licentia Gmbh Verfahren zur Herstellung von elektrisch unsymmetrisch leitenden Halbleitersystemen

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GB892445A (en) 1962-03-28

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