CH422728A - Vorrichtung zur Abscheidung von Halbleitermaterial aus einem strömenden Gemisch einer gasförmigen Verbindung des Halbleitermaterials und eines gasförmigen Reaktionsmittels - Google Patents

Vorrichtung zur Abscheidung von Halbleitermaterial aus einem strömenden Gemisch einer gasförmigen Verbindung des Halbleitermaterials und eines gasförmigen Reaktionsmittels

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CH422728A
CH422728A CH113362A CH113362A CH422728A CH 422728 A CH422728 A CH 422728A CH 113362 A CH113362 A CH 113362A CH 113362 A CH113362 A CH 113362A CH 422728 A CH422728 A CH 422728A
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CH113362A
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Konrad Dr Reuschel
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Siemens Ag
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    • B65B39/00—Nozzles, funnels or guides for introducing articles or materials into containers or wrappers
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CH113362A 1961-04-25 1962-01-30 Vorrichtung zur Abscheidung von Halbleitermaterial aus einem strömenden Gemisch einer gasförmigen Verbindung des Halbleitermaterials und eines gasförmigen Reaktionsmittels CH422728A (de)

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DES73645A DE1206261B (de) 1961-04-25 1961-04-25 Vorrichtung zur Abscheidung reinsten Halbleiter-materials aus einem stroemenden Gemisch einer gasfoermigen Verbindung, vorzugsweise eines Halogenids, des Halbleitermaterials und eines gasfoermigen Reaktionsmittels

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DE1061593B (de) * 1956-06-25 1959-07-16 Siemens Ag Vorrichtung zur Gewinnung reinsten Halbleitermaterials fuer elektrotechnische Zwecke

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