CH415934A - Treibmittelpumpe zur Hochvakuumerzeugung und Verfahren zum Betrieb derselben - Google Patents

Treibmittelpumpe zur Hochvakuumerzeugung und Verfahren zum Betrieb derselben

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CH415934A
CH415934A CH450264A CH450264A CH415934A CH 415934 A CH415934 A CH 415934A CH 450264 A CH450264 A CH 450264A CH 450264 A CH450264 A CH 450264A CH 415934 A CH415934 A CH 415934A
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same
high vacuum
vacuum generation
propellant pump
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Application number
CH450264A
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Werner Dipl Phys Baechler
Georg Dr Noeller Hans
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Nachfolger Leybolds E
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F9/00—Diffusion pumps

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
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CH450264A 1963-05-31 1964-04-09 Treibmittelpumpe zur Hochvakuumerzeugung und Verfahren zum Betrieb derselben CH415934A (de)

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US3317122A (en) * 1965-07-06 1967-05-02 Leybold Holding Ag Vacuum pump apparatus
DE102014212644A1 (de) * 2014-06-30 2015-12-31 Oerlikon Leybold Vacuum Gmbh Diffusionspumpe

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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GB1030816A (en) 1966-05-25
US3273787A (en) 1966-09-20

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