CH400582A - Optisch-elektrische Feinpositioniereinrichtung - Google Patents

Optisch-elektrische Feinpositioniereinrichtung

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CH400582A
CH400582A CH600262A CH600262A CH400582A CH 400582 A CH400582 A CH 400582A CH 600262 A CH600262 A CH 600262A CH 600262 A CH600262 A CH 600262A CH 400582 A CH400582 A CH 400582A
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CH
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scale
positioning device
division
probe head
fine positioning
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Armin Dipl Ing Russig
Kuntze Guenter
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Mikromat Dresden Betrieb
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    • G05B19/02Program-control systems electric
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    • G05B19/29Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an absolute digital measuring device for point-to-point control
    • G05B19/291Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of program data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an absolute digital measuring device for point-to-point control the positional error is used to control continuously the servomotor according to its magnitude

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Description


      Optisch-elektrische        Feinpositioniereinrichtung       Die Erfindung betrifft eine     optisch-elektrische          Feinpositioniereinrichtung,    insbesondere für     Mess-          und    Bearbeitungsmaschinen, bei der ein Teil der     ge-          geneinander    zu positionierenden Teile einen mit     einer     genauen     Millimeterstrichteilung    versehenen beleuch  teten     Massstab,

      und das andere einen     optisch-elektri-          schen        Tastkopf    trägt und     zwischen    beiden     eine    inner  halb einer Teilung relativ zum     Tastkopf    verschieb  bare Linse     .angeordnet    ist, durch deren Verschiebung  Bruchteile dieser Teilung einstellbar     sind,    so dass bei  Deckung eines Teilstriches .des Massstabes mit     der          Strichmarke    im     Tastkopf    die Lage des zu     positionie-          renden    Teiles genau bestimmt ist.  



       Die    optisch-elektrischen     Positionierungen    sind als  absolut sowie ,als     inkremental    arbeitende Systeme  bekannt. Bei den     inkrementalen    Systemen wird nicht  auf Null Bezug genommen,     sondern    der     jeweils        einge-          fahrene    Wert als Bezugspunkt für den     nächsten    einzu  fahrenden Wert zugrunde     gelegt.Diese    bekannten  Einrichtungen arbeiten     zählend,    d. h.

   jeder an     einer          iMarkierung    vorbei bewegte Strich des Massstabes  gibt einen     Impuls    auf ein Zählwerk, welches je nach  Bewegungsrichtung vor-     bzw.        rückwärtszählt.    Ein  grundsätzlicher Nachteil einer zählenden Einrichtung  sind die     Fehlzählungen,    hervorgerufen durch  Erschütterungen und Schwingungen des optischen       Ablese;

  Systems.    Da der Massstab nur die Grobtei  lung trägt und damit nur die Grobwerte     impulsmässig     zählbar sind, ist eine weitere Unterteilung mittels  Schiebelinse eines Millimeters in tausend Teile vorge  sehen.     .Die    Schiebelinse wird vorher auf die Bruch  teile der Millimeter eingestellt, so dass beim Errei  chen des Grobwertes die genaue Position gegeben ist.

    Verursacht jedoch die     :Schiebelinse    bei     ihrer    Verstel  lung den Durchgang eines     Massstabstriches,    so wird  dieser nicht     mitgezählt,    weil der Zähler bei dieser    Bewegung     unempfindlich    geschaltet ist.     Dieser          Strichdurchgang    wird deshalb gesondert in     einem          Hilfszähler    registriert und nachträglich zur Bildung  von Korrekturkriterien herangezogen.

   Für die selbst  tätige Korrektur dieser     Fehler    ist :ein     erheblicher,    ge  rätetechnischer Aufwand erforderlich,     @da    die Mög  lichkeiten der     Falschzählung    von den verschiedenen       Verstellrichtungen    der Linse sowie des zu positionie  renden Teiles und der neuen     ,Bewegungsrichtung    ab  hängen.  



       .Absolut    anzeigende Systeme haben den Vorteil,  die Position gegenüber Null in jeder Lage     abzulesen.     Diese     Möglichkeit    wird durch die bekannten kodier  ten Lineale oder Scheiben geschaffen, die photoelek  trisch abgetastet werden.     ;Die    einzelnen Spuren haben  dabei bestimmte Wertigkeiten, die für die bestimmte  Lage addiert den     Ablesewert    ergeben.

   Da die Genau  igkeit der Positionierung von der Genauigkeit der       kodierten    Lineale oder Scheiben bestimmt wird, sind  für hohe Genauigkeitsanforderungen die Herstellung  dieser Massstäbe unwirtschaftlich teuer.     Genauigkei-          ten    von tausendstel     Millimeter        für        Direkt-Ablesungen     sind nicht zu :

  erreichen, da die Herstellung eines  Massstabes mit einer     Teilung    dieser hohen     Genauib          keit    über die Gesamtlänge technisch nicht durchführ  bar ist.     .Man    hat deshalb schon zwischen kodierter       ,Scheibe    und zu positionierendem Teil mechanische       übersetzungen    vorgesehen, um -bei einem     verhältnis-          mässig    grossen photoelektrisch noch einwandfrei     er-          fassbaren    Umfangsweg -der ,kodierten Scheibe eine  genau definierte minimale     Feinverstellung    zu garan  tieren.

   Bei derartig 'hohen     Einstellgenauigkeiten    wer  den an die     Übersetzungsgetriebe        ebenfalls    sehr 'hohe  Genauigkeitsanforderungen gestellt. Aber selbst Prä  zisionsübertragungselemente ,arbeiten nicht spielfrei,  so dass die Lösung des Problems der FeÄnpositionie-           rung    in dieser     Richtung        erhebliche        Schwierigkeiten     bereitet.  



  Die     Erfindung        bezweckt,    eine     Positioniereinrich-          tung    zu schaffen, bei der Fehlzählungen, hervorgeru  fen durch     Verstellung    des Feinsystems sowie :durch  Erschütterungen und     Schwingungen,    ausgeschaltet  werden.

   Dabei sollen alle Korrektureinrichtungen  und Hilfszähler entfallen und andererseits die Anfor  derungen an die     Übersetzungsgetriebe    in wirtschaft  lich vertretbaren     Grenzen    bleiben, .d.     h.    eine     Positio-          niereinrichtung    hoher     Genauigkeit    mit wenig Auf  wand an Schalt- und Übertragungselementen zu errei  chen.  



  Aufgabe der     Erfindung    ist es, eine     bekannte,    ab  solut messende     optisch-elektrische        Positioniereinrich-          tung    mit einem ebenfalls bekannten     optisch-elektri-          schen        Tasbkopf    so zu kombinieren, dass die Position  vom absoluten System grob und vom Testkopf auf  den vorher an der Schiebelinse eingestellten     Feinwert     genau eingefahren wird. Dabei ist der     Verstellweg    der       Schiebelinse    zu begrenzen.  



       Erfindungsgemäss    wird das dadurch erreicht, dass  zum     Massstab    zusätzlich ein kodierter Massstab vor  gesehen ist, die beide im Gesichtsfeld einer auf  Bruchteile eines Millimeters einstellbaren Schiebe  linse angeordnet sind, deren Verschiebung kleiner ist  als eine Teilung des     Massstabes,    so dass durch den  kodierten     Massstab,    der mit mehreren lichtelektri  schen Wandlern für die     Grobzustellung    in Wirkver  bindung steht, und den mit einem Testkopf zur Fein  einstellung in Verbindung stehenden     Massstab,    eine  absolute Grob- und Feineinstellung durchführbar ist.  



  :Der Verschiebeantrieb der Schiebelinse kann  über eine     Lagerückmeldeeinrichtung,    die als. photo  elektrisch     abgetastete        kodierte    Scheibe ausgebildet ist,  mit einer     Antriebsverriegelung    in Verbindung stehen,  so dass bei     n@Längeneinheiten,    die einer Teilung des       Grohrnassstabes    :entsprechen, die Verschiebebewe  gung auf (n-1)     Längeneinheiten    begrenzt ist.  



  Vorteilhaft sind der kodierte Massstab und der  Massstab auf einem gemeinsamen Glaskörper ange  ordnet, wobei die Grobskala in -der Mitte und zu bei  den .Seiten die     Kodierspuren    liegen. Die Kodierung  kann im     Binär-System    vorgenommen werden und aus  in mehreren     Reihen    liegenden     Hell-Dunkel-Feldern     bestehen, wobei die jeweils jedem Teilstrich     zugeord-          neten.    Felder der     2 -Spur    der Länge eines     Teilstrich-          abstandes    entsprechen und symmetrisch zum zuge  hörigen Teilstrich des Massstabes angebracht sind.

    Die den einzelnen kodierten .Spuren zugeordneten  lichtelektrischen Wandler 'können auf einer gewölb  ten Aufnahme, deren     Krümmungsmittelpunkt    im  Brennpunkt des ankommenden     ;Strahlenbündels    liegt,  befestigt sein.  



  In der Zeichnung ist ein     Ausführungsbeispiel    der  Erfindung dargestellt. Dabei zeigen:       Fig.    1 ein Blockschaltbild der Einrichtung,       Fig.2    eine     vorzugsweise        Ausbildung    der     Mass-          stäbe,            Fig.    3 eine Einrichtung zur Kompensation ver  schiedener     Wärmeausdehnungs'koeffizienten.     



  An einem Maschinentisch 1     (Fig.    1) ist ,parallel zu  seiner     Bewegungsrichtung    ein Glaskörper 2 befestigt,  der eine     Genauigkeitsstrichteilung    3 und parallel zu  dieser einen binär kodierten Massstab 4 trägt. Die       Genauigkeitsstrichteilung    3 ist dabei     mittig        (Fig.2),     und zu beiden     ,Seiten    sind die einzelnen Spuren des  Binärkodes 4 aufgebracht.

   Der Kode besteht aus  rechteckigen     Hell@Dunkel-4Feldem,    die in der 2  Spur  einer Länge eins     Teilstrichabstandes    des     Genauig-          keitsmassstabes    entsprechen und symmetrisch zum  zugehörigen Teilstrich liegen. Am Maschinenständer  gegenüber dem     @GlaAörper    2 sind eine parallel zur  Bewegungsrichtung des Maschinentisches 1 ver  schiebbare Schiebelinse 5 .und ein     !Testkopf    6 fest  angebracht.

   Die Schiebelinse 5     steht    über nicht dar  gestellte Elemente     (Präzisions,gewindespindel    und  Mutter) mit .einem Antrieb 7 in Verbindung, .der über  eine     Lagerückmeldeeinrichtung    8 mit einer     Antriebs-          ,verriegeleinrichtung    verbunden ist. Die Massstäbe 3,  4 auf dem Glaskörper 2 sind von einer Lichtquelle 9  über ein am     Maschinenständer    gegenüber der Schie  belinse 5 befestigtes Umkehrprisma 10 indirekt be  leuchtet. Ebenso könnte eine direkte Beleuchtung der  Massstäbe 3, 4 vorgesehen werden. In diesem Falle  sind die Massstäbe 3, 4 in einen reflektierenden Kör  per eingearbeitet.

   Zwischen der :Schiebelinse 5 und  dem Testkopf 6 befinden sich noch Umkehrprismen  11, 1,2, 13 und     rverschiedene    nicht dargestellte Zwi  schenlinsen zur Übertragung des Lichtes auf den  Testkopf 6. Das Gehäuse des Testkopfes 6 trägt auf  der Seite der ankommenden     Lichtstrahlen    eine ge  wölbte     ,Aufnahme    14, deren     Krümmungsmittelpunkt     im Brennpunkt des ankommenden Strahlenbündels  liegt. Die Aufnahme 14 ist mit Photodioden 15  bestückt, :die über das Linsensystem mit den     einzel-          nen;    -Spuren des binär kodierten Massstabes 4 in Ver  bindung stehen.     Mittig    ist die gewölbte Aufnahme 14  kreisförmig durchbrochen.

   Hinter dem Durchbruch  im Gehäuse     liegt,der    eigentliche     Testkopf    6, der jede  Strichmarke erfasst, die durch -eine an seiner Licht  eintrittsseite angebrachte Strichgabel 16 hindurch  läuft. Die Photodioden 15 sind über     Verstärker-Ein-          richtungen    17 an ein     .Koinzidenz    Netzwerk 18 ange  schlossen, das bei Koinzidenz des eingestellten     Grob-          Soll-Wertes    mit dem gemessenen     Grob-Ist-Wert    den  Testkopf 6 in Arbeitsbereitschaft bringt.  



  Nachstehend sei das genaue Einfahren eines  Wertes beschrieben. Die Bruchteile     zier    Millimeter  sowie die vollen Millimeter werden getrennt in elek  trische Speicher eingegeben. Der     g speicherte        Soll-          Feinwert    wird mit dem durch :die     Lagerückmeldeein-          richtung    8 des     Schiebelins.enantriebes    7 angezeigten       Ist-Feinwert    verglichen und die Schiebelinse 5 so  lange von ihrem Antrieb 7 verstellt, bis     Koinzidenz     herrscht.

   Das Spiel in den     Übertragungselementen    des       Schiebelinsenantriebes    7     geht    ,dabei nur zu einem       vernachlässigbaren    Bruchteil in die Messung ein,  denn die optische Übersetzung erfordert im Verhält-           nis    zum Einstellwert einen vielfach grösseren     Ver-          stellweg    der Schiebelinse 5.

   Die     Lagerückmeldecin-          richtung    8 begrenzt die Verstellung der     Schiebelinse     5 bei einem in tausend Längeneinheiten unterteilten  Millimeter auf 9,99     Längeneiniheiten    durch eine elek  trische     Verriegelungseinrichtung,    so dass     darüber'hin-          aus    nach beiden Richtungen keine Verstellung mehr  möglich ist. Bei dieser     Voreinstellung    werden die am       Maschinentisch    1 befestigten Massstäbe 3, 4 durch  das     Linsensystem    relativ zum Maschinenständer und  dem daran befestigten     Tastkopf    6 verschoben.

   Nach  Beendigung dieses Vorganges wird der Maschinen  tisch 1 in Bewegung gesetzt und soweit verstellt, bis  zwischen gespeichertem Grobwert und abgelesenem       Istwert    der     photoelektrisch    abgetasteten     Kodierung    4  Koinzidenz eintritt. Die     Abtastung    erfolgt dabei mit  den Photodioden 1.5, :die den -entsprechend bewerte  ten, beleuchteten Spuren des kodierten     Massstabes    4       zugeordnet    sind und über das     Linsensystem    ein viel  fach vergrössertes Bild der     Felder    des kodierten  Massstabes 4 erfassen.

   Bei Koinzidenz der Grobwerte       wird        gleichzeitig    ein Signal gegeben, das den photo  elektrischen     Tastkopf    6     einschaltet    und dann den mit       Vorschubgeschwindigkeit    bewegten Maschinentisch 1  auf Schleichgang umschaltet. Das Licht vom     Genau-          igkeitsmassstab    3 gelangt damit über das Linsensy  stem und die Durchbruchöffnung der 'Aufnahme 14  an den eigentlichen     Tastkopf    6.

   Durch das     vergrös-          serte    Abbild des Genauigkeitsmassstabes 3     reagiert     der     Tastkopf    6 entsprechend empfindlich, um auf       Verstellgrössen        gleich    oder     kleiner    1     ,um    anzuspre  chen.

   Beim ersten in der Strichmarke des     Tastkopfes     6 erscheinenden     Teilstrich    - des     Genauigkeitsmass          stabes    3 wird der     Maschinentischantrieb    7 so unter  brochen, dass der Maschinentisch 1 seine genaue Po  sition     einnimmt.     



  Die gewölbte Aufnahme 14 garantiert für alle an  ihr befestigten Photodioden 15 einen gleichmässigen  senkrechten Lichteinfall. Damit ist ein absolut mes  sendes System geschaffen mit der sehr hohen Ge  nauigkeit von 1     ,um    und.     darüber.    An die Herstellung  der Massstäbe werden keine grösseren Genauigkeits  anforderungen     gestellt    als bisher; im     Gegenteil,    der ab  solute     ,Binärmassstab    kann um zwei Zehnerpotenzen  ungenauer sein als der Strichmassstab, da dieser     nur     die Grobwerte liest.

   Der     Absolutmassstab        für    die       Schiebelinsenverstellung    in Form der Binärscheibe  verlangt ebenfalls keine     überspitzten    Genauigkeitsan  forderungen, weil durch optische Übersetzungen für  eine     Voreinstellung    der Bruchteile der Millimeter ein  vielfach grösserer     Verstellweg    der Schiebelinse .und  damit des Binärmassstabes notwendig ist. Die     über-          tragungs-elemente    zwischen Binärscheibe und Schie  belinse erfordern keine besonders<I>hohe</I> Genauigkeit,  da das Spiel in den Getriebegliedern nur mit einem  Bruchteil Einfluss nimmt.

   Das Spiel in den     Tischan-          triebselementen    dagegen ist ohne jeden Einfluss auf  die     Positioniergenauigkeit.    Die Vorteile des     Absolut-          systems,bei    dem keine     Fehlzählungen    durch Erschüt  terungen, Schwingungen oder Verstellen der Schiebe-         linse    eintreten können, sind sämtlich beibehalten.  Das     getrennte    Einfahren der gespeicherten Fein- und.

    Grobwerte bringt zusätzlich die     Möglichkeit,    sämtli  che Bauelemente zur Steuerung des     Verstellantriebes     .doppelt auszunutzen, d. h. es sind .für     idieseSteuerung     annähernd die     Hälfte    der Bauelemente erforderlich,  die für     gleichzeitiges    Einfahren des Gesamtwertes  benötigt würden.

   Ausserdem kann das bisher benö  tigte Rechenwerk, welches den Maschinentisch     in     einen bestimmten Abstand vom     einzufahrenden    Wert  von der     Vorschubgeschwindigkeit    auf Schleichgang  umschaltet, entfallen, da durch den Kode eine genau  definierte Lage zur einzufahrenden Position,     nämlich     eine halbe Grobteilung, gegeben ist, die zur Einlei  tung der     Umschaltung    auf Schleichgang ausgenutzt  werden kann. Die vorliegende     Positioniereinrichtung     arbeitet demnach bei geringeren Herstellungskosten  mit     ,grösserer    Genauigkeit.  



  Verwendet man diese Steuerung an     einer        Bearbei=          tungsmaschine,    so werden in den seltensten Fällen  Materialien bearbeitet, deren     Wärmeausdehnungs-          koeffizienten    gleich dem des Glasmassstabes 2 ist.  



  Bei Temperaturschwankungen um die Maschine  herum entstehen infolge der verschiedenen Wärme  ausdehnungskoeffizienten     Positionierungsfehler.    Diese  werden dadurch     vermieden,        dass    ein Prisma     oder     ein Spiegel 19 in optischem System temperatur  abhängig     geschwenkt    wird. Dazu wird in einem  Zylinder 20 eines     iv-erschiebbaren    Gleitstückes 21 ein  Medium 22 mit grossem     Wärmeausdehnungskoeffi-          zienten,    z. B.

   Quecksilber, vorgesehen, welches über  einen Kolben     ,iJ3    ein Hebelgestänge .24     beaufschlagt.     Dieses     schwendet    den im Strahlengang liegenden Spie  gel 19. Durch Veränderung der Angriffspunkte des  Kolbens 23     am    Hebelgestänge 24 ist diese Einrich  tung .auf .die jeweiligen     Wärmeausdzhnungskoeffizien-          ten    der Werkstücke einstellbar.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRUCH Optisch-elektrischeFeinposiiioniereinrichtung, ins- besondere für Mess und Bearbeitungsmaschinen, bei der ein Teil der gegeneinander zu positionieren den Teile einen mit einer genauen Millimeterstrichtei- lung versehenen beleuchteten Massstab,
    und das an dere einen optisch-elektrischen Tastkopf trägt und zwischen beiden eine innerhalb einer (Teilung relativ zum Tastkopf verschiebbare Linse angeordnet ist, durch deren Verschiebung Bruchteile dieser Teilung einstellbar sind, so dass bei Deckung eines Teilstri ches des Massstabes mit der Strichmarke im Tastkopf die Lage des zu positionierenden Teiles genau be stimmt ist, dadurch gekenuzeichnet;
    dass zum Mass- stab (3) zusätzlich ein kodierter Massstab (4) vörgese- Ihen ist, die beide im Gesichtsfeld einer auf Bruchteile eines Millimeters einstellbaren Schiebelinse,(5) ange ordnet sind, deren Verschiebung kleiner ist als eine Teilung des Massstabes i(3), so .dass durch den kodier ten Massstab (4), der mit mehreren lichtelektrischen Wandlern,(15)
    für die Grobzustellung in Wit'kverbin- dung steht; und den mit einem Tastkopf (6) zur Fein- einstellung in Verbindung stdhenden Massstab (3) eine absolute Grob- und Feineinstellung durchführbar ist.
    UNTERANSPRÜCHE 1. Feinpositioniereinrichtung nach Patentan spruch, dadurch gekennzeichnet, dass der Verschie- beantrieb (7) der Schiebelinse,(5) über eine Lagerück- meldeeinrichtung (8), die als .photo-.elektrisch abgeta stete kodierte Scheibe ausgebildet ist, mit einer An- triebsregelung in. Verbindung steht, so dass. bei n- Längeneinheiten,
    die einer Teilung des Grob-Mass- stabes-(3) entsprechen, die Verstellung auf (n-1) Län- geneinheiten begrenzt ist. 2. Feinpositioniereinrichtung nach Patentan spruch und Unteranspruch 1, dadurch gekennzeich net, dass der Kode im Binärsystem vorgenommen ist und aus in mehreren.
    Reihen liegenden Hell-Dunkel- Feldern besteht, wobei die jeweils jedem Teilstrich zugeordneten Felder in der 2 .#Spur -der Länge eines Teilstrichabstandes entsprechen und symmetrisch zum zugehörigen Teilstrich des Massstabes ange bracht sind.
    3. Feinpositioniereinrichtung nach Patentan spruch und Unteransprüchen 1 und 2, dadurch ge- kennzeichnet, dass die Grobteilung sowie die aus meh reren Spuren bestehende Kodierung auf einem ge meinsamen Glaskörper (2) angeordnet sind, wobei die Strichteilung in der Mitte und zu beiden Seiten die Kodierspuren (4) liegen und der Tastkopf (6) in verhältnisgleichen Abständen zur Skala zu beiden Seiten in einer oder mehreren Ebenen lichtelektri- sche Wandler (15) trägt, die auf einer gewölbten Auf nahme (14),
    deren Krümmungsmittelpunkt im Brenn punkt des ankommenden Strahlenbündels liegt, befe stigt sind. 4. Feinpositioniereinrichtung nach Patentanspruch und Unteransprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeich net, dass ein Prisma @(19) im Strahlengang an einem Hebelgestänge (24) befestigt ist, an welches mit veränderbarem Hebelarm ein Kolben @(23) anliegt, in. dessen Zylinder (i20) sieh ein Medium (22) mit gros- sem Wärmeausdehnungskoeffizienten befindet.
CH600262A 1962-01-12 1962-05-18 Optisch-elektrische Feinpositioniereinrichtung CH400582A (de)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0387164A1 (de) * 1989-03-07 1990-09-12 ETAT FRANCAIS représenté par le Ministre des PTT (Centre National d'Etudes des Télécommunications) Automatisches Gerät zur Masskontrolle von Plättchenträgern

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EP0387164A1 (de) * 1989-03-07 1990-09-12 ETAT FRANCAIS représenté par le Ministre des PTT (Centre National d'Etudes des Télécommunications) Automatisches Gerät zur Masskontrolle von Plättchenträgern
FR2644237A1 (fr) * 1989-03-07 1990-09-14 Doeuvre Jean Pierre Appareil automatique de controle dimensionnel de nacelles porte-plaquettes
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