CH435794A - Druckmesswandler - Google Patents

Druckmesswandler

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CH435794A
CH435794A CH883765A CH883765A CH435794A CH 435794 A CH435794 A CH 435794A CH 883765 A CH883765 A CH 883765A CH 883765 A CH883765 A CH 883765A CH 435794 A CH435794 A CH 435794A
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CH
Switzerland
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membrane
pressure
pressure transducer
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sealing
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Application number
CH883765A
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English (en)
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Conrad Dipl-Ing Sonderegg Hans
Original Assignee
Kistler Instrumente Ag
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    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0042Constructional details associated with semiconductive diaphragm sensors, e.g. etching, or constructional details of non-semiconductive diaphragms
    • G01L9/0044Constructional details of non-semiconductive diaphragms
    • GPHYSICS
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    • G01L19/06Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
    • G01L19/0618Overload protection
    • GPHYSICS
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    • G01L19/0645Protection against aggressive medium in general using isolation membranes, specially adapted for protection

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Description


  



  Druckmesswandler
Beim Bau von Druckmesswandlem spielt die Kon  struktion    der Membranpartie eine ausschlaggebende Rolle. Die Membrane dient bekanntlich zwei Hauptzwecken, nämlich der Abdichtung des   Messelementes    des Wandlers gegenüber dem auf die Membrane   einwir-    kenden Druckmediums, sowie der Umsetzung des auf die   Membranpartie      wirkenden Fläohcndruckes    in eine   Kraft,welcheübersinÜbertragungsglied    zur Messzelle übertragen wird. In dieser wird die mechanische Kraft mit bekannten Mitteln in ein elektrisches Signal umgewandelt. Dazu können   Dehnmessstreifen, induktive,    kapa  zitive    oder   piezoelektrische    Messzellen   verwendet wer-    den.

   In allen Fällen ist aber für die Kraftmossung ein ganz bestimmter Weg des Übertragungsgliedes nötig, so dass die auf letzterem aufliegende Membrane eine ganz bestimmte Durchbiegung bei einem Durckanstieg des   Massmediiums    zu ertragen hat. Je nach dem System der Messzelle und dem auftretenden Messdruck kann diese Durchbiegung Werte zwischen wenigen und mehreren   Tausendstel    Millimetern betragen. Offensichtlich ist, dass die Membrane mit der geringsten Durchbiegung am ehesten dynamischen Dauerbeanspruchungen gewachsen ist.   



   Bekannte Ausführungsformen von Druckmesswand-    lern wenden nun verschiedene Mittel an, um die durch die Durchbiegung der Membrane hervorgerufene Membranbeanspruchung möglichst gleichmässig zu verteilen, um   örtliche überbeanslpruchung    der Membrane und dadurch Risse in derselben zu vermeiden. Dies gelingt mit den bekannten Konstruktionen nur in unvollkommenem Mass, so dass sie in der Regel nur etwa 2 X 106 Lastwechsel ertragen.



   Die Erfindung bezweckt, diese Schwierigkeit weit  gehend    auszuschalten. Sie betrifft einen   Druckmess-    wandler, bei dem eine dem   Messdruck    ausgesetzte Membrane auf einem bertragungsglied aufliegt, das zur Kraftübertragung auf das   Mosaetlement    dient Die Erfindu, ng ist dadurch gekennzeichnet, dass die Membrane als   verhältnissmässig dünne Dichtmembrane auf einer    gelochten Stützmembrane mit grösserer mittlerer Wandstprke als derjenigen der   Dichtmembrane    aufliegt,

   dass weiter die   Stutzmembrane in einem Teil    des   Wandler-      genauses    gelagert   ist und mit ihrem Lochrand das Über-    tragungsglied mit   geiingem    Spiel umgreift.



   Bekannte Konstruktionen sowie   Ausführungsbei-    spiele der Erfindung sind nachstehend anhand der Zeich  nung    näher erläutert.



   Fig.   1    und   3    zeigen einen Querschnitt durch die eine Hälfte fer Membranpartie je eines handelsüblichen Messwandlers vor Einwirkung eines Druckes auf die Membrane.



   Fig. 2 und 4 zeigen die den Fig.   1    und   3    entsprechende andere Hälfte des Druckwandlers nach Anwendung eines bestimmten Druckes und entsprechender Durchbiegung der Membrane.



   Fig. 5 zeigt einen Querschnitt durch eine Hälfte der   Membranpartie    eines erfindungsgemässen Messwandlers vor Einwirkung eines Druckes auf die Membrane.



   Fig. 6 zeigt die der Fig. 5   enbsprechende andere Hälfte      eines erfindungsgemässen Messwandlers    bei   Einweimkung    eines bestimmten Druckes.



   Fig. 7 zeigt einen Querschnitt durch eine Hälfte der   Membranpartie    eines Messwandlers mit zu hart   abge-    stimmter   Stützmembrane.   



   Fig. 8 zeigt die Fig. 7 entsprechende andere Hälfte eines Druckwandlers, jedoch mit zu weich abgestimmter   Stützmembrane.   



   Fig. 9 zeigt einen Querschnitt durch eine Hälfte der Membranpartie eines weiteren   erfindungsgemassen Mess-    wandlers.



   Fig. 10 zeigt die Fig. 9 entsprechende andere Hälfte   aines effindungsgamässen Druckwandlers mit infolge    Unterdruck vom Druckstempel abgehobener Membrane.



   Fig. 11 und 12 zeigen einen   Querschnitt    durch die   Membranpartie    von zwei weiteren   erfindungsgemässen    Messwandlern.



   Fig. 13 zeigt einen erfindungsgemässen Messwandler mit   rückverlegter    Schweissung der Membrane.



   Fig. 14 zeigt aine   weitere Membrankonstrukfion mit    vorverlegter   Schweissung    der Membrane.



   Die bekannten   Membrankonstruktionen benützten    speziell verformte, teilweise aws vollem Material   heraus-      gearbeitete    Membranen,   die insbesondere für Hoch-    druckanwendung eine erhebliche Wandstärke aufweisen und damit steif sind. In Fig.   1    ist eine solche   Ausfüh-    rungsart dargestellt, wobei   1    den mit   Einschraubgewinde      versehenen Wandlerkörper    und 2 den   DruckzyEnder    bezeichnet, der mit dem Messelement auf nicht gezeigte Waise in Wirkverbindung steht und so   als Übertragungs-    glied zur Kraftübertragung auf das   Messelement    dient.



  Die Membrane 4 schliesst den kreisringförmigen   Zwi-    schenraum 3 ab und ist an der Stelle 5   mit dem Wandler-    gehäuse 1 verbunden. Meist ist die Membrane 4 aber auch an der Fläche 6 mit dem Druckzylinder 2 verbunden. Zwischen den Ringflächen 5 und 6 überbrückt die Membrane den Raum 3, was üblicherweise mit einer im Schnitt seillinienförmigen Einwölbung 7 geschieht.



   Wirkt nun ein Flächendruck p auf die Membrane, so hebt sich nach Fig. 2 das Ende des Druckzylinders 2 um den Betrag   h  , wobei die Membrane 4 sich entsprechend   dleformiert.    Dadurch entstehen insbesondere an den Stellen 8 und 9 sehr hohe örtliche Spannungsspitzen. Bei länger dauernden hohen dynamischen Beanspruchungen brechen die Membranen denn auch an diesen Stellen.



   In Fig. 3 ist eine andere bekannte Konstruktion gezeigt, wiederum   bestehend aus dem mit Einbaugewinde    vorsehenen Wandlergehäuse 11, dem Druckzylinder 12, dem dazwischen liegenden kreisringförmigen Raum 13 und der diesen Raum abschliessenden Membrane   14.   



  Diese ist aus einer vollen Scheibe herausgearbeitet und ist an ihrem Umfang fest im Gehäuse 11 eingespannt.



  Durch   EinwirkungeinesAussendruckes    p wird der Druckzylinder 12 um den Betrag     h deformiert, wobei    die Membrane sich etwa   entsprechend der nn    Fig. 4 gezeigten Membrane   14"verformt.    Die   Spannungsver-    änderungen sind in diesem Fall   wesentlich. besser über    die ganze Membrane verteilt. Nachteilig ist aber, dass insbesondere in den unteren   Messbereichen    kein linearer Zusammenhang zwischen Druck p   undder    Kraft auf den Druckzylinder 12 besteht. Zudem ergibt diese   Konstruk-    tionsform infolge   unklarer Reibungsverhältniisso bedeu-    tende   Hysteresefehler.   



   Fig. 5 zeigt ein   Ausführungsbeispiel eines erfindungs-    gemässen   Druokmesswandlers,    wobei 21 das mit Ein  sohraubgewinde    versehene   Wandlergehäuse,    22 den   Druckzylindor und    23 den   kreisrtingfönnigen    Raum zwischen Zylinder 22 und Gehäuse 21 bezeichnet. Auf einer elastischen   Stützmembrane    26 liegt die sehr dünne   Dicht-    membrane 24 auf, die ihrerseits in geeigneter Weise z.   B.    durch   Schweissung-mit dar Stirnfläche    25 des   Wandlerkörpers    21 verbunden ist.

   Die Stützmembrane 26 ist vom   Aussendurchmesser      D1    bis zum Durchmesser   D,    fest eingespannt und umschliesst den Druckzylinder 22 mit einem Spiel   S  , das wenige Hundertstel Millimeter   -z.    B. drei Hundertstel - beträgt. Infolge dieses geringen Luftspaltes kann die Membrane ohne besondere Mass  nahmen    über die Stützmembrane gelegt werden,. Die Stützmembrane 26 besteht aus einem federndem Material wie z. B. Federstahl, Federbronze oder einem Kunststoff und besitzt eine Formgebung, bei der sich der Querschnitt z. B., wie gezeigt, radial einwärts verjüngt.

   Entsprechend Fig. 6 ist die Stützmembrane 26 vorteilhaft so dimensioniert,   dass bei Einwirkung    des   Aussendruckes    p die Deformation   h   eine über den ganzen   Durohmesser    Da   gleichmässige    Durchbiegung der Membrane 24   ermöglioht.   



  Auf diese Weise ist die Spannungsänderung über die ganze Membranflache gleichmässig verteilt Zu diesem Zwecke ist das   Deformationsverhalten    des Druckzylinders 22 und der Stützmembrane 26 genau aufeinander abzustimmen.



   Fig. 7 und 8   zeigen die beiden Erscheinungen, die    auf  treten. wenn diese Absssmimumg nicht befriedigend ist.   



  Ist die Stützmembrane 36 nach Fig. 7 zu   biegosteif,    so entsteht an der Stelle 37 ein scharfer Knick in der Membrane 34, wodurch wiederumgefährlicheSpannungsspitzen   entstehen können.    Ist anderseits nach Fig. 8 die Stützmembrane   46    zu   wenig biegungssteif,    so entsteht an der Stelle 47 wiederum ein scharfer Knick in der Membrane 44, was gleich gefährlich sein kann. Die genaue Form der   Stützmembrane      26    erfordert somit eine genaue Berechnung   und/oder    vor allem umfangreiche Versuche.



  Ist die Form aber gefunden, so lässt sich mit einer sehr dünnen Membrane insbesondere eine einwandfreie lineare Beziehung zwischen Druck p und Kraft auf den Druckzylinder erreichen, was   beispielsweise bei piezoelektri-    schen   Messelementen    zu einem zum Druck linearen Aus  gangssignal    führt. Dazu ist diese   Membranform    praktisch   hysteresefrei.   



   Fig. 9 zeigt eine weitere Ausführungsform der Erfin  dung.    Danach ist 51 das mit   Montagegewinde versehene      Wandlergehäuse,    52 der Druckzylinder, 53 ein kleiner Ringspalt zwischen 51 und 52 und 55 eine Ausdrehung mit Durchmesser D2, damit   sich die Stützmembrane    56 frei durchbiegen kann. Die dünne Dichtmembrame 54 ist auf ihrem Aussendurchmesser sowohl   mit der Stützmem-    brane 56 als mit der Schutzplatte 58 fest vereinigt. Die fertig zusammengebaute bauliche Einheit kann z. B. mittels   Bördelpartie    57 im Wandlergehäuse 51 befestigt   wer-    den. Es könaen aber auch andere bekannte   Befestigungs-    mittel dazu verwendet werden.

   Die Schutzplatte 58 besitzt eine kugelkalottenförmige Eindrehung 59, in welche eine Anzahl feiner Bohrungen 60 münden. Wirkt nun auf die   Membranseite des Wandlers ein Unterdruckstoss,    so hebt sich die Membrane 54 entsprechend Fig. 10 vom Druckzylinder 52 ab und kommt zum Anschlag gegen die Schutzplatte 58, wodurch die Grosse des   Unterdruck-    impulses nicht vom   Messelement    erfasst wird.



   In der Ausführungsform nach Fig.   11 besteht    die Stützmembrane aus ainer Kombination von mehreren   Federscheiben    mit unterschiedlichem Innendurchmesser D. Der Raum 65 ist aus dem   Wandlerkörper    61 ausgespart. Die Membrane 69 ist auf dem   Aussendurchmesser    auf bekannte Weise mit dem Wandlergehäuse 61 fest verbunden. Der Druckzylinder 62 ist mit einem flachen Zapfen 70 ausgestattet, auf welchen die Membrane 69 bei   Montage gepresst wird. Durch Bördeln, schweissen    oder löten kann die Nahtstelle 71 dichtend gemacht   wer-    den. Es ist aber auch möglich die Membrane 69 ohne Bohrung zu versehen ; sie kann dann mit bekannten   Schweissverfahren    mit dem Druckzylinder 62 verbunden werden.



   Die in den Fig. 5 bis 11 gezeigten Stützmembranen haben alle gemeinsam, dass sie auf dem   Aussendurch-    messor fest im   Wandlergehäuse    eingespannt sind. Fig. 12 zeigt im Gegensatz   dazu eine Ausführungsform eines er-      fmdungsgemässen      Druckmesswandlers    mit einer   Stütz-    membrane 76, die   nua    aber entlang dem   Aussendurch-    messer auf der Lagerpartie 72 des   Wandlerkörpers    71 frei aufliegt. Die Deformation der   Stützmembrane      76    wird durch die Ausnehmung 75 gewährleistet.

   An ihrem Innendurchmesser weist die Membrane ein Spiel von we  nigen Hundertstel Millimeter gegenüber    dem   Druck-    zylinder 62 auf. Die Dichtmembrane 79 liegt frei auf der   Stützmembrane 76 auf und ist    am   Aussendurchmesser    80 mit dem Gehäuse 71 fest verbunden. Die Formgebung der Stützmembrane   76    ist wiederum durch Berechnung und Versuche so zu gestalten, dass die in Fig. 7 und 8 veranschaulichten Erscheinungen nicht auftreten. Vor  teilhaft    ist die Wandstärke der   Stützmembrane gegen    den Innendurchmesser wesentlich verstärkt, wie auf der Zeichnung angedeutet.



   Entsprechend Fig. 13 kann es für die Dauerfestigkeit der Membrane von Vorteil sein, wenn die Schweissung
85 durch Umbiegen der Membrane 86 im Bereich 87 aus der Membranebene verlegt wird. Dadurch lassen sich radiale Zugspannungen in der Membrane schon während des Schweissvorganges verhindern ; zudem besteht so Möglichkeit, den Druckmesswandler gegen die   Gehäuse-    bohrung 88 direkt abzudichten.



   Entsprechend Fig. 14 kann die Membrane 90 aber auch versent im Gehäuse 91 angebracht und am Umfang 92 verschweisst werden. Auch in diesem Fall ist   dixie      Schweissung    wesentlich weniger gefährdet als wenn sie in der gleichen Ebene wie etwa in Fig.   11    und 12 angebracht wird.



   Die dargelegten Überlegungen können unabhängig von der Art des   jeweiligen    Messelementes angewendet werden. Durch das Zusammenwirken der   Stütz-und    Dichtmembrane ist die Verwendung einer sehr dünnen,   biegungsweichen    Dichtmembrane auch bei sehr hohen   Messdrücken    möglich.

   Die Abstimmung der   Stützmem-    brane   ormöglicht    eine   gleichmässig    verteilte Durchbiegung der Membrane in   Form emer Kreis-oder Parabelkalotte    zu erzielen, wodurch die Spannungen bei Durchbiegung   gleichmässig auf die ganze Membrane verteilt sind.    Dadurch ist diese Membrankonstruktion insbesondere fiir hohe Drücke und hohe Lastwechselzahlen, also lange Lebensdauer der Dichtmembrane, geeignet.



   Durch die   iibersichtliohen Reibungsverhältnisse einer    dünnen Membrane ergibt die dargelegte Konstruktion praktisch keine messbaren Hysteresefehler. Gleichzeitig können aber auch völlig lineare Beziehungen zwisohen Druck im   Messraum      und Messkraft verwirklicht werden,    was sich in der   Kennima    der   Messwandler klar    ausdrückt.



   Die sehr dünnen Dichtmembrane hat zudem noch den grossen Vorteil, dass Temperaturschockeinflüsse weitaus geringere Verbiegungskräfte und damit Messfehler verursachen   als übliche Konstruktionsformen.   



   Das Übertragungsglied kann wie gezeigt als einteiliger   Druokzylindor ausgebildet    sein. Es ist aber auch möglich, ein aus mehreren Teilen bestehendes Übergangsglied zu verwenden.



   Wenn auch eine lineare Bezeichnung zwischen Messdruck und auf das   Messelement    wirkender Kraft im Vordergrund steht, können die vorstehenden Überlegungen auch zweckmässig bei Druckmesswandlern ohne eine   liaeare    Beziehung zwischen Messdruck uned Messignal angewendet werden. Gegebenenfalls kann durch geeignete Ausbildung der   Stützmombrano eine ganz bestimmte,    nicht lineare   Messcharakteristik    erreicht werden.

Claims (1)

  1. PATENTANSPRUCH Druckmesswandler, bei dem eine dem Messdruck ausgesetzte Membrane auf einem Übertragungsglied aufliegt, das zur kraftübertragung auf das Messelement dient, dadurch gekennzeichnet, dass die Membrane als vorhältnismässig dünne Dichtmcmbrane auf einer ge lochten Stützmembrane mit grösserer mittterer Wandstärke als derjenigen der Dichtmembrane aufliegt, dass weiter die stützmembrane in einem Teil des Wandlergehäuses gelagert ist und mit ihrem Lochrand das Über- tragungsglied mit geringem Spiel umgreift.
    UNTERANSPRÜCHE 1. Druckmesswandler nach Patentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Stützmembrane mit ihrer Um fangspartie mit dem Wandlergehäuseteilverschwoisstist.
    2. Druckmesswandiler nach Patentanspruch, dadurch gekennzeichnet, daas die Dichtmembrane aus einem Stück besteht und am Aussendurchmesser mit dem Wandler- gehäuse derart verschweisst ist, dass die darunter lie- gende Stützmembranfe mit ihrer Umfangsparssie im Wandlergehäuse eingespannt ist.
    3. Druckmesswandler nach Patentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass eine Schutzplatte vor der Dicht- membrane angeordnet ist, welche mit Bohrungen versehen ist, wobei Stützmembrane, Dichtmembrane und Schutzplatte zu einer baulichen Einheit vereinigt sind.
    4. Druckmesswandler nach Patentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Stützmembrane aus mehreren federnden Membranscheiben mit abnehmenden Durchmessern besteht, und dass die Scheibe mit dem kleinsten Lochdurchmesser der Dichtmembrane am nächsten liegt.
    5. Druckmesswandler nach Patentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Stützmembrane mit ihrer äusseren Umfangspartie auf einer Auflageflache des Wandlergehäuses gelagert ist.
    6. Druckmesswandler nach Patentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass ein Loch in der Dichtmembrane einen entsprechenden Zapfen des Übortragumgskörpers umfasst, wobei Zapfen und Lochrand verschweisst sind.
    7. Druckmesswandler nach Patentanspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Schweissverbindung der Membrane mit dem Wandlergehäuso aus der Membranebene versetzt angeordnet ist.
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