CH444504A - Microscope photo-électrique - Google Patents

Description

  
 



  Microscope photo-électrique
 La présente invention a pour objet un microscope photo-électrique de haute précision pour la lecture de la graduation d'une règle de précision, comportant un dispositif optique de visée, un   déflecteur    faisant osciller périodiquement un faisceau de rayons incident de part et d'autre d'une position médiane, ainsi qu'une cellule photo-électrique captant le faisceau de rayons réfléchi par la surface de la règle de précision et commandant un dispositif électronique d'indication de la position relative entre un trait de la graduation de la règle de précision et la position médiane de l'axe optique.



   De teIs microscopes   photo-électriques    sont connus et décrits par exemple dans le brevet suisse   No    280542 et donnent satisfaction pour autant seulement que I'amplitude de l'oscillation des rayons incidents soit suffisante par rapport à l'ordre de grandeur des écarts à mesurer pour que la partie utilisée de la sinusoïde de balayage puisse tre assimilée à une droite. En effet, ce n'est que si cette exigence est satisfaite qu'une proportionnalité satisfaisante entre la position du trait visé et la lecture sur l'instrument d'indication peut tre obtenue.



   Par contre, lorsque l'écart à mesurer est relativement grand par rapport à l'amplitude du balayage. le déplacement de l'organe indicateur n'est plus linéairement proportionnel à l'écart entre l'axe de visée et le trait repère, ce qui présente dans certains cas des inconvénients.



   Pour remédier à cet inconvénient, des microscopes photo-électriques ont été développés et décrits par exemple dans le brevet suisse   No    353904. Ces microscopes photo-électriques comportent un dispositif analogique traduisant, selon une fonction linéaire, l'écart entre l'axe optique du dispositif de visée et un trait de la graduation. Ces microscopes photo-électriques sont toutefois complexes et de ce fait onéreux.



   En outre, ces divers microscopes photo-électriques présentent des inconvénients, en particulier une limitation de leur précision, due d'une part au balayage de la cellule photo-électrique par le spot réfléchi et d'autre part à la différence d'éclairement due au balayage du faisceau incident sur l'objectif.



   La présente invention a pour objet un microscope photo-électrique tendant à obvier aux inconvénients précités et qui se distingue par le fait que le faisceau de rayons réfléchi est également soumis à l'action du déflecteur et que les chemins optiques des faisceaux incident et réfléchi par rapport au déflecteur sont dans un rapport de longueur tel que le spot reçu par la cellule photo-électrique est immobile.



   Le dessin illustre schématiquement et à titre d'exemple plusieurs formes d'exécutions du microscope photoélectrique selon l'invention.



   Les fig. 1 à 6 sont des schémas de différentes formes d'exécution du microscope photo-électrique.



   Les fig. 7 à 14 représentent une réalisation du microscope photo-électrique, dans laquelle les fig. 7 à 9 illustrent un bloc porte-fentes de lumière et porte-cellules photo-électrique respectivement de côté, de face et vu en plan, les fig. 10 à 12 illustrent un dispositif d'actionnement respectivement de côté, de face et vu de dessus, tandis que les fig. 13 et 14 représentent une vue d'ensemble de dessus du bâti sur lequel est monté le microscope photo-électrique.



   La fig. 15 est une variante d'exécution de la   réale.    sation illustrée aux fig. 7 à 14.



   Le microscope photo-électrique décrit et illustré dans le présent brevet comporte à l'instar des microscopes photo-électriques existants, un dispositif optique de visée, un déflecteur faisant osciller périodiquement un axe optique de part et d'autre d'une position médiane et une cellule photo-électrique captant le faisceau de  rayons réfléchi par la surface d'une règle graduée de précision et commandant un dispositif électronique d'indication de la position relative entre un trait de la graduation de précision et la position médiane dudit axe optique.



   L'objet du présent brevet ayant trait à la partie optique seulement du microscope photo-électrique, le dispositif électronique d'indication ne sera pas décrit ici.



  Ce dispositif électronique d'indication pourrait tre par exemple semblable à celui décrit dans le brevet suisse   No    280542.



   L'originalité du microscope photo-électrique décrit et illustré réside dans le fait que le faisceau réfléchi est également soumis à l'action du déflecteur et que les chemins optiques des faisceaux incident et réfléchi sont pratiquement de mme longueur, de sorte que, comme la source lumineuse est fixe ou immobile, le spot réfléchi sur la cellule photo-électrique est également immobile, ce qui permet d'éliminer tous les inconvénients inhérents au balayage de la cellule photo-électrique dans les dispositifs actuels.



   La première forme d'exécution du microscope photo-électrique illustrée à la fig. 1 comporte un dispositif optique de visée qui comprend une source lumineuse et un condensateur (non illustrés) éclairant une fente 1.



  Ce dispositif émet un faisceau lumineux qui est projeté sur une règle graduée de précision 2 à travers un objectif 3. Entre cet objectif 3 et la règle de précision 2 est disposé un déflecteur 4 imprimant à l'image réfléchie de la fente 1 un mouvement de va-et-vient le long d'une portion de la règle graduée 2. Ce déflecteur 4 est constitué par un miroir oscillant périodiquement autour d'une position médiane de repos. De tels déflecteurs sont actuellement bien connus et celui-ci ne sera pas décrit ici plus en détail.



   Entre l'objectif et un bloc 5 portant la fente d'éclairement 1 ainsi qu'une cellule photo-électrique 6 est disposé un séparateur 7 permettant de séparer les faisceaux incident et réfléchi qui traversent l'objectif 3 suivant un mme axe optique. Ce séparateur 7 est constitué par deux prismes rhomboédriques juxtaposés.



   Le bloc 5 porte fente 1 et cellule 6, le séparateur 7, l'objectif 3 et le déflecteur 4 étant montés sur un bâti déplaçable le long de la règle graduée 2, le fonctionnement du microscope photo-électrique décrit est le suivant:
 Le faisceau incident 8 émis par la fente 1 est décalé parallèlement à lui-mme par   l'un    des prismes du séparateur sur une distance déterminée par les dimensions de ce prisme pour coïncider avec l'axe optique 9 de l'objectif 3. Ce faisceau incident traverse l'objectif puis atteint le déflecteur 4 qui lui imprime un   mouverslent    de balayage autour d'une position médiane et le dirige sur la surface de la règle graduée 2.



   Le faisceau réfléchi 10 provenant de la réflection par la règle 2 du faisceau incident suit le mme chemin optique que le faisceau incident 8 jusqu'au séparateur 7.



  Le second prisme de ce séparateur 7 provoque un décalage parallèlement à lui-mme du faisceau réfléchi 10, d'une valeur déterminée par les dimensions de ce prisme, de manière à séparer les faisceaux incident et réfléchi qui traversent l'objectif suivant le mme axe optique.   I1    s'avère qu'il est plus intéressant en pratique de placer le séparateur à proximité immédiate de l'objectif. Ce faisceau réfléchi est ainsi dirigé sur la cellule photoélectrique 6 disposée à proximité de la fente 1.



   Le faisceau réfléchi 10 est donc également soumis à l'action du déflecteur 4, de sorte que ce faisceau 10 traverse l'objectif suivant le mme axe optique 9 immobile que le faisceau incident mais en sens contraire. Grâce au fait que les faisceaux incident et réfléchi sont tous deux soumis à l'action du déflecteur et que la longueur des chemins optiques, par rapport à ce déflecteur, desdits faisceaux incident et réfléchi sont pratiquement identiques, un faisceau réfléchi immobile frappe la cellule photo-électrique 6, de sorte que tous les inconvénients découlant du balayage de ladite cellule sont éliminés.



   Les impulsions électriques obtenues par les variations d'intensité lumineuse du faisceau réfléchi tombant sur la cellule photo-électrique 6 sont traitées par exemple de la façon décrite dans le brevet suisse   No    280542, pour former l'indication de la position relative entre un trait de   la    graduation 2 et la position médiane de l'axe optique oscillant.



   Il faut encore noter ici que la position du déflecteur 4, disposé entre l'objectif 3 et la règle 2, est particulièrement favorable puisqu'elle permet l'obtention de faisceaux incident et réfléchi immobiles traversant cet objectif selon son axe optique.



     I1    faut également noter que pour obtenir une indication de position qui soit linéairement proportionnelle, il faut que la partie utilisée de la sinusoïde de balayage puisse tre assimilée à une droite. Ceci réduit le champ à l'intérieur duquel des mesures peuvent tre effectuées par ce microscope photo-électrique. Toutefois, ce champ de mesure peut aisément tre augmenté. En effet, grâce à la symétrie des faisceaux incident et réfléchi, une translation du bloc 5 porte-fente 1 et porte-cellule 6 parallèlement à lui-mme suivant une direction a perpendiculaire aux faisceaux 8, 10 et à l'axe de pivotement b du déflecteur, entraîne un déplacement le long de la règle 2, de la position médiane de l'axe optique.



   Dans la seconde forme d'exécution, illustrée schématiquement à la fig. 2, le séparateur 7 est constitué par un miroir plan semi-transparent, disposé par exemple à   450    par rapport au faisceau incident 8.   I1    s'ensuit que le faisceau réfléchi 10 n'est plus recueilli suivant une direction parallèle au faisceau incident 8 mais suivant une direction formant un angle par exemple de 900 par rapport à celle-ci. En conséquence, dans cette seconde forme d'exécution, la fente d'éclairement 1 est portée par un support 11, tandis que la cellule 6 est portée par un support 12, ces deux supports étant fixés rigidement   l'un    par rapport à l'autre.



   En ce qui concerne le fonctionnement de cette seconde forme d'exécution, celui-ci est en tous points semblable au fonctionnement de la première forme d'exécution, mis à part le fait que le faisceau réfléchi est renvoyé par le séparateur 7 dans une direction non parallèle à celle du faisceau incident.



   La troisième forme d'exécution du microscope photoélectrique illustrée à la fig. 3 est semblable à celle illustrée à la fig. 2. Toutefois, dans cette nouvelle forme d'exécution, le faisceau réfléchi 10 est dévié après le séparateur 7 à l'aide d'un miroir 50, de sorte que le bloc 12 porte-cellule photo-électrique 6 peut tre juxtaposé au bloc   1 1    porte-fente 1. Ces deux blocs   1 1    et 12 peuvent alors ne former qu'un seul élément.   I1    faut toutefois noter que la fente 1 et la cellule 6 ne sont pas disposées dans le mme plan. En effet, la cellule 6 est située dans un plan plus proche du   séparateur    de manière que les chemins optiques, par rapport au déflecteur 4. des  faisceaux incident 8 et réfléchi 10 soient de mme longueur ou approximativement de mme longueur.



   La quatrième forme d'exécution du microscope photo-électrique, illustrée à la fig. 4, est identique à celle illustrée à la fig. 1 au fait près que l'ordre dans lequel le séparateur, le déflecteur et l'objectif se succèdent, est différent.



     I1    faut noter que cette disposition, dans laquelle le séparateur 7 se trouve entre le déflecteur 4 et l'objectif 3, ce dernier étant disposé en regard de la règle graduée 2, est quelque peu moins avantageuse du fait que les faisceaux incident 8 et réfléchi 10 ne sont pas toujours confondus avec l'axe optique de l'objectif.



   Cette forme d'exécution comporte un dispositif de déplacement transversal du bloc 5 porte-fente 1 et portecellule 6 permettant un agrandissement du champ de mesure du microscope   photo-électrique.    Ce dispositif de déplacement transversal comporte un coin 13, actionné à l'aide d'une vis 14, guidée dans des glissières d'un bâti et dont la face de travail coopère avec une face du bloc 5. De cette façon, un   déplacement    axial du coin 13 provoque une modification de la position du bloc 5. Pour connaître avec précision la position du bloc 5, la vis 14 est actionnée à l'aide d'un micromètre (non représenté).



   La cinquième forme d'exécution, illustrée à la fig.



  5, est semblable à la seconde forme d'exécution, les   positions de l'objectif 3 et du déflecteur 4 ayant t simple-    ment été interverties.



   La sixième forme d'exécution du microscope photoélectrique illustrée à la fig. 6 est analogue à la troisième illustrée à la fig. 3, les positions de l'objectif 3 et du déflecteur 4 ayant été simplement interverties.



     I1    est évident que le séparateur utilisé aux formes d'exécution une et quatre pourrait tre, en variante, remplacé par le séparateur utilisé aux formes d'exécution deux, trois, cinq et six et vice versa.



   En outre, en variante, le déflecteur illustré aux fig.



  1 à 4 pourrait tre   remplacé    par un déflecteur formé par un verre plan parallèle oscillant autour d'un axe, ou un assemblage de deux miroirs plans parallèles oscillants autour d'un axe.



     I1    est évident que les variantes illustrées aux fig. 1, 3 et 6 pourraient tre équipées, comme c'est le cas pour la variante illustrée à la fig. 4 d'un dispositif de déplacement transversal de la fente 1 et de la cellule 6.



   De plus, les formes d'exécution illustrées aux fig. 2   et 5 peuvent t également tre munies d'un dispositif de    déplacement transversal pour autant que les blocs   1 1    et
 12 soient reliés rigidement   l'un    à l'autre pour assurer leur déplacement simultané.



     I1    va de soi que les positions relatives du séparateur, du déflecteur et de l'objectif peuvent tre permutées à volonté. Dans les cas où l'objectif est situé entre la source lumineuse et le séparateur, cet objectif doit tre double, deux systèmes de lentilles d'axes parallèles par   exemple, du fait t que les axes optiques des faisceaux    incident et réfléchi ne sont pas confondus sur leur trajet au travers de l'objectif.



      Les fig. 7 à 15 illustrent t une réalisation particulière   
 du microscope photo-électrique illustré à la fig. 3.



   Les fig. 13 et 14 illustrent chacune une partie d'une vue d'ensemble en plan du microscope photo-électrique tel qu'il se présente lorsqu'il est monté sur une machine
 outil. La fig. 13 illustre plus particulièrement un dispo
 sitif d'asservissement monté sur un bâti 20 à l'intérieur d'un boîtier 21 comportant un ensemble moteur générateur 22 destiné à faire tourner la vis de précision 25 et est commandé par un synchro fin 23 et un synchro grossier 24. Le rotor du synchro fin 23 est relié mécaniquement à une vis de précision 25 pivotée dans des paliers 26 sur le bâti 20 tandis que le rotor du synchro grossier 24 est également relié mécaniquement à cette vis, mais par l'intermédiaire d'un réducteur 27. Ce dispositif d'asservissement permet de positionner, à l'aide d'une information de commande, la vis de précision 25 dans une position angulaire désirée.



   Comme on le verra plus loin, la position de cette vis 25 détermine la position du bloc 5 porte-fente 1 et porte-cellule 6. Toutefois, comme ce dispositif d'asservissement est bien connu, il ne sera pas décrit ici plus en détail.
   fl    est évident que le microscope photo-électrique décrit pourrait également équiper une machine à mesurer, auquel cas la vis de précision 25 est actionnée de manière à placer l'axe de visée optique du microscope photo-électrique le plus près possible, à l'intérieur de la plage de mesure de ce microscope, de la cote à mesurer, l'indication du microscope photo-électrique donnant alors une indication relative à l'écart entre la position de son axe de visée optique et la cote à mesurer.



   La fig. 15 illustre une variante dans laquelle la vis de précision est commandée par un micromètre comportant un vernier 51 porté par le bâti 20, un tambour 52, actionné en rotation à l'aide d'une manivelle 53 dont l'axe est relié à la vis 25 en vue de son entraînement en rotation. Un tel dispositif d'actionnement de la vis 25 peut tre utilisé indifféremment sur une machine à mesurer ou sur une machine-outil.   I1    va de soi que   l'entraine-    ment de la vis 25 peut tre automatisé en faisant usage des techniques connues, comme c'est le cas par exemple dans la forme d'exécution illustrée à la fig. 13.



   La fig. 14 illustre plus particulièrement le microscope photo-électrique ou des emplacements ménagés sur le bâti 20 et destinés à la fixation des éléments de ce microscope photo-électrique.



   L'extrémité libre de la vis de précision 25 est engagée dans un écrou 28 portant une extension 29 munie à son extrémité libre de la partie mâle 30 d'un accouplement à tournevis. Cet accouplement à tournevis est destiné, comme on le verra plus loin, à l'entraînement d'un coin du dispositif d'actionnement du bloc porte-fente et portecellule.



   Le bâti 20 comporte un premier emplacement 31 destiné à recevoir le déflecteur 4 du microscope photo-électrique, un second emplacement 32 destiné à recevoir le bloc 5 porte-fente 1 et porte-cellule 6 et un troisième emplacement 33 destiné à recevoir le dispositif d'actionnement du bloc 5 dans ses déplacements transversaux.



  Ce bâti 20 présente encore un embout fileté 34 à l'intérieur duquel sont montés l'objectif 3 et le séparateur 7 du microscope   photo -électrique.   



   Les fig. 7 à 9 illustrent le montage sur le bâti 20, à l'emplacement 32 de l'ensemble du bloc 5 porte-fente 1 et porte-cellule 6. La particularité de cet ensemble du
 bloc 5 réside d'une part dans le fait qu'il comporte une
 surface d'actionnement 35 destinée à coopérer avec le
 dispositif d'actionnement en vue du déplacement trans
 versal du bloc 5 et d'autre part dans son montage sur le
 bâti 20.  



   Ce bloc 5 comporte une cavité 36 à l'intérieur de
 laquelle est logée une source de lumière 37 dont les rayons sont, avant de sortir du bloc 5, concentrés à l'aide d'un condenseur 38, sur la fente 1.



   Ce bloc 5 est monté sur le bâti 20 par l'intermédiaire de deux lamelles ressorts en forme de E, 39. En effet, le bloc 5 est fixé rigidement sur la barre médiane des lamelles 39, tandis que les barres latérales de ces lamelles 39 sont fixées rigidement sur le bâti 20. Ce montage permet d'obtenir, pour de faibles amplitudes, un déplacement linéaire perpendiculaire au plan des lamelles du bloc 5 par rapport au bâti 20.



   Les fig. 10 à 12 illustrent le dispositif d'actionnement du bloc 5 dans ses déplacements transversaux, c'est-à-dire perpendiculaires au plan défini par les faisceaux incident 8 et réfléchi 10, destinés à tre montés sur le bâti 20 à l'emplacement 33. Ce dispositif comporte une glissière 40 fixée sur le bâti 20 à l'intérieur de laquelle se déplace un coin 41. Ce coin comporte une surface active supérieure 42 entrant en contact avec la surface d'actionnement 35 portée par le bloc 5. L'une des extrémités de ce coin 41 présente la partie femelle 43 de l'accouplement à tournevis, dans laquelle vient se loger la partie mâle 30 solidaire de l'écrou 28 en prise avec la vis de précision 25. L'autre extrémité de ce coin porte une pièce en T 44 reliée au bâti 20 à   l'aide    de deux ressorts de rappel 45.



   La position du coin 41 est donc déterminée par la position de la vis 25 avec le tournevis 30 de laquelle il est maintenu constamment en contact à l'aide des ressorts 45. La conicité de ce coin est faible de manière à réaliser une démultiplication de l'ordre de   1 : 20    entre ses déplacements axiaux, et donc ceux de la vis, et les déplacements transversaux du bloc 5. Ceci permet en outre de positionner le bloc 5 avec une très grande précision, au moins égale à la précision de lecture du microscope photo-électrique.



   Ce coin 41 porte encore une pièce 46 munie de cames 47 coopérant avec des microrupteurs de fin de course 48 provoquant l'arrt de l'entraînement de la vis 25 lorsque le coin 49 atteint l'une de ses positions de fin de course.



   Le fonctionnement de cette réalisation de microscope photo-électrique est identique à celui de la forme d'exécution illustrée à la fig. 3.



   Plusieurs formes d'exécution ont été décrites schématiquement et à titre d'exemple, mais il va sans dire que de nombreuses variantes pourraient tre prévues sans sortir du cadre de la présente invention.
  

Claims (1)

1. REVENDICATION Microscope photo-électrique de haute précision pour la lecture de la graduation d'une règle de précision, comportant un dispositif optique de visée, un déflecteur faisant osciller périodiquement un faisceau de rayons incident de part et d'autre d'une position médiane, ainsi qu'une cellule photo-électrique captant le faisceau de rayons réfléchi par la surface de la règle de précision et commandant un dispositif électronique d'indication de la position relative entre un trait de la graduation de la règle de précision et la position médiane de l'axe optique, caractérisé par le fait que le faisceau de rayons réfléchi est également soumis à l'action du déflecteur et que les chemins optiques des faisceaux incident et réfléchi par rapport au déflecteur sont dans un rapport de longueur tel que le spot reçu par la cellule photo-électrique est immobile.

   SOUS-REVENDICATIONS 1. Microscope photo-électrique selon la revendication, caractérisé par le fait qu'il comporte un séparateur permettant de séparer le faisceau réfléchi du faisceau incident se propageant tous deux suivant le mme axe optique.

   2. Microscope photo-électrique selon la revendication ou la sous-revendication 1, caractérisé par le fait que le déflecteur est constitué par un miroir oscillant.

   3. Microscope photo-électrique-selon la revendication ou la sous-revendication 1, caractérisé par le fait que le déflecteur est constitué par un verre plan parallèle oscillant.

   4. Microscope photo-électrique selon la revendication ou la sous-revendication 1, caractérisé par le fait que le déflecteur est constitué par un ensemble de deux miroirs parallèles oscillants.

   5. Microscope photo-électrique selon la sous-revendication 1, caractérisé par le fait que le séparateur est constitué par la juxtaposition de deux prismes rhomboédriques.

   6. Microscope photo-électrique selon la sous-revendication 1, caractérisé par le fait que le séparateur est constitué par un miroir semi-transparent.

   7. Microscope photo-électrique selon la revendication et la sous-revendication 6, caractérisé par le fait que le rayon réfléchi est dévié une première fois par le séparateur puis une seconde fois à l'aide d'un miroir de sorte que les rayons frappant la cellule photo-électrique sont parallèles au faisceau de rayons incident émis par le dispositif de visée optique.

   8. Microscope photo-électrique selon la sous-revendication 7, caractérisé par le fait que le dispositif de visée optique comporte un bloc porte-fente renfermant une source lumineuse, par le fait que les rayons incidents sont formés par les rayons de cette source lumineuse s'échappant par ladite fente du bloc, par le fait que la cellule photo-électrique est portée par un bloc portecellule fixé à côté du bloc porte-fente.

   9. Microscope photo-électrique selon la sous-revendication 6, ou la sous-revendication 8, caractérisé par le fait que la cellule est placée dans un plan parallèle à celui contenant la fente, mais disposée plus près du séparateur de sorte que les chemins optiques séparant la fente du séparateur et la cellule du séparateur sont égaux.

   10. Microscope photo-électrique selon la sous-revendication 1, caractérisé par le fait que les faisceaux incident et réfléchi sont parallèles entre eux sur le chemin optique compris entre la source lumineuse du dispositif optique de visée, respectivement la cellule photo-électrique et le séparateur.

   11. Microscope photo-électrique selon les sous-revendications 5 et 9, caractérisé par le fait que les faisceaux incident et réfléchi sont parallèles entre eux sur le chemin optique compris entre la source lumineuse du dispositif optique de visée, respectivement la cellule photoélectrique et le séparateur.

   12. Microscope photo-électrique selon la sous-revendication 1 ou la sous-revendication 6, caractérisé par le fait que les faisceaux incidents sont émis par une source lumineuse du dispositif de visée optique et par le fait que ces faisceaux incident et réfléchi forment un angle entre eux sur le chemin optique compris entre la source lumineuse, respectivement la cellule photo électrique et le séparateur.

   13. Microscope photo-électrique selon la sous-revendication 12, caractérisé par le fait que les faisceaux incident et réfléchi sont confondus sur un mme axe optique entre le séparateur et la règle graduée.

   14. Microscope photo-électrique selon la sous-revendication 11, caractérisé par le fait que les faisceaux incident et réfléchi sont confondus sur un mme axe optique entre le séparateur et la règle graduée.

   15. Microscope photo-électrique selon la sous-revendication 1, caractérisé par le fait que sur le chemin optique, entre la règle et une source de lumière du dispositif de visée optique émettant le faisceau de rayon incident, se trouvent l'objectif, le déflecteur et le séparateur dans l'ordre indiqué.

   16. Microscope photo-électrique selon la sous-revendication 1, caractérisé par le fait que sur le chemin optique, entre la règle et une source de lumière du dispositif de visée optique, émettant le faisceau de rayon incident, se trouvent le déflecteur, le séparateur et l'objectif, dans l'ordre indiqué.

   17. Microscope photo-électrique selon la sous-revendication 1, caractérisé par le fait que sur le chemin optique, entre la règle et une source de lumière du dispositif de visée optique, émettant le faisceau de rayon incident, se trouvent le déflecteur, l'objectif et le séparateur, dans l'ordre indiqué.

   18. Microscope photo-électrique selon la sous-revendication 1, caractérisé par le fait que sur le chemin optique, entre la règle et une source de lumière du dispositif de visée optique, émettant le faisceau de rayon incident, se trouvent le séparateur, l'objectif et le déflecteur, dans L'ordre indiqué.

   19. Microscope photo-électrique selon la sous-revendication 1, caractérisé par le fait que sur le chemin optique, entre la règle et une source de lumière du dispose tif de visée optique, émettant le faisceau de rayon incident, se trouvent le séparateur, le déflecteur et l'objecdans l'ordre indiqué.

   20. Microscope photo-électrique selon la revendication. caractérisé par le fait qu'il comporte encore un dispositif d'actionnement provoquant un déplacement transversal d'une source lumineuse émettant le faisceau de rayon incident et de la cellule photo-électrique, perpendiculairement à la direction des faisceaux incident respectivement réfléchi et parallèlement à l'axe de la règle de précision.

   21. Microscope photo-électrique selon la sous-revendication 20, caractérisé par le fait que la source lumineuse est montée dans un bloc porte-fente et par le fait que ce bloc porte-fente porte également la cellule photo-électrique et est monté de manière à pouvoir tre déplacé par rapport au bâti et comporte une face d'actionnement coopérant avec un coin dont la position est commandée par une vis de micromètre.

   22. Microscope photo-électrique selon la sous-revendication 17, caractérisé par le fait que ledit bloc est monté sur le bâti par l'intermédiaire de lamelles ressorts présentant la forme générale d'un E.